微导纳米机构调研纪要

微导纳米机构调研报告 调研日期:2024-01-26 江苏微导纳米科技股份有限公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商,成立于2015年12月。公司以原子层沉积技术为核心,CVD等多种真空薄膜技术梯次发展,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖光伏、LED、集成电路,及MEMS等泛半导体相关领域,以及新能源和柔性电子领域;主要产品为应用于光伏电池、硅基微显示、逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体和3D封装等半导体及泛半导体的专用设备和成套技术,以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池整线的量产解决方案。公司荣获工信部2021年第三批专精特新“小巨人”企业、2021年苏南国家自主创新示范区独角兽企业、2020年度江苏省小巨人企业(制造类)等荣誉称号,并被认定为江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站、江苏省省级企业技术中心。公司通过不断吸纳国内外优秀人才和保持高水平研发投入,已在微米级、纳米级薄膜沉积核心技术领域具有丰富的技术积累。 2024-01-30 董事会秘书龙文,证券事务代表朱敏晓,证券部王少峰 2024-01-26 特定对象调研,现场参观,分析师会议,电话会议 公司会议室、网络会议 北京和聚投资管理有限公司 基金管理公司 - 格林基金 基金管理公司 - 摩根基金管理(中国)有限公司 基金管理公司 - 溪牛投资管理(北京)有限公司 投资公司 - 上海朴易资产管理有限公司 资产管理公司 - 华夏基金 基金管理公司 - 湖南源乘私募基金管理有限公司 基金管理公司 - 上海勤辰私募基金管理合伙企业 基金管理公司 - 明河投资 投资公司 - 上海环懿私募基金管理有限公司 基金管理公司 - 百嘉基金管理有限公司 基金管理公司 - 东方阿尔法基金管理有限公司 基金管理公司 - 国华兴益资管长城财富保险资产管理股份有限公司 保险资产管理公司保险资产管理公司 -- 招商证券资产管理有限公司 资产管理公司 - 路博迈投资 其它 - 华能贵诚信托有限公司 信托公司 - 上海玖鹏资产管理中心(有限合伙)资产管理公司- 上海留仁资产管理有限公司 资产管理公司 - 深圳市拾贝资本有限公司 其它 - 德邦证券股份有限公司 证券公司 - 上海光大证券资产管理有限公司 资产管理公司 - 上海趣时资产管理有限公司 资产管理公司 - 国泰君安证券股份有限公司 证券公司 - 华泰保兴基金管理有限公司 基金管理公司 - 上海翀云私募基金管理有限公司 基金管理公司 - 富荣基金管理有限公司 基金管理公司 - 国联安基金管理有限公司 基金管理公司 - 国寿养老 寿险公司 - 国泰基金管理有限公司 基金管理公司 - 国信弘盛创业投资有限公司 基金管理公司 - 国信证券股份有限公司 证券公司 - 恒识投资管理(上海)有限公司 投资公司 - 泓德基金管理有限公司 基金管理公司 - 北京市星石投资管理有限公司 投资公司 - 华安证券股份有限公司 证券公司 - 华宝基金管理有限公司 基金管理公司 - 华商基金管理有限公司 基金管理公司 - 汇安基金 基金管理公司 - 汇丰晋信基金管理有限公司 基金管理公司 - 汇添富基金管理有限公司 基金管理公司 - 混沌投资 投资公司 - 嘉合基金 基金管理公司 - 嘉实基金管理有限公司 基金管理公司 - 金元顺安基金管理有限公司 基金管理公司 - 北京纵横金鼎投资管理有限公司 基金管理公司 - 弥远投资 投资公司 - 南方基金管理有限公司 基金管理公司 - 南京证券股份有限公司 证券公司 - 南土资产 资产管理公司 - 诺安基金管理有限公司 基金管理公司 - 鹏华基金管理有限公司 基金管理公司 - 筌笠资产 资产管理公司 - 山西证券 证券公司 - 上海复胜资产 资产管理公司 - 上海炬诚资产管理有限公司承珞(上海)投资管理中心(有限合伙) 资产管理公司投资公司 -- 上海证券有限责任公司 证券公司 - 申九资产 其它 - 申万菱信 基金管理公司 - 太保资产 保险资产管理公司 - 天弘基金管理有限公司 基金管理公司 - 天治基金管理有限公司 基金管理公司 - 新余中道投资管理有限公司 投资公司 - 易方达基金管理有限公司 基金管理公司 - 易米基金管理有限公司 基金管理公司 - 益和源投资 - - 大朴资产 资产管理公司 - 银河基金管理有限公司 基金管理公司 - 友邦保险 寿险公司 - 源乐晟资产管理 - - 远方基金 其它 - 远信投资 - - 泽娴投资 - - 长江证券资管 - - 长盛基金管理有限公司 基金管理公司 - 昭图投资 投资公司 - 中国人寿资产管理有限公司 保险资产管理公司 - 丹羿投资 投资公司 - 中加基金管理有限公司 基金管理公司 - 中信证券股份有限公司 证券公司 - 中银基金管理有限公司 基金管理公司 - 朱雀基金管理有限公司 基金管理公司 - 富国基金 基金管理公司 - 信达澳亚 基金管理公司 - 太平洋资管 保险资产管理公司 - 广发证券股份有限公司 证券公司 - 泰康资产 保险资产管理公司 - 东吴证券股份有限公司 证券公司 - 东证融汇资管 资产管理公司 - 中国国际金融股份有限公司 证券公司 - T.RowePrice 资产管理公司 - KIM韩国投信PowerPacific鲍尔太平 -其它 -- Schonfeld - - 阿杏投资 投资公司 - 北京禹田资产管理有限公司 资产管理公司 - 金鹰基金 基金管理公司 - 上海泾溪投资管理合伙企业(有限合伙)投资公司- 东方证券股份有限公司 证券公司 - 非马资产 - - 相聚资本管理有限公司 其它 - 中信建投证券股份有限公司 证券公司 - 浙商证券 证券公司 - 东吴基金管理有限公司 基金管理公司 - 恒越基金管理有限公司 基金管理公司 - 光大证券股份有限公司 证券公司 - 璞远资产 资产管理公司 - 光大保德信基金管理有限公司 基金管理公司 - 东方基金管理股份有限公司 基金管理公司 - 农银人寿保险股份有限公司 寿险公司 - 复胜资产 资产管理公司 - 宁银理财有限责任公司 其它金融公司 - 大家资产管理有限责任公司 保险资产管理公司 - 碧云资本基金会有限公司 - - 易鑫安资产管理有限公司 - - 鑫元基金管理有限公司 基金管理公司 - 国新证券股份有限公司证券公司- 广东正圆私募基金管理有限公司基金管理公司- 上海川流私募基金管理有限公司基金管理公司- 青岛幂加和私募基金管理有限责任公司基金管理公司- 北京康曼德私募基金管理有限公司基金管理公司- 一、公司简介 微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,化学气相沉积(CVD)等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售,向下游客户提供先进薄膜设备、配套产品及服务。 在半导体领域内,公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积(ALD)设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备厂商 ,已与国内多家厂商建立了深度合作关系,相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体(第三代半导体)、新型显示(硅基OLED)等诸多细分应用领域,多项设备关键指标达到国际先进水平。在光伏领域内,公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业,已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一,与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。同时,公司跟随下游厂商的量产节奏,持续优化XBC、钙钛矿、钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术。根据公开的市场数据统计,公司ALD产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。 二、主要交流问题及回复1、公司2023年的业绩和订单情况如何? 从公司已披露的2023年度业绩预告来看,2023年度业绩较去年同期有较大幅度的增长。预计2023年年度实现营业收入165 ,000.00万元左右,同比增加141.05%。预计2023年年度实现归属于母公司所有者的净利润为28,000.00万元左右, 同比增加417.08%。2023年度,公司新增订单总额约64.69亿元,是去年同期新增订单的2.96倍。其中,半导体领域新增订 单是去年同期新增订单的3.29倍,光伏领域新增订单是去年同期新增订单的2.92倍。具体数据敬请关注公司后续披露的定期报告等相关公告。 2、2023年公司新增订单保持快速增长的主要原因是什么? 随着摩尔定律不断演化,逻辑制程不断缩小、存储3D化推进以及终端应用的不断创新,集成电路的特征尺寸及刻蚀沟槽不断微缩,ALD等先进真空薄膜技术在半导体产业发展中扮演越来越重要的角色。终端应用需求增长、进口替代和自主可控等因素驱动了国内晶圆厂逆周期扩 产和工艺迭代升级,加速了国内半导体行业头部客户对国产薄膜沉积设备的产业化验证。 同期,在全球碳中和的背景下光伏行业快速发展,装机量持续增加。随着公司与行业多家头部客户共同合作的PE-PolyTOPCon新型高效电池生产线实现规模化的量产,TOPCon产能率先放量,下游客户扩产计划加速,公司ALD设备在光伏领域的渗透率大幅提升,市场占有率继续保 持领先。同时,公司不断丰富产品矩阵,为客户提供具有竞争力的ALD、PECVD、PEALD、扩散退火等多种定制化产品和TOPCon整线工艺解决方案,实现了对TOPCon产线真空类设备的全覆盖,产品种类、价值量显著提高。 受益于下游光伏、半导体领域客户需求的增长及公司技术与产品的前期积累和布局,新增订单保持了持续的高速增长。3、目前公司半导体领域和光伏领域的客户主要是哪些? 半导体领域内,公司部分半导体设备成功进入数家行业知名客户产线并实现客户端工艺验证,客户数量持续增加,已覆盖逻辑、存储、硅基OLED和第三代半导体等细分领域。其中,存储领域客户拓展取得显著成效。 光伏领域内,客户群体已覆盖包括通威、隆基、晶澳、阿特斯、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。目前,在手和新增光伏订 单客户主要是国内一线主流电池片厂商及上市公司,资信状况良好,具有良好的履约能力。4、ALD作为具有较高技术门槛的薄膜沉积技术,其未来应用前景如何? ALD技术凭借其原子层级沉积特点,具有薄膜厚度精确度高、均匀性好、台阶覆盖率极高、沟槽填充性能极佳等优势,特别适合在对薄膜质量和台阶覆盖率有较高要求的领域应用,在45nm以下节点以及3D结构等先进半导体薄膜沉积环节具有较好的应用前景。根据SEMI行业统计,半导体薄膜技术领域,ALD未来几年市场的复合增长率高达26.3%,超过半导体设备行业的平均增速。5、公司已在ALD领域取得了较好的成绩,未来公司在半导体领域的产品布局上将会如何扩展? 2023年,在保持核心产品ALD设备销售领先优势的同时,公司成功推出了具有市场竞争力的CVD设备,并顺利拿到批量重复订单,进一步扩大产品工艺覆盖度和市场空间。未来,公司将紧跟下游客户的扩产节奏以及对新产品、新工艺的动态需求,持续推动产品和技术创新。预计随着公司战略布局的逐步落地,2024年公司产品的工艺覆盖面、客户数量和订单规模将继续保持增长。6、在光伏领域内,公司的XBC、钙钛矿等新一代高效电池技术的发展情况如何? 公司在TOPCon、XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层等电池技术领域均有产品储备、布局和出货。其中,公司应用于XBC和钙钛矿叠层电池的专用设备已顺利获得客户验收。在XBC电池领域,爱旭、隆基已投产和拟投产的电池生产线中,公司的ALD产品占比保持领先;在钙钛矿电池领域, 公司已获得国内客户百兆瓦级量产设备订单。7、公司近期出货的首台ALD车载芯片封装量产设备,其应用前景如何? ALD技术作为一种具有普适意义的真空镀膜技术,在柔性电子、MEMS、催化及光学器件等诸多高精尖领域均拥有良