半导体设备行业2021年和2022年一季度收入端持续高增,2022年一季度出现一定波动,主要系部分企业因非经常损益影响净利润出现较大下滑。整体来看,2021年和2022年一季度十家半导体设备企业合计实现营收237.62亿元、57.76亿元,分别同比+51.27%、+40.04%,延续较高增长态势;整体归母净利润分别为40.08亿元、6.19亿元,分别同比+69.39%、-5.14%。此外,2022年一季度十家半导体设备企业合计存货&合同负债达到201.45亿元、96.14亿元,继续创历史新高,分别同比+59.03% 、+57.45%,大幅提升,我们认为充足订单将保障短期业绩继续高增长。