营业收入高速增长，持续发力半导体业务

事件：至纯科技发布2022年度报告：公司全年实现营收30.50亿元，同比增长46.32%；归母净利润2.82亿元，同比增长0.24%；扣非后归母净利润2.85亿元，同比增长76.03%。 新签订单金额保持较快增长，非经常项目拖累利润增速：公司接单量维持高位，第四季度单季新签订单金额5.98亿元；全年新增订单总额为42.19亿元，同比增长30.62%，其中半导体制程设备新增订单18.00亿元，同比增长60.71%。公司2022年政府补助、投资收益、房地产收益都明显减少，非经常项目损益为-0.03亿元，相比2021年的1.20亿元出现明显下降，是利润增速放缓的主要原因。 加大研发投入聚焦高端清洗设备：公司2022年累计研发费用1.93亿元，同比增长33.37%。公司已交付4台14纳米级清洗设备，并继续研发14-7纳米相关技术。日本限制出口多种清洗设备后，晶圆厂对国产设备的支持力度有望加大，公司相关产品导入验证也有望加快。 定增融资，三地布局提升产能：2022年12月10日公司发布公告拟定增18亿元，其中12.6亿元用于建设上海、启东、北京在内的生产研发基地。项目建成后，可用于炉管、涂胶显影设备、光伏制绒清洗设备，及14纳米高端设备所需湿法工艺模块、单片式腔体、高纯度阀的研发与量产，提升公司的供应能力和技术水平。 投资建议：考虑半导体下行周期、公司在手订单规模、研发进度等多种因素的影响，我们预计公司2023-25年营收为41.01/50.39/62.31亿元,归母净利润分别为5.31/6.98/8.65亿元，对应PE为26.50/20.16/16.27倍，给予“增持”评级。 风险提示：半导体市场下行周期叠加海外供应风险，国内半导体设备需求放缓；高端产品研发进度不及预期；行业竞争加剧。