根据报告,半导体制造过程中需要进行尺寸测量、缺陷检测等,用于工艺控制、良率管理,因此过程控制设备在半导体制造中占据重要地位。目前,全球过程控制设备市场主要由海外龙头KLA主导,但国内公司如上海精测、睿励科学、中科飞测等也在积极布局。其中,上海精测全面布局膜厚及OCD检测、SEM检测等技术方向,睿励科学专注于半导体量测检测设备,而中科飞测则以工业智能检测设备为核心产品。尽管国内龙头存储晶圆厂项目中,过程控制设备国产化率低于10%,但随着制程微缩、3D堆叠推进,晶圆制造对于量测、检测需求不断增加,精度要求也不断提高,过程控制设备持续有升级需求。总体来看,半导体制造过程控制设备市场具有广阔的发展前景。