半导体设备板块2022年年报及2023年一季报总结：收入盈利订单三重上修，平台化更显α竞争力

——半导体设备板块2022年年报及2023年一季报总结 样本：我们选取半导体设备（中信）指数，分析回顾半导体设备板块2023年以来市场表现；选取9家主要半导体前道设备公司北方华创/中微公司/拓荆科技/盛美上海/华海清科/精测电子/芯源微/万业企业/至纯科技，6家主要半导体后道设备企业华峰测控/长川科技/光力科技/金海通/联动科技/耐科装备，7家主要半导体设备零部件企业新莱应材/富创精密/英杰电气/正帆科技/华亚智能/汉钟精机/江丰电子对半导体设备板块2022年年报及2023Q1经营情况进行总结和分析。 2022年年报及2023Q1市场及经营情况概述： 前道设备：1）市场表现：2022年底“美国BIS新规+预期2023年资本支出放缓+终端疲软影响下游采购”等下挫市场预期后，2023年初至今迎来预期边际改善及日荷出口限制等事件性催化，板块整体涨幅32.1%。2）收入规模放量：订单交付兑现，主要公司2022年半导体设备营收合计238.6亿元，同比增长65%，前道国产市占率由9.5%提升至16.4%；23Q1营收继续高增，拓荆科技/北方华创/华海清科/盛美上海增速超70%。3）盈利上修：毛利率与期间费用率双重作用，利润进入加速释放期，2022年全年北方华创/中微公司/拓荆科技/华海清科/芯源微/盛美上海扣非净利率分别达14.3%/19.4%/10.4%/23.0%/9.9%/24.0%，同比提升6.0/9.0/21.3/8.9/2.2/12.0pcts。4）订单饱满：合同负债保持高位，拓荆科技/华海清科/万业企业/至纯科技/精测电子半导体相关业务订单销售比超2倍，保障2023年业绩继续高成长。5）平台化布局：平台化趋势更为显著，各设备公司均有多款工艺设备处于验证中或亟待放量，核心α竞争力成为市场关注重点。 后道设备：1）财务表现：选取的半导体后道设备企业2022年合计营收48.9亿元，同比+39.1%，合计市占率由2021年9.9%提升至13.2%；其中长川科技绑定大客户，2022年营收25.8亿元，实现70.5%高增长。季度看，2022H1受板块周期下行影响，下游封测企业资本支出放缓，后道设备企业收入增速放缓，2023Q1业绩继续承压。2）后市展望：短期看，中芯国际预计2023Q2收入触底回升，因此我们预计2023Q2将为周期底部，需求将在后续季度缓慢复苏，催化下游封测企业释放资本开支，带动半导体后道设备需求复苏； 999563317 长期看，先进封装成为后摩尔时代芯片性能提升新方案，预计后续扩产将带来后道设备新需求。 半导体设备零部件：1）财务表现：2022年，受益设备高景气及国产替代，新莱应材/富创精密/英杰电气/江丰电子半导体设备零部件相关业务分别实现营收7.1/15.4/1.9/3.6亿元 ， 同比增长33.5%/83.2%/175.3%/94.5%，增速亮眼；2023Q1新莱应材/富创精密/华亚智能/江丰电子受周期下行影响增速放缓，英杰电气/正帆科技/汉钟精机等待突破或放量。2）后市展望：根据我们测算，2022年新莱应材/富创精密/英杰电气/正帆科技/华亚智能/汉钟精机/江丰电子布局产品对应中国大陆市场空间分别为87/236/97/48/42/97/77亿元，对应市占率均小于10%，未来仍有较大成长空间。 后市展望：1）短期催化：受消费端需求疲软及去库存影响，海外晶圆厂扩产放缓，国际头部半导体设备厂商业绩承压，大陆需求补上空位，订单供应优先级有望提前，从而加速内资晶圆产线招标扩产。2）长期需求：根据我们的测算，目前内资12吋在建晶圆厂合计规划产能达156万片/月，合计投资金额超1000亿美元，预计将继续支撑国内晶圆厂3-4年扩产高峰期。3）战略定位：美国对中国大陆半导体行业的封锁再次升级，日本新出口管制计划将半导体设备出口限制从光刻机延伸到薄膜沉积设备、刻蚀设备、清洗设备、热处理设备范围，国内半导体制造产业供应链安全需求愈加紧迫，预计将加速半导体设备零部件国产替代。 投资建议： 半导体设备板块，我们建议从三个维度去选择标的： 1）平台化战略下，选择已构建阶梯化成长曲线的标的，建议关注：北方华创、中微公司、盛美上海； 2）收入弹性角度，选择高订单销售比标的，建议关注：拓荆科技、华海清科； 3）国产突破角度，选择低国产化率环节标的,建议关注：芯源微、精测电子。 半导体设备零部件板块，我们建议从两个维度去选择标的： 1）需求角度，随着下游晶圆厂设备招标恢复，以及设备厂商出货环比改善，预计零部件需求也将迎来边际改善，建议关注：富创精密、新莱应材、正帆科技； 2）国产突破角度，选择布局核心卡脖子环节的标的，建议关注：英杰电气、汉钟精机。 风险提示：下游晶圆厂扩产及招标不及预期，中美科技博弈影响上游供应链，消费端需求复苏及库存调整不及预期，国产化推进不及预期，统计样本只能一定程度反映板块全貌、可能失真。 1.半导体前道设备板块2022年报及2023一季报总结 1.1.市场表现：2023年以来利空出尽迎来利好催化，整体涨幅32.1% 我们以半导体设备（中信）指数为参考，回顾2022年四季度至今半导体设备板块的股价走势，可以发现，相较于沪深300指数的平稳上行，2022Q4整体涨幅1.16%，2023年初至今整体涨幅3.75%，半导体设备板块受消息面事件影响较大，股价波动也相对更剧烈，具体可以分为以下几个阶段： 1)2022/10/1-2022/10/11：美国UVL清单大利空，涨幅-24.74%。2022年10月7日，美国BIS新修订未经核实清单（UVL清单），其中对中国大陆“超算+先进半导体制造（逻辑1 6/14nm 及以下制程，NAND 128层以上制程，DRAM 18nm 及以下制程）”领域的物品出口限制和美国人服务限制引发市场对“内资晶圆厂未来能否扩产”的担忧，板块因此大幅下跌。 2)2022/10/11-2022/11/3：超幅下跌后阶段性回暖，涨幅20.44%。基于半导体设备板块长期“战略布局+国产替代”的确定性逻辑，板块在2天超幅下跌后迎来阶段性的情绪回暖。 3)2022/11/3-2022/12/24：不确定期悲观主导市场，涨幅-17.66%。终端需求疲软以及美国限制影响下，下游核心晶圆厂延迟国产设备交付与招标，内资晶圆厂扩产不确定性进一步加强；此外，12月15日，美国商务部最终确定将长江存储、上海微电子等公司列入实体清单，利空再次强化悲观情绪，压低市场对2023年资本支出的预期。 4)2022/12/24-2023/3/27：利空出尽后预期边际向好，涨幅19.31%。年后2月10日，中芯国际业绩会给出2023年资本支出相较2022年持平的超预期指引，利空出尽叠加利好催化，市场对2023年资本支出的预期转而边际向好。 5)2023/3/27-2023/4/20：事件性催化叠加一季报高增预期，涨幅36.95%。2023年3月28日，商务部长会见ASML全球总裁，且市场迎来一季报集中发布期，基于前期充沛的订单需求以及设备较长的订单-交付-收入确认周期，市场预期半导体设备企业23Q1业绩将继续实现高增，带来利好催化。 6)2023/4/20-2023/5/16：解禁/减持以及日本出口管制预期未定压制股价，涨幅-14.43%。 图1.2022Q4-2023Q1半导体设备（中信）指数股价走势 表1：主要半导体前道设备公司近期解禁/减持计划汇总 回顾2022Q4，在上述事件影响下除精测电子外，核心半导体设备公司股价均呈现不同程度的下滑，其中华海清科/芯源微/拓荆科技跌幅超30%，芯源微跌幅较大还受自身12月16日上市首发限售股解禁以及12月23日定增机构配售股上市流通影响。 回顾2023Q1，市场情绪边际转好背景下，板块核心公司均呈现上涨趋势，其中中微公司/芯源微/华海清科/精测电子/拓荆科技分别涨幅51%/42%/41%/31%/30%，处于领涨阵列。 表2：主要半导体前道设备公司2022Q4/2023Q1涨跌幅及2022Q1-2023Q1机构持仓比例变化 1.2.财务表现：前道国产化率提升至16.4%，利润进入高速释放期 2022年半导体设备合计营收238.6亿元，前道国产化率提升至16.4%。根据样本公司数据统计，2022年，主要半导体前道设备企业总营收均实现高增长，我们详细拆分到半导体设备部分来看：除至纯科技/精测电子外，其他设备公司均实现50%以上增长，其中拓荆科技/华海清科超预期实现翻倍增长，在2019-2020年各公司设备在多种工艺上持续实现0到1的突破后，2021-2022年国产半导体设备进入1到10的高速放量期，市占率持续提升。我们以SEMI统计的中国大陆半导体设备出货额为参考，根据SEMI披露的2017年全球集成电路设备市场结构假设前道设备占比81%，以各年底美元兑人民币汇率折算，此9家核心半导体前道设备企业在2021/2022年分别实现半导体设备整体营收144.9/238.6亿元，对应国产化率9.5%/16.4%；2022年半导体设备整体营收增速65%，市占率提升6.9pcts。 表3：主要半导体前道设备公司2022年总营收/半导体设备营收及增速情况 2023Q1营收继续高增，拓荆科技/北方华创/华海清科/盛美上海增速超70%。2023年一季度，北方华创/中微公司/至纯科技/盛美上海/华海清科/精测电子/拓荆科技/芯源微/万业企业分别实现营业收入38.7/12.2/7.8/6.2/6.2/6.0/4.0/2.9/1.2亿元 ， 同比增长81%/29%/43%/74%/77%/0%/274%/57%/28%；其中拓荆科技/北方华创/华海清科/盛美上海增速超70%，精测电子营收持平主要因为其半导体设备业务占比仍较低，营收主要反应其面板设备情况，目前面板设备市场需求主要依赖产线技改和升级需求，随着AR/MR产品商业化，新型显示的大规模应用将给公司带来新的增长曲线。此外，对比各公司2022年底存货-发出商品与2023Q1营收，可以发现公司部分产品交付-确认收入周期超过1个季度，由其拓荆科技/华海清科，拓荆科技2022年底存货中发出商品13.1亿元，是2023Q1营收的3倍以上；华海清科2022年底发出商品11.8亿元，约为2023Q1营收的2倍；因此，高发出商品/2023Q1营收比率将进一步保障公司后续业绩增长。 图2.主要半导体前道设备公司2023Q1营收及增速情况 规模效应凸显，利润进入加速释放期。2022年，北方华创/拓荆科技/华海清科/芯源微/盛美上海分别实现归母净利润23.5/3.7/5.0/2.0/6.7亿元 ， 同比增长118%/438%/153%/159%/151%，均实现100%以上增长，随着销售规模扩大，半导体设备企业已经进入利润加速释放期。此外，中微公司2022年归母净利润11.7亿元，增速仅16%，主要原因在于其2020-2021年其利润结构中非经常性损益占比较大，扣除非经常性损益，2022年中微公司扣非净利润为9.2亿元，同比增长183%，同样实现高速增长。 图3.主要半导体前道设备公司2022年及2023Q1归母净利润及增速情况（亿元，%） 盈利能力持续上修，北方华创/拓荆科技/芯源微/至纯科技利润率仍有较大上升空间。2022年，北方华创/中微公司/拓荆科技/华海清科/芯源微/盛美上海扣非净利率分别增加6.0/9.0/21.3/8.9/2.2/12.0pcts，达到14.3%/19.4%/10.4%/23.0%/9.9%/24.0%，盈利能力大幅上修；对标海外头部半导体设备公司20%-30%的净利率水平，我们认为北方华创/拓荆科技/芯源微/至纯科技盈利能力仍有较大的上升空间： 1）北方华创：2022年公司扣非净利率提升主要受益于毛利率提升4.4pcts，期间费用率收缩3.4pcts。2022年，公司电子工艺装备业务毛利率37.7%，相较海外设备公司45%左右的毛利率仍有较大提升空间，叠加规模效应