微导纳米：立足ALD技术，光伏半导体并行发展【长江机械

微导纳米：立足ALD技术，光伏半导体并行发展【长江机械-赵智勇团队】微导纳米立足于ALD技术，产业化进展迅速。 在半导体领域，微导纳米在28nm逻辑芯片的高k栅介质层HfO2工艺已实现产业化应用，在存储芯片、第三代化合物半导体和半导体量子器件领域公司设备正积极推进产业化验证。 在光伏领域，公司已开发出多款真空设备，包括ALD、PECVD、PEALD+PECVD二合一设备、扩散炉等，以真空设备为主，并提供配套产品及服务。 ALD设备成长空间广阔，微导纳米是国产替代先行者。 ALD技术可实现复杂形貌上的原子层级别精度薄膜沉积，尤其在28nm以下先进制程的FinFET制造工艺中，ALD技术用量及重要性快速提升，在薄膜沉积设备中，ALD设备占比呈提升趋势。 当前半导体领域ALD设备国产化率几乎为零，目前国产设备在ALD领域多为验证性订单，或刚取得量产验证通过。美国限制政策下，本土半导体设备厂商设备验证进度有望加快，国产ALD设备成长空间广阔。 公司技术优势突出，核心团队经验丰富，且公司重视基础研发与行业应用的紧密结合。 目前在半导体ALD设备领域，公司产品总体性能和关键性能参数已达到国际同类设备水平，有望率先受益。光伏电池片新技术扩产加速，积极拓宽光伏产品。 光伏电池片供需优化+大尺寸化，盈利提升。 在电池盈利改善、组件盈利有望底部反转，且2022年TOPCon电池的效率与成本优势开始显现的背景下，各大厂商对于技术路线选择问题的担忧有所降低，积极加快电池与组件产能布局。 微导纳米的ALD设备继续保持市占率领先，且积极拓展PECVD、扩散炉等其他真空设备，成为光伏薄膜沉积市场的主要供应商之一。公司在手订单充足且主要为毛利率较高的ALD设备订单，随着订单的交付验收，盈利能力有望回升。 此外，公司募投项目聚焦原子层沉积设备的扩产与产业化应用，有望进一步拓宽ALD设备的应用领域，为公司营收业绩带来增长。我们预计公司2022-2024年归母净利润分别为0.58、1.62、3.06亿元，首次覆盖，给予“买入”评级。