每日一图0626半导体设备不同薄膜沉积技术适应不同材料看好薄膜沉积龙头设

[太阳]看好薄膜沉积龙头设备商差异化竞争。□PECVD领域较为成熟的材料沉积为SiO2（占比9%）和SiN（占比9%），而微导纳米重点为AHM（占比20%，即高温硬掩模工艺），北方 华创主要为金属类材料，拓荆科技目前为国内PECVD设备龙头;ALD领域微导纳米的工艺覆盖度在70%至80%左右，主要包括T-ALD的HiK、MeT与PEALD的SiO2、SiN等， 微导纳米为国内ALD设备龙头。 投资建议：重点推荐北方华创、微导纳米、拓荆科技等。风险提示：下游扩产不及预期，技术推广不及预期。 【东吴机械】周尔双