新产品进展顺利，营收利润高速扩张

中科飞测财务业绩及研发动态总结

财务业绩概览：

• 2023年度：中科飞测实现营收8.91亿元，同比增长74.95%，归母净利润1.40亿元，同比增长1072.38%。
• 2024Q1：季度营收2.36亿元，同比增长45.60%，归母净利润0.34亿元，同比增长9.16%。

研发投入与产品线扩展：

• 研发投入：2023年研发投入2.28亿元，同比增长10.93%。
• 产品线：公司已开发出无图形缺陷检测、明场/暗场纳米缺陷检测、三维形貌测量、膜厚检测、套刻精度测量等多款设备。

套刻测量设备市场表现：

• 逻辑芯片：套刻精度量测设备实现批量销售，订单量增长，市占率提升。
• 存储芯片：有效解决高深宽比结构下的光刻工艺问题，测量超厚光刻胶上的光刻偏移量。

明场/暗场纳米设备进展：

• 明场纳米设备：已完成样机研发，正在验证测试并小批量出货。
• 暗场设备：样机完成，正开展国内主流客户的复杂图形工艺验证。

投资建议：

• 预测：预计2024-2026年营收分别为12.82亿、18.16亿、24.15亿元，归母净利润2.01亿、2.88亿、4.30亿元。
• 估值：对应PE为78.76、55.02、36.80倍。
• 评级：维持“增持”。

风险提示：

• 行业景气度：行业整体趋势可能影响业务发展。
• 客户需求：市场需求变动可能影响收入增长。
• 研发进度：研发计划可能因外部因素而延迟。
• 市场竞争：加剧的行业竞争可能影响市场份额。