半导体设备行业2022年中报总结及三季报业绩展望：本土厂商收入保持高增长，扣非净利率持续攀升

三季报业绩预告：保持高增长，盈利能力增强。参考北方华创、新莱应材、华特气体的业绩预告，半导体设备及零部件板块的利润保持高速增长，其中北方华创前三季度收入预计同比增长53%-69%，而净利润预计同比增长136%-173%，预计北方华创的净利率继续改善。 国内半导体设备上市公司业绩加速增长，扣非净利率持续提升。1H22半导体设备行业总收入同比增长64%。从收入增速来看，拓荆科技的收入增长最快，达到365%，其次是华海清科，同比增长144%。盛美、长川增速均在70%以上。 今年上半年，半导体设备行业的扣非净利率平均值17.7%，呈现逐年上升趋势，对应毛利率也逐年上升，上半年国内半导体设备行业平均毛利率为48.7%。 国内半导体设备上市公司订单普遍高增长，合同负债、存货均大幅增长。2022年二季度末，设备公司前道设备的合同负债普遍延续增长趋势，较年初增幅较大的是拓荆科技、芯源微、华海清科、中微、北方华创、盛美，但封装测试设备均有一定下滑。二季度末，各家上市公司存货较年初均有较大幅度增长，增幅较大的依次是拓荆科技、长川科技、中微公司、盛美上海、北方华创。 横向、纵向两大维度加大新产品研发，做大做强半导体设备企业。一是继续提升已有核心产品的竞争力，例如，拓荆科技推出六站式PECVD和六站式 PE-ALD、多边形高产能平台，芯源微推出高产能架构平台，盛美拟推出超临界清洗设备。二是进行新产品线扩张，对比美国应用材料产品横跨CVD、PVD、刻蚀、CMP、离子注入、量测、RTP等除光刻机外的几乎大部分半导体设备，中微、盛美分别在epi、LPCVD、ALD、ALE和电镀、炉管等关键设备上的布局。 半导体零部件布局成形，业绩显著放量。市场上有两类半导体零部件企业，一类是主营业务全部来自半导体零部件业务，例如富创精密、珂玛科技、沈阳中科仪，一类是半导体零部件是企业的新业务板块，例如江丰电子、神工股份、新莱应材等，此类零部件企业中的零部件收入占比持续提升。经历多年技术储备和验证后，2022年起半导体零部件业务呈现快速增长趋势。 光伏设备公司加快布局半导体设备业务。各家光伏设备公司根据技术路线确定自身优势领域，例如晶盛机电在原有光伏硅片设备优势基础上，全面布局集成电路硅片长晶炉、切磨抛加工设备，奥特维从光伏串焊机出发，布局半导体金铜线键合机、铝线键合机等。高测股份布局半导体切片机、半导体研磨机、碳化硅切片机、碳化硅专用金刚线等。 国际半导体设备龙头业绩增速放缓，封测设备收入进入同比下降趋势。今年上半年，前道的制程设备中，LamResearch销售收入增速快于应用材料和TEL，KLA收入增速位于前五大半导体设备龙头首位；单片ALD设备龙头ASM保持30%以上的收入增长，成长性高；离子注入机Axcelis也保持了较高增速。测试设备方面，日本测试机龙头Advantest保持了高速增长，与美国测试机龙头Teradyne负增长形成鲜明对比。封装设备中，Besi、K&S、ASM Pacific的第三季度收入陷入大幅负增长，体现全球封装行业显著收缩了资本开支计划。 投资建议：建议关注向半导体先进封装/检测领域进军的快克股份、德龙激光、和天准科技；半导体设备龙头订单增长将带动相关零部件及材料的高需求，关注半导体材料及零部件厂商新莱应材、英杰电气、正帆科技；半导体厂商对废弃处理的需求也相应上升，关注泛半导体工艺废气治理龙头盛剑环境。 风险分析：外部环境不确定性风险，技术迭代风险，美国进一步限制关键设备和零部件出口的风险。 1、国内半导体设备行业上半年收入同比增长64% 今年上半年，部分主要半导体设备上市公司（北方华创、中微、长川、拓荆、华海清科、芯源微、盛美、华峰测控，下同）总收入120亿元，同比增长64%，净利润总计23.39亿元，同比增长109%。 从上半年收入增速来看，拓荆科技的收入增长最快，达到365%，其次是华海清科，同比增长144%。盛美、长川增速均在70%以上。 单季度看，今年第二季度部分主要半导体设备上市公司总收入71.10亿元，同比增长64%，净利润总计17.05亿元，同比增长123%。 单从第二季度收入增速来看，拓荆科技的收入增长最快，达到658%，其次是盛美上海、华海清科，二季度收入分别同比增长112%、111%。 表1：半导体设备上市公司中报业绩比较 根据各公司公告，国内半导体设备龙头北方微（北方华创子公司）、中微公司、长川科技、盛美上海的上半年收入均超过10亿元，华海清科、华峰测控、拓荆科技的上半年收入均在5-8亿元之间，而光力科技、中科飞测、凯世通、上海精测半导体的上半年收入均在0-2亿元之间。 图1：中国半导体设备上市公司1H22收入排名（亿元） 表2：中国半导体设备上市公司1H22收入排名 参考8家半导体设备企业（北方华创、中微、长川、拓荆、华海清科、芯源微、盛美、华峰测控）第二季度总收入，2022年第二季度国内半导体设备行业市场规模创历史新高，单季度收入超过70亿元，同比增长64%。从Wind一致预期看，这8家半导体设备企业总收入2022年全年将达到299亿元，同比增长56%。 图2：国内半导体设备企业单季度收入创新高（亿元） 2、国内半导体设备行业上半年扣非净利率达到17.7% 2.1、半导体设备扣非净利率显著上升，规模效应明显 今年上半年，部分主要半导体设备公司扣非净利率的平均值达到17.7%，第二季度扣非净利率20.7%，2017-2021年扣非净利率依次是-4.3%、3.4%、4.5%、4.4%、11.1%，逐年上升趋势显著。 图3：国内半导体设备上市公司扣非净利率对比 从今年上半年扣非净利率看，前道设备企业中盛美、中微、华海清科的扣非净利率超过20%。 图4：国内半导体设备企业1H2022扣非净利率对比 从1H2022相比2021年的扣非净利率变动幅度看，行业平均上升6.6个百分点，其中上升幅度从大到小，依次是拓荆科技、中微公司、盛美上海、华海清科、长川科技、芯源微、北方华创等。 表3：半导体设备上市公司扣非净利率 2.2、半导体设备净利率逐年显著上升至20.8% 今年上半年，国内半导体设备行业平均净利率达到20.8%，2017-2021年净利率依次是8.8%、8.2%、8.4%、15.1%、18.4%，逐年上升趋势显著。 图5：国内半导体设备上市公司净利率 从今年上半年净利率看，前道设备企业中的拓荆、华海清科、盛美、中微的净利率超过20%。 从1H2022相比2021年的净利率变动幅度看，行业平均上升2.4个百分点，其中上升幅度从大到小，依次是拓荆科技、长川科技、盛美上海、芯源微、北方华创、联动科技、华海清科等。 表4：半导体设备上市公司净利率 2.3、半导体设备行业前道制程设备毛利率逐年升至46% 2022年上半年，国内半导体设备行业平均毛利率达到48.7%，2017-2021年毛利率依次是41.4%、41.1%、41.6%、40.4%、43.9%，逐年上升趋势显著。 2022年上半年，国内半导体设备中，前道制程设备的行业平均毛利率达到 46.0%，2017-2021年毛利率依次是37.8%、38.2%、39.2%、37.7%、40.8%，逐年上升趋势显著。 图6：国内半导体设备企业近年来毛利率普遍升至45%左右 从今年上半年毛利率看，前道设备企业中拓荆、华海清科、盛美、中微、北方华创毛利率均超过45%，芯源微因前道Track收入占比暂时较低以致于总体毛利率不高但也达到40%。 图7：国内半导体设备企业1H2022毛利率对比 从1H2022相比2021年的毛利率变动幅度看，行业平均上升4.8个百分点，其中上升幅度从大到小，依次是北方华创、盛美上海、长川科技、拓荆科技、华海清科、芯源微、中微公司。 表5：半导体设备上市公司毛利率比较 2.4、半导体设备行业各项费用率逐年下降 2022年上半年，国内半导体设备行业平均毛利率达到48.7%，扣非净利率 17.7%，研发投入占收入比例为21.5%（个别企业研发支出资本化），管理费用率7.5%，销售费用率（不含研发）为6.9%。 规模效应摊薄各项费用率。2017年-2022年上半年，国内半导体设备行业研发费用占收入比例从29.7%降至21.5%，累计下降8.2pct；管理费用率从15.0%降至7.5%，销售费用率从10.1%降至6.9%。 图8：国内半导体设备企业各项费用率均呈现下降趋势 3、订单充足、备货积极，合同负债持续攀升 3.1、国内半导体设备订单普遍高增长 主要半导体设备公司订单增长情况列举如下： 华海清科：2022上半年新接订单20.19亿元，同比增长133%； 芯源微：上半年新签订单同比大幅增长。公司offline、I-line、KrF机台均实现了批量销售，前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长，其中公司I-line、KrF涂胶显影机获得了多家头部晶圆厂的小批量重复订单； 中微公司：上半年新签订单30.57亿元，同比增长612%。 万业企业：上半年旗下凯世通及嘉芯半导体共获得设备采购订单近11亿元； 晶盛机电：上半年，半导体装备订单量实现同比快速增长，未完成半导体设备合同（含税）22亿元，相比去年末在手订单10.68亿元增加了1倍。 图9：上半年晶盛机电的半导体设备订单大幅上升（亿元） 3.2、国内半导体前道设备的合同负债普遍攀升 2022年二季度末，各家前道设备的合同负债普遍延续增长趋势，对比年初增幅较大的是拓荆科技、芯源微、华海清科、中微、北方华创、盛美，而后道封装测试设备合同负债均有一定下滑。 表6：半导体设备上市公司合同负债及相应增幅对比 历年数据看，拓荆科技、华海清科的合同负债数据表现比较一致，而盛美、芯源微类似。 图10：半导体设备合同负债持续上升（亿元） 3.3、国内半导体设备的存货普遍攀升 2022年二季度末，各家上市公司存货较年初均有较大幅度增长，其中增幅较大的依次是拓荆科技、长川科技、中微公司、盛美上海、北方华创、华海清科、芯源微、华峰测控，联动科技则基本持平。 表7：半导体设备上市公司存货及相应增幅对比 图11：半导体设备存货持续上升（亿元） 2022年二季度末，多家上市公司的发出商品较年初有较大幅度增长，其中增幅较大的依次是长川科技、拓荆科技、华海清科、中微公司、盛美上海，而华峰测控、联动科技、芯源微略有下降。 表8：半导体设备上市公司发出商品及相应增幅 4、半导体设备新产品研发：从横向、纵向两大维度加大新产品研发 一是继续提升已有核心产品的竞争力，例如，拓荆科技推出六站式PECVD和六站式PE-ALD，以及多边形高产能平台，芯源微推出高产能架构平台，盛美拟推出超临界清洗设备。 二是进行新产品线扩张，对比美国应用材料产品横跨CVD、PVD、刻蚀、CMP、离子注入、量测、RTP等除光刻机外的几乎大部分半导体设备，中微在epi、LPCVD、ALD、ALE加大新产品研发力度，而盛美在原有清洗设备基础上，加大电镀、炉管、另两款关键设备上的布局，打开新的发展空间。 表9：半导体设备上市公司新产品研发进度 表10：拓荆科技产品布局 对比美国应用材料，国内半导体设备厂商的产品多样性有待提高，但本土半导体设备布局基本完善。应用材料（AMAT）是全球最大的半导体设备公司，产品横跨CVD、PVD、刻蚀、CMP、离子注入、量测、RTP等除光刻机外的几乎大部分半导体设备。本土厂商中，北方华创的产品布局最为广泛，覆盖PVD、PECVD、LPCVD、ICP刻蚀、单片ALD、退火/合金/氧化/扩散等多种产品。 表11：半导体设备企业产品布局 A股半导体设备龙头的产品布局包括： 拓荆科技：PECVD+SACVD+PE-ALD+Thermal-ALD+HDPCVD+UV Cure，且发布多边形高产能平台、六站式反应腔； 中微公司：CCP+ICP+ALE+LPCVD+ALD+EPI+MOCVD； 华海清科：CMP+