大浪淘沙始见金，关注MEMS惯性传感器产业链优质标的

集成电路板块近一年市场表现 投资要点： MEMS惯性传感器产业链可划分为上游器件（含设计、生产、封装、标定测试等）、中游模组、下游系统、终端应用。芯片/组件等元器件位于产业链上游，是产业链中游惯性模组厂商使用的基础核心惯性元器件，此类惯性元器件主要用于自主测量和反馈物体运动速度和角度的变化，并与卫星等其他导控模块形成惯性导航系统、组合惯性系统等，经下游应用端客户集成 在相关设备中发挥惯性导航、惯性测量和惯性稳控的作用。MEMS惯性传感 请务必阅读最后一页股票评级说明和免责声明1 行业研究/行业专题报告 2024年4月9日 大浪淘沙始见金，关注MEMS惯性传感器产业链优质标的 领先大市-A(维持) MEMS惯性传感器专题报告 集成电路 资料来源：最闻 首选股票评级 688582.SH芯动联科增持-A 相关报告： 【山证集成电路】车载以太网芯片需求持续增长，自主可控方兴未艾-【山证新股】车载以太网专题报告2023.7.4 分析师：叶中正 执业登记编码：S0760522010001电话： 邮箱：yezhongzheng@sxzq.com徐风 执业登记编码：S0760519110003邮箱：xufeng@sxzq.com 研究助理：冯瑞 邮箱：fengrui@sxzq.com 器产品最终可应用于消费级（消费电子）、战术级（测绘、资源勘探等高端工业、车辆和飞行体）、导航级（航空、长航时无人系统）、战略级（航天、航海）等领域。 上游器件是功能实现核心，建议关注设计、生产、封测等环节优质标的。具体而言：①设计环节：目前从事MEMS惯性传感器元器件设计的国产厂商数量已初具规模，但不同厂商的业务范围和产品性能仍有较大差距。在MEMS惯性传感器元器件中，陀螺仪和加速度计最为核心，磁力计通常作为辅助或补充因而重要性次于陀螺仪和加速度计。通过比较分析，我们的建议是：在MEMS陀螺仪和加速度计领域，重点把握芯动联科（688582.SH）的投资机会，并关注明皜传感（A23224.SH）的上市进展；在磁力计或磁传感器领域，可优先考虑进展更快的灿瑞科技（688061.SH），并关注纳芯微 （688052.SH）的磁传感器产品进展。②生产环节：我国MEMS产品加工制造环节长期处于相对薄弱状态，先进的代工厂较为稀缺，近年来也在持续加快MEMS产线布局。通过比较分析，建议高度重视赛微电子（300456.SZ）投资机会及其盈利能力恢复。③封测环节：国内的MEMS封装技术比较成熟，拥有较为成熟的工艺和数量众多的封装产线。考虑到测试成本为传感器成本的重要组成部分，建议关注具备MEMS惯性传感器标定测试能力的芯动联科（688582.SH）、明皜传感（A23224.SH）等。 中游模组或为将来的主要应用形态，建议关注车规进展更快的相关标的。除具备MEMS惯性传感核心元件设计能力的厂商向下游拓展以外，目前从事MEMSIMU模组生产的厂商还包括不具备核心元件设计能力但车规经验丰富的一些厂商。通过比较分析，我们建议重点关注已完成定点的华依科技（688071.SH）和已实现出货的中海达（300177.SZ），并重视自动驾驶向更高级别演进给高精度IMU厂商带来的机会。 下游系统为当前主要应用形态，建议关注市场地位更加优越的相关标的。从事MEMS惯性导航系统/组合导航系统研发生产的公司以上游具备 IMU生产能力的厂商为主，也有部分在卫星导航定位领域具有优势的公司。基于车用进展和市场地位考虑，我们建议重点关注经纬恒润（688326.SH）及华测导航（300627.SZ）。 风险提示：MEMS技术升级和迭代失败的风险；人形机器人技术方案存在不确定性及产业化不及预期的风险；高等级自动驾驶迭代进度不及预期的风险。 目录 1.MEMS惯性传感器产业链及相关公司梳理5 1.1上游器件是功能实现核心，建议关注设计、生产、封测等环节优质标的6 1.1.1设计环节：重点把握芯动联科投资机会，并关注明皜传感上市进展6 1.1.2生产环节：高度重视赛微电子投资机会及其盈利能力恢复13 1.1.3封测环节：国内封装技术成熟，可关注具备标定测试能力的芯动联科等16 1.2中游模组或为将来的主要应用形态，建议关注车规进展更快的相关标的17 1.3下游系统为当前主要应用形态，建议关注市场地位更加优越的相关标的22 2.投资建议26 3.风险提示27 图表目录 图1：MEMS惯性传感器产业链情况5 图2：营收同比增速情况（%）11 图3：净利润同比增速情况（%）11 图4：毛利率情况（%）11 图5：净利率情况（%）11 图6：研发费用率情况（%）12 图7：管理费用率情况（%）12 表1：从事MEMS惯性传感器核心元器件设计的代表性公司情况梳理6 表2：MEMS惯性传感器核心元器件上市/待上市公司概况9 表3：2022-2025年PS估值对比12 表4：国内代表性MEMS晶圆产线情况14 表5：MEMS晶圆代工上市公司概况16 表6：国内代表性MEMS封装产线情况17 表7：从事MEMSIMU模组生产的代表性公司情况梳理18 表8：MEMSIMU模组上市公司概况21 表9：从事MEMS惯性导航系统/组合导航系统代表性相关公司情况梳理22 表10：MEMS惯性导航系统/组合导航系统上市公司概况24 1.MEMS惯性传感器产业链及相关公司梳理 MEMS惯性传感器产业链可划分为上游器件（含设计、生产、封装、标定测试等）、中游模组、下游系统、终端应用。芯片/组件等元器件位于产业链上游，是产业链中游惯性模组厂商使用的基础核心惯性元器件，此类惯性元器件主要用于自主测量和反馈物体运动速度和角度的变化，并与卫星等其他导控模块形成惯性导航系统、组合惯性系统等，经下游应用端客户集成在相关设备中发挥惯性导航、惯性测量和惯性稳控的作用。根据核心元器件性能由低到高，MEMS惯性传感器产品最终可应用于消费级（消费电子）、战术级（测绘、资源勘探等高端工业、车辆和飞行体）、导航级（航空、长航时无人系统）、战略级（航天、航海）等领域。以MEMS陀螺仪为例：①消费级产品零偏稳定性>15°/h，标度因数精度>1000ppm，角度随机游走>0.5°/√h；②战术级产品零偏稳定性0.15-15°/h，标度因数精度100-1000ppm，角度随机游走0.05-0.5°/√h；③导航级产品零偏稳定性0.01-0.15°/h，标度因数精度1-100ppm，角度随机游走0.01-0.05°/√h；④战略级产品零偏稳定性<0.01°/h，标度因数精度<1ppm，角度随机游走<0.01°/√h。 图1：MEMS惯性传感器产业链情况 资料来源：芯动联科招股书，山西证券研究所 1.1上游器件是功能实现核心，建议关注设计、生产、封测等环节优质标的 1.1.1设计环节：重点把握芯动联科投资机会，并关注明皜传感上市进展 目前从事MEMS惯性传感器元器件设计的国产厂商数量已初具规模，但不同厂商的业务范围和产品性能仍有较大差距。在MEMS惯性传感器元器件中，陀螺仪和加速度计最为核心，磁力计通常作为辅助或补充因而重要性次于陀螺仪和加速度计。①目前具备MEMS陀螺仪或加速度计设计能力的国产厂商主要有芯动联科、明皜传感（苏州固锝子公司）、士兰微、星网宇达、深迪半导体、矽睿科技、美泰科技等，其中同时具备MEMS陀螺仪或加速度计设计能力的主要是芯动联科、士兰微、美泰科技、中星测控、微元时代等。从产品性能来看，芯动联科和美泰科技的导航级、战术级产品性能远高于士兰微的消费级产品，且芯动联科是高性能MEMS惯性传感器元器件设计厂商中唯一一家上市公司。从应用领域来看，目前国产厂商虽未在人形机器人应用上有实质性进展，但大部分厂商在车规领域均有应用或验证，未来拓展人形机器人应用可能性较大。②目前具备磁力计或底层磁传感器技术的国产厂商主要有深迪半导体、矽睿科技、美新半导体、多维科技、灿瑞科技、纳芯微等，且仅有灿瑞科技和纳芯微为A股上市公司。从应用领域来看，消费电子、工业、汽车为主要应用场景而人形机器人领域暂无应用，但灿瑞科技明确表示三轴磁力计产品可应用于人形机器人领域，基于当前时点判断，磁力计的大规模应用或需等待人形机器人性能要求进一步增强带来9轴IMU产品渗透率提升。 表1：从事MEMS惯性传感器核心元器件设计的代表性公司情况梳理 证券代码 公司名称 公司简介 产品类型 产品情况 车规进展 人形机器人进展 688582.SH 芯动联科 主要从事高性能硅基MEMS惯性传感器芯片的研发、测试与销售 MEMS陀螺仪和MEMS加速度计 精度可达到导航级，主要应用于高可靠领域 在研项目涵盖车规级适用于L3+自动驾驶的高性能MEMSIMU、汽车级功能安全6轴MEMSIMU，预期研发项目将尽快量产 公司产品可以应用于人形机器人，但没有与人形机器人厂家直接签署合同，目前应该主要是由公司下游的模组客户来供应 前装市场：产品已通过 A23224.SH 明皜传感 主要从事MEMS加速度计芯片产品的研发、设计和销售 MEMS加速度计 以消费级为主，主要应用于消费电子、物联网、车载 AEC-Q100认证，并主要应用于T-BOX、智能钥匙等汽车智能交互系统。后装市场：产品主要应用于行车记录 产品未用在机器人上 仪、车载定位器等领域 证券代码 公司名称 公司简介 产品类型 产品情况 车规进展 人形机器人进展 600460.SH 士兰微 目前国内为数不多的IDM模式综合型半导体产品公司 MEMS陀螺仪和MEMS加速度计 主要应用于消费电子领域 暂无 暂无 002829.SZ 星网宇达 致力于惯性技术开发与产业化的领军企业 MEMS陀螺仪 精度可达战术级 公司最早将惯导应用于无人驾驶领域，在民用领域重点参与包括百度、美团等自动驾驶项目，产品主要用于物流车的自动驾驶 在民用领域，公司的惯导产品可应用于人形机器人，但目前尚未与机器人领域相关的公司进行合作 688282.SH 理工导航 主要从事惯性导航系统及其核心部件的研发、生产和销售 MEMS陀螺仪 精度可达战术级 公司有产品可应用于无人驾驶领域，已提供样机给合作单位测试 暂无 688286.SH 敏芯股份 以MEMS传感器研发与销售为主的半导体芯片设计公司 MEMS加速度计 以消费级为主 暂无 暂无 -- 深迪半导体 中国首家研发设计商用消费级和汽车级MEMS陀螺仪系列惯性传感器的公司 MEMS陀螺仪、磁强计 消费级和汽车级 6轴IMU+GNSS可用于汽车导航，未来新一代6轴IMU产品还将能满足先进的自动驾驶系统的需求 暂未用于人形机器人，但已在各类工业/商用/家用机器人实现应用 -- 矽睿科技 主要从事MEMS传感器和磁性传感器芯片的设计、制造以及增值应用与服务 MEMS加速度计、磁力计 以消费级为主 暂无 暂未用于人形机器人，但已在无人机、扫地机器人等实现应用 -- 美泰科技 集研发、设计、制造、封装测试和系统集成为一体的MEMSIDM创新企业 MEMS陀螺仪和MEMS加速度计 精度可达战术级 部分产品可应用于汽车领域实现电子稳定程序、平衡测量、无人驾驶等功能 暂无 -- 美新半导体 中国最早的IDM模式惯性传感器供应商之一，中国惯性传感器领域的领先企业 MEMS加速度计、磁传感器 主要应用于消费电子、汽车、工业、物联网、医疗领域 向全球汽车客户批量供货时间已超过20年，在电子稳定控制系统、电子刹车、防侧翻、主动悬挂系统等领域表现优越 暂无 -- 中星测控 已成为中国乃 MEMS陀 主要应用于飞行 暂无 暂无 证券代码 公司名称 公司简介 产品类型 产品情况 车规进展 人形机器人进展 至全球知名的智能传感器专业制造商及物联网综合解决方案提供商 螺仪和MEMS加速度计 器安全系统、地震监测、试验台加速度测量、雷达天线稳定等 -- 微元时代 专门致力于MEMS陀螺仪、加速度计研发与生产和销售 MEMS陀螺仪和MEMS加速度计 以陀螺仪产品为例，零偏稳定性在5-20°/h，其应用场景应为消费级及部分战术级