性能深度与应用广度齐升， 刻蚀龙头发展动能强劲

2023年04月05日 公司研究●证券研究报告 中微公司（688012.SH） 公司快报 性能深度与应用广度齐升，刻蚀龙头发展动能强劲 事件点评：中微公司发布2022年度报告，2022年实现营收47.40亿元，同比增长 52.50%；归母净利润为11.70亿元，同比增长15.66%；扣非归母净利润9.19亿元，同比增长183.44%；毛利率为45.74%，同比增长2.38pcts；净利率为24.64%，同比下降7.90pcts，业绩符合预期。专用设备业务为公司主要收入贡献者，占比超80%。2022年专用设备营收为38.47亿元，同比增长53.46%，占营收81.17%，毛利率为45.18%；备品备件营收为8.35亿元，同比增长50.27%，占营收17.62%，毛利率为46.88%；设备维护营收为0.57亿元，同比增长26.82%，占营收1.21%，毛利率为66.48%。业绩变动主要原因包括：（1）等离子刻蚀设备进入5nm及更先进产线，市占率持续提高：在半导体前道加工工艺中，除光刻机外，等离子刻蚀设备工艺难度最高，且为前道加工必不可少设备之一。目前公司自主研发等离子刻蚀设备在5nm及下一代更先进生产线上实现多批次销售，国内外客户认可度逐步提高，市占率逐步增加；（2）MOCVD设备在蓝绿光LED生产线取得绝对领先地位：公司MOCVD设备在行业领先客户产线大规模投入量产，已成为世界排名前列的氮化镓基LED设备制造商；（3）各类新产品开发取得显著进展：应用于高端存储和逻辑器件的ALD氮化钛设备研发进程稳步推进，已进入实验室测试阶段。用于碳化硅功率器件外延生产设备样机即将进入客户端测试验证。开发以满足先进存储高深宽比结构填充需求，以及逻辑前端金属栅需求的ALD金属工艺方案。大马士革、极高深宽比刻蚀工艺即将进入市场，公司刻蚀设备市占率有望提升。在CCP赛道中DSCSD-RIE（适用于大马士革刻蚀）及UD-RIE（适用于存储市场中极高深宽比刻蚀）等新品即将进入市场。随着新品放量，在国内先进存储领域内，中微CCP市占率有望超85%；在国内先进逻辑器件内，中微CCP市占率有望超60%。在ICP赛道中PrimoTwin-Star（高输出低成本解决方案）在国内外多客户产线实现量产，并取得重复订单。Nanova系列产品在客户端完成验证应用数量持续增加，目前该系列产品在客户端安装腔体数达297台。在国内先进存储领域内，中微ICP市占率有望超65%，在国内先进逻辑器件内，中微ICP市占率有望超75%。国内成熟制程扩张叠加晶圆厂国产替代意愿加强，助力公司业绩更上层楼。根据SEMI数据，中国大陆晶圆厂建厂速度全球第一，预计至2024年底，将建立31座大型晶圆厂，且全部为成熟制程。随着美国对光刻机等设备出台禁令，晶圆厂采用国产设备意愿加强，加速半导体设备国产替代进程，为公司发展提供历史机遇。根据SEMI数据，2022年国内晶圆厂半导体设备国产化率为35%，同比增长14pcts。三维立体战略，确保公司高速稳定健康安全发展。以刻蚀机设备、薄膜与检测为主心骨，扩展泛半导体关键设备领域应用，利用公司核心竞争力寻找其他新兴领域机会。通过三维立体战略，避免单一产品市场浮动造成公司发展不稳定，确保公司高速稳定健康安全发展。 投资评级买入-A(首次)股价(2023-04-04)165.80元交易数据总市值（百万元）102,173.33流通市值（百万元）102,173.33总股本（百万股）616.24流通股本（百万股）616.2412个月价格区间161.01/81.48一年股价表现 资料来源：聚源 升幅%1M3M12M相对收益39.7762.6545.51绝对收益39.1168.0541.47 分析师孙远峰 SAC执业证书编号：S0910522120001sunyuanfeng@huajinsc.cn 分析师王海维 SAC执业证书编号：S0910523020005wanghaiwei@huajinsc.cn 相关报告 投资建议：我们公司预测2023年至2025年营业收入分别为61.72/80.07/99.03亿元，增速分别为30.2%/29.7%/23.7%；归母净利润分别为14.35/18.15/21.73亿元，增速分别为22.7%/26.5%/19.7%；对应PE分别71.2/56.3/47.0。考虑到中微公司在国内刻蚀设备领域龙头地位及其四大产品性能与性价比等方面进入全球三强，首次覆盖，给予买入-A建议。 风险提示：晶圆厂扩建进程不及预期；海外拓客进展不及预期；产品研发不及预期。 财务数据与估值会计年度 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 营业收入(百万元) 3,108 4,740 6,172 8,007 9,903 YoY(%) 36.7 52.5 30.2 29.7 23.7 净利润(百万元) 1,011 1,170 1,435 1,815 2,173 YoY(%) 105.5 15.7 22.7 26.5 19.7 毛利率(%) 43.4 45.7 45.9 46.2 46.4 EPS(摊薄/元) 1.64 1.90 2.33 2.95 3.53 ROE(%) 7.3 7.5 8.5 9.7 10.4 P/E(倍) 101.0 87.3 71.2 56.3 47.0 P/B(倍) 7.3 6.6 6.0 5.5 4.9 净利率(%) 32.5 24.7 23.2 22.7 21.9 数据来源：聚源、华金证券研究所 财务报表预测和估值数据汇总 资产负债表(百万元)利润表(百万元) 会计年度2021A2022A2023E2024E2025E会计年度2021A2022A2023E2024E2025E 流动资产 13731 14655 16199 18748 20660 营业收入 3108 4740 6172 8007 9903 现金 8659 7326 9273 8985 11277 营业成本 1761 2572 3338 4307 5312 应收票据及应收账款 605 713 1078 1212 1634 营业税金及附加 19 15 17 26 38 预付账款 21 35 33 57 53 营业费用 296 409 527 678 831 存货 1762 3402 2784 5407 4608 管理费用 203 236 297 380 462 其他流动资产 2684 3180 3031 3087 3089 研发费用 398 605 830 1086 1285 非流动资产 3002 5380 5610 6418 7037 财务费用 -71 -151 -99 -77 -48 长期投资 555 979 1295 1644 1984 资产减值损失 1 -26 -61 -45 -51 固定资产 218 336 619 880 1104 公允价值变动收益 294 63 156 192 176 无形资产 825 909 1036 1152 1260 投资净收益 143 74 61 76 89 其他非流动资产 1404 3155 2659 2742 2689 营业利润 1133 1263 1539 1956 2362 资产总计 16733 20035 21809 25166 27696 营业外收入 0 0 0 0 0 流动负债 2571 3919 4363 5995 6449 营业外支出 1 5 2 2 2 短期借款 0 0 0 0 0 利润总额 1133 1259 1537 1954 2359 应付票据及应付账款 735 960 1238 1599 1899 所得税 122 91 103 140 188 其他流动负债 1837 2959 3126 4396 4549 税后利润 1011 1168 1434 1814 2172 非流动负债 222 633 561 461 370 少数股东损益 -0 -2 -1 -1 -1 长期借款 0 500 398 308 213 归属母公司净利润 1011 1170 1435 1815 2173 其他非流动负债 222 133 163 153 156 EBITDA 969 1201 1384 1807 2219 负债合计 2793 4552 4925 6456 6818 少数股东权益 0 -1 -2 -3 -4 主要财务比率 股本 616 616 616 616 616 会计年度2021A2022A2023E2024E2025E 资本公积 12288 12647 12647 12647 12647 成长能力 留存收益 1048 2218 3652 5467 7639 营业收入(%) 36.7 52.5 30.2 29.7 23.7 归属母公司股东权益 13940 15484 16887 18713 20882 营业利润(%) 120.1 11.4 21.9 27.1 20.7 负债和股东权益 16733 20035 21809 25166 27696 归属于母公司净利润(%) 105.5 15.7 22.7 26.5 19.7 获利能力 现金流量表(百万元) 毛利率(%) 43.4 45.7 45.9 46.2 46.4 会计年度2021A2022A2023E2024E2025E 净利率(%) 32.5 24.7 23.2 22.7 21.9 经营活动现金流 1016 618 1838 420 2835 ROE(%) 7.3 7.5 8.5 9.7 10.4 净利润 1011 1168 1434 1814 2172 ROIC(%) 5.6 6.2 7.0 8.2 8.9 折旧摊销 96 129 80 115 155 偿债能力 财务费用 -71 -151 -99 -77 -48 资产负债率(%) 16.7 22.7 22.6 25.7 24.6 投资损失 -143 -74 -61 -76 -89 流动比率 5.3 3.7 3.7 3.1 3.2 营运资金变动 155 -604 618 -1161 816 速动比率 4.6 2.8 3.0 2.2 2.5 其他经营现金流 -32 150 -134 -195 -171 营运能力 投资活动现金流 -6230 -2887 29 -699 -497 总资产周转率 0.3 0.3 0.3 0.3 0.4 筹资活动现金流 8286 482 80 -9 -46 应收账款周转率 6.3 7.2 6.9 7.0 7.0 应付账款周转率 3.0 3.0 3.0 3.0 3.0 每股指标（元） 估值比率 每股收益(最新摊薄) 1.64 1.90 2.33 2.95 3.53 P/E 101.0 87.3 71.2 56.3 47.0 每股经营现金流(最新摊薄) 1.65 1.00 2.98 0.68 4.60 P/B 7.3 6.6 6.0 5.5 4.9 每股净资产(最新摊薄) 22.62 25.13 27.45 30.40 33.93 EV/EBITDA 93.9 77.0 65.5 50.2 39.8 资料来源：聚源、华金证券研究所 公司评级体系 收益评级： 买入—未来6个月的投资收益率领先沪深300指数15%以上；增持—未来6个月的投资收益率领先沪深300指数5%至15%； 中性—未来6个月的投资收益率与沪深300指数的变动幅度相差-5%至5%；减持—未来6个月的投资收益率落后沪深300指数5%至15%； 卖出—未来6个月的投资收益率落后沪深300指数15%以上；风险评级： A—正常风险，未来6个月投资收益率的波动小于等于沪深300指数波动； B—较高风险，未来6个月投资收益率的波动大于沪深300指数波动； 分析师声明 孙远峰、王海维声明，本人具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格，勤勉尽责、诚实守信。本人对本报告的内容和观点负责，保证信息来源合法合规、研究方法专业审慎、研究观点独立公正、分析结论具有合理依据，特此声明。