路维光电机构调研纪要

路维光电机构调研报告 调研日期:2024-07-23 深圳市路维光电股份有限公司是一家专注于各类掩膜产品研发生产的高新技术企业,总部位于深圳市南山区科技园。公司成立于多年以来一直致力于各类掩膜版的研发、生产和销售,产品主要用于平板显示、半导体、触控和电路板等行业,是下游微电子制造过程中转移图形的基准和蓝本。经过多年技术积累和自主创新,公司具有G2.5-G11全世代掩膜版生产线,可配套平板显示厂商所有世代产线。同时,公司还掌握了180nm/150nm节点半导体掩膜版制造核心技术,满足先进半导体芯片封装和器件等应用需求。路维光电秉承“用户为先,以人为本,思路维新,精益求精”的经营理念,致力于打造掩膜版行业世界级企业,用实力与真诚服务社会。 2024-07-25 董事、财务总监刘鹏,投资者关系刘文鑫 2024-07-232024-07-24 特定对象调研,现场调研公司会议室 华安证券 证券公司 - 亘泰投资 投资公司 - 昭图投资 投资公司 - 长城证券 证券公司 - 国信证券 证券公司 - 民生证券 证券公司 - 平安养老 寿险公司 - 华泰柏瑞基金 基金管理公司 - 淳厚基金 基金管理公司 - 国寿资产 保险资产管理公司 - 猎投资本 投资公司 - 1、请问公司的产品工艺流程?技术壁垒情况? 公司主要产品掩膜版的工艺流程主要包括CAM图档处理、光阻涂布、激光光刻、显影、蚀刻、脱膜、清洗、宏观检查、自动光学检查、精度测量、缺陷处理、贴光学膜等环节。以上工艺流程对补偿算法、制程能力、精度水平、缺陷管控具有严格要求,技术壁垒较高。公司在多年的生产制造中已经积累了丰富的经验和技术,建立起自己的技术壁垒。 以激光光刻为例,激光直写光刻作为掩膜版制造的核心工艺,其技术难度主要体现在产品精度控制、Mura控制等方面。产品精度控制涉及多个环节,不同环节之间又相互影响,包括激光与光阻的匹配、光路结构及稳定性、激光能量曲线及调整、光刻能量及精度补偿、平台与测量系统匹配、二次对位设计与计算等。Mura控制的影响因素包括光路结构及稳定性、光刻图档设计与匹配、光刻步进调整等。 光刻机厂商提供的设备系标准配置,产品的工艺匹配及指标的最终达成需要技术人员根据不同的产品要求匹配不同的光刻模式。公司通过多年的自主研发与积累,通过研究不同生产环节的特性及相互影响,进行大量DOE测试与验证,掌握了不同特性光阻的光刻匹配、光路结构、激光曲线、平台稳定性、精度补偿、图形补偿、光刻步进调整、二次对位等技术方法,形成了多项专有工艺技术和工艺标准,能满足高世代掩膜版、高精度AMOLED掩膜版、半色调(Half-tone)掩膜版、高精度半导体掩膜版等高端掩膜版产品更为严苛的工艺要求。 2、第三方掩膜版厂商的优势在哪里? 下游客户出于成本、交期、供货稳定性考虑会倾向于选择第三方掩膜版厂商供货。公司作为第三方掩膜版厂商,产线齐全,经验丰富;同时下游客户出于国产化率提升的需求也会更倾向于选择国内的第三方掩膜版厂商供货。对于晶圆厂来说,公司认为其成熟制程后续会大部分让第三方掩膜版厂商供货,先进制程方面晶圆厂出于安全保密性考虑,下放给第三方掩膜版厂商的概率较低。目前国内没有第三方掩膜版厂 商做先进制程掩膜版,并非是因为技术原因,更多是需求方面的因素。3、公司产能以及产值情况? 公司产品以平板显示掩膜版和半导体掩膜版为主,部分产线既可以用于生产半导体掩模版又可以用于平板显示掩模版。因此公司的产品结构不仅与设备相关,更与下游客户的需求息息相关,公司会根据产品技术、下游客户需求、交期、商务条款等因素综合考虑产能匹配情况,合理调配产能,实现更优化的产值。