微导纳米机构调研纪要

微导纳米机构调研报告 调研日期:2023-09-11 江苏微导纳米科技股份有限公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商,成立于2015年12月。公司以原子层沉积技术为核心,CVD等多种真空薄膜技术梯次发展,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖光伏、LED、集成电路,及MEMS等泛半导体相关领域,以及新能源和柔性电子领域;主要产品为应用于光伏电池、硅基微显示、逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体和3D封装等半导体及泛半导体的专用设备和成套技术,以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池整线的量产解决方案。公司荣获工信部2021年第三批专精特新“小巨人”企业、2021年苏南国家自主创新示范区独角兽企业、2020年度江苏省小巨人企业(制造类)等荣誉称号,并被认定为江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站、江苏省省级企业技术中心。公司通过不断吸纳国内外优秀人才和保持高水平研发投入,已在微米级、纳米级薄膜沉积核心技术领域具有丰富的技术积累。 2023-09-20 董事会秘书龙文,证券事务代表朱敏晓,证券部王少峰 2023-09-112023-09-19 特定对象调研,现场参观,分析师会议公司会议室、网络会议 浙商证券股份有限公司 证券公司 - 上海益和源资产管理有限公司 资产管理公司 - 上海名世私募基金管理有限公司 基金管理公司 - 中国国际金融股份有限公司 证券公司 - AberdeenInvestment-- PermodalanNasionalBerhad其它- 景顺长城基金管理有限公司 基金管理公司 - 中建投信托股份有限公司 信托公司 - 华能贵诚信托有限公司 信托公司 - 上海湘楚资产管理有限公司 资产管理公司 - 承珞投资管理中心 - - 惠升基金 基金管理公司 - 国联资产管理有限公司 资产管理公司 - 诺安基金管理有限公司 基金管理公司 - 摩根基金管理(中国)有限公司 基金管理公司 - 莫尼塔(上海)信息咨询有限公司 其它 - 中信建投证券股份有限公司 证券公司 - 鑫元基金 基金管理公司 - 上海弥远投资管理有限公司 投资公司 - 申万宏源证券有限公司 证券公司 - 浙江旌安投资管理有限公司 投资公司 - 晋鑫源(上海)投资管理有限公司 投资公司 - 远信投资 - - 上海摩旗投资管理有限公司 投资公司 - 安信证券股份有限公司 证券公司 - 上海天倚道投资管理有限公司 投资公司 - 广发证券股份有限公司 证券公司 - 上海高鑫私募基金管理有限公司 基金管理公司 - 上海勤辰私募基金管理合伙企业 基金管理公司 - 中航信托股份有限公司 信托公司 - 华宝信托有限责任公司 信托公司 - 一、公司简介 微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,化学气相沉积(CVD)等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售,向下游客户提供先进薄膜设备、配套产品及服务。 在半导体领域内,公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积(ALD)设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备厂商 ,已与国内多家厂商建立了深度合作关系,相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等诸多细分应用领域,多项设备关键指标达到国际先进水平。在光伏领域内,公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业,已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一,与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。同时,公司跟随下游厂商的量产节奏,持续优化XBC、钙钛矿/异质结叠层 电池等新一代高效电池技术。根据公开的市场数据统计,公司ALD产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。 2023年上半年,公司根据订单节奏安排产品交付并推进客户验收,前期在手订单陆续实现收入转化,专用设备产品验收数量增长导致公司营业收入较上年同期有所增长,从而使得公司业绩相比去年同期有所改善。2023年上半年公司实现营业收入38,207.72万元 ,与上年同期相比增加22,646.41万元,同比增加145.53%。2023年上半年实现归属于母公司所有者的净利润为6,856 .72万元,与上年同期相比实现扭亏为盈,同比增加10,781.75万元。二、主要交流问题及回复 1、公司后续营业收入展望如何? 目前公司在手订单充足,截止2023年6月30日,公司在手专用设备订单约62.53亿元,其中光伏设备订单56.21亿元,半导体设备订单5.48亿元,其他设备订单8,461万元。预收合同款和已发货商品分别达到了15.54亿元和10.02亿元,为后续业绩增长提供了一定的保证。 2、光伏领域与半导体领域的薄膜沉积技术存在什么差异? 半导体薄膜沉积技术与光伏薄膜沉积技术在生产制造环节、工艺标准和产业发展驱动方面存在明显的差异。从生产制造环节来看,半导体领域薄膜设备的工艺需求远高于光伏领域。从工艺标准来看,半导体工艺在防止微尘污染、防止金属与不纯物污染、均匀性等方面均比光伏工艺标准更高。从产能要求上来看,光伏电池的目标是降本增效,对于薄膜沉积设备产能要求高,而半导体对于沉积薄膜的质量要求高,对于产能要求相应较低。从产业发展驱动来看,光伏薄膜沉积技术的发展主要取决于下游客户产线的技术迭代,半导体薄膜沉积技术的发展一方面取决于庞大的终端应用市场需求及新兴工艺的发展,另一方面,进口替代和自主可控等因素也驱动了工艺技术迭代升级。3、如何看待半导体领域内各细分领域内出现的新进入者? 由于历史积淀和战略选择,本土厂商之间的技术各有侧重点。目前来看ALD与CVD的国产化率均有较大提升空间,在中国半导体产业发展的重要战略时期,需要多家优秀的半导体设备公司,为产业的发展做出贡献,充分发挥各自的比较优势,共同推动半导体设备的良性竞争与发展。4、公司研发投入和在研项目情况如何? 公司坚持自主创新,持续加大研发投入,巩固现有技术优势,拓展并深化产业前瞻领域的应用。2023年上半年,公司研发投入9,803 .19万元,占收入比例超过25%,其中约50%投向半导体领域。公司半导体领域研发投向包括逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等项目;光伏领域研发投向包括TOPCon、XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术等项目。5、公司研发人员的增长情况如何? 公司研发队伍人员不断充实,研发人员达到303人,同比增长48.07%。目前已形成了一支结构合理、分工明确、专业知识储备深厚 、产线验证经验丰富的研发团队。6、公司管理体系是如何? 公司实行董事会领导下的总经理负责制。下设总经理办公室、制造中心、生产计划部、半导体事业部、光伏事业部、产业化应用中心等部门。 7、光伏技术路线的发展对薄膜沉积技术应用的影响如何? 根据所需沉积薄膜类型的不同,光伏领域各技术路线有其各自适合的应用场景,并随着光伏电池技术发展而动态变化。PECVD技术因其兼容 性高,各类型应用前景广泛。ALD技术作为成膜质量最好的技术,随着光伏效率提升对薄膜工艺要求提高,也有更多的应用场景。