半导体设备零部件国内龙头，受益国产替代加速

核心观点 半导体设备零部件国内龙头，受益国产替代加速 国内半导体设备零部件领军者，业绩快速提升。公司是全球为数不多的能够为7纳米工艺制程半导体设备批量提供精密零部件的厂商，也是国内少有的能够提供满足国际主流客户标准的精密零部件产品供应商。2018-2021年公司业绩快速提升，主营业务收入从2.18亿元增至8.29亿元，年均复合增速56%；2019-2021年主营业务毛利从0.40亿元增至2.57亿元，年均复合增速高达153%。 半导体设备零部件行业空间广阔，国产替代加速推进。设备零部件作为半导体上游产业链的一环，是整个产业的重要基础和支撑。从需求端来看：一方面，随着国内 晶圆厂持续扩产，半导体零部件替换需求增长；另一方面，国内半导体设备厂商受益国产替代业务规模加速增长，零部件需求快速提升，同时零部件国产化率比例持续提升，国产设备厂对于国产零部件需求有望迎来快速增长。根据我们的测算，2021年中国大陆晶圆厂零部件替换需求与国内设备厂商零部件增量需求合计规模可达146亿美元。同时部分国内零部件厂商已打入海外供应链体系，2021年全球半导 体设备零部件增量需求空间为461亿美金。从供给端来看：半导体设备零部件行业 由美欧日企业主导，整体格局较为分散。国内零部件市场以外资控股公司为主，国产化率较低，且国内厂商在高端领域与海外企业差距明显。近年来，富创精密、江丰电子、万业企业等国内厂商通过自行研发和并购的方式持续发力关键工艺零部件、真空半导体核心零部件、硅零部件等领域，国产替代有望加速。 公司积极开拓国内外市场，研发扩产夯实领先地位。公司已进入客户A、东京电子、ASMI等海外半导体设备龙头的供应链体系，同时已为北方华创、中微公司等众多主流国产半导体设备厂商提供产品。公司在手订单充沛，产能利用率已至高位，为缓解产能紧张，公司规划发展沈阳新厂、南通、北京和专用领域零部件产能建设四大项目，达产后可贡献年收入42.5亿元。放眼未来，公司将持续扩大7纳米工艺制程的半导体设备精密零部件的品类，提升工艺水平和产品性能；同时，加快研制应用于5纳米及更先进工艺制程的半导体设备精密零部件。随着产能扩张和产品研发持续推进，公司的销售规模和市场认可度有望进一步提升。 盈利预测与投资建议 我们预测公司22-24年每股收益分别为0.96、1.62、2.42元，由于零部件国产替代空间广，我们采用DCF估值法，对应目标价143.35元，首次覆盖给予买入评级。 风险提示 对第一大客户依赖度高；国际贸易摩擦加剧；市场竞争加剧；研发或新产品发展不及预期；假设条件变化影响测算结果；估值相关风险；产能建设及释放不及预期。 公司研究|首次报告富创精密688409.SH 买入（首次） 股价（2023年01月06日）106.6元目标价格143.35元 行业电子 52周最高价/最低价154.47/99元总股本/流通A股（万股）20,905/4,452A股市值（百万元）22,285国家/地区中国 报告发布日期2023年01月08日 1周1月3月12月 绝对表现-1.4-21.61 相对表现-4.22-21.93 沪深3002.820.324.63-17.38 蒯剑021-63325888*8514 kuaijian@orientsec.com.cn 执业证书编号：S0860514050005香港证监会牌照：BPT856 李庭旭litingxu@orientsec.com.cn 执业证书编号：S0860522090002 韩潇锐hanxiaorui@orientsec.com.cn杨宇轩yangyuxuan@orientsec.com.cn张释文zhangshiwen@orientsec.com.cn薛宏伟xuehongwei@orientsec.com.cn 公司主要财务信息 2020A2021A2022E2023E2024E 营业收入(百万元)4818431,4322,1833,111 同比增长(%)89.9%75.2%69.9%52.4%42.6% 营业利润(百万元)108136239390581 同比增长(%)417.4%25.5%75.5%63.6%48.8% 归属母公司净利润(百万元)94126200339505 同比增长(%)380.4%35.3%58.2%69.5%48.9% 每股收益（元）0.450.610.961.622.42 毛利率(%)31.6%32.0%32.7%32.8%33.2% 净利率(%)19.4%15.0%14.0%15.5%16.2% 净资产收益率(%)14.0%12.9%7.0%7.0%9.6% 市盈率 238.3 176.2 111.4 65.7 44.1 市净率 24.3 21.3 4.8 4.5 4.1 资料来源：公司数据.东方证券研究所预测.每股收益使用最新股本全面摊薄计算. 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。 目录 1国内半导体设备精密零部件领军企业5 1.1深耕精密零部件，四大产品线齐头并进5 1.2研发实力雄厚，坐拥多项核心技术7 1.3客户资源优质，与龙头设备商长期稳定合作9 1.4业绩高速增长，盈利未来可期11 2设备零部件市场空间广阔，国内厂商大有可为13 2.1需求端：国内晶圆厂扩产叠加国产半导体设备渗透率提升，国产零部件需求旺盛13 2.2供给端：美欧日企业占据主导，国内厂商快速崛起18 3富创精密快速崛起，领衔设备零部件国产化21 3.1打造国内领头羊，逐步实现零部件国产替代21 3.2积极募投扩产，研发能力加速释放24 盈利预测与投资建议26 盈利预测26 投资建议27 风险提示28 图表目录 图1：公司发展历史沿革5 图2：公司产品应用5 图3：公司代表性产品6 图4：公司产量情况（单位：万件）7 图5：公司核心技术情况7 图6：公司核心技术人员8 图7：公司研发费用情况9 图8：公司客户供应链体系10 图9：2021年公司向前五大客户销售情况10 图10：2019-2021年公司大客户集中度10 图11：公司主营业务收入及增速11 图12：公司主营业务毛利及毛利率11 图13：公司分产品主营业务营收构成11 图14：公司分地区主营业务营收构成11 图15：公司分产品毛利率12 图16：公司期间费用率12 图17：刻蚀机零部件示意图13 图18：光刻机系统拆分示意图13 图19：2020年中国晶圆厂商采购的8-12寸晶圆设备零部件产品结构14 图20：国内晶圆制造产能占比有望提升14 图21：中国大陆12英寸晶圆产能有望快速提升14 图22：中国大陆晶圆厂零部件替换空间测算15 图23：全球半导体设备市场规模及增速15 图24：中国大陆半导体设备销售额及增速15 图25：中国大陆半导体设备全球占比不断提升16 图26：2021年全球各地区半导体设备销售额占比16 图27：全球主要设备厂商毛利率16 图28：国内主要设备厂商直接材料成本占比16 图29：全球半导体设备市场格局及国产化率（下图市场规模为全球口径）17 图30：国产半导体设备零部件需求有望快速提升17 图31：2020年全球前十大半导体零部件供应商18 图32：国内主要半导体零部件厂商对比18 图33：2021年国内主要厂商半导体零部件营收及毛利率19 图34：8-12寸晶圆设备部分零部件国产化率及供应商（2021Q1）20 图35：半导体零部件国产化进程20 图36：公司产品细分市场竞争格局21 图37：2021年公司主要产品下游市场细分规模22 图38：公司主要涉足产品在全球市场占有率22 图39：2021年公司前五大客户销售情况22 图40：富创在国内主要客户端产品份额仍有提升空间23 图41：公司重大科研项目23 图42：公司在研项目情况（截至2021年12月31日）24 图43：工艺及结构零部件产品产能及利用率25 图44：气体管路产品产能及利用率25 图45：募投项目情况25 图46：公司建设项目规划总览26 图47：估值假设主要参数27 图48：估值敏感性分析28 图1：公司发展历史沿革 1国内半导体设备精密零部件领军企业 1.1深耕精密零部件，四大产品线齐头并进 公司深耕半导体设备零部件领域十余载，引领国产化进程。公司创立于2008年，以精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接技术为核心，产品销往国内外多家半导体设备领域龙头企业。2011年公司成为国际半导体设备龙头客户A的合格供应商，此后逐步进入拓荆科技、北方华创、中微公司等国内半导体设备龙头的供应链体系。目前，公司是全球为数不多的能够为7纳米工艺制程半导体设备批量提供精密零部件的厂商，也是国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业以及国内少有的能够提供满足国际主流客户标准的精密零部件产品供应商。 数据来源：富创精密招股说明书，东方证券研究所 公司产品可应用于刻蚀机等半导体核心设备。公司主要产品覆盖集成电路制造中刻蚀、薄膜沉积、光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节。公司产品技术领先，具备高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压性能优异，部分已应用于7纳米制程的半导体设备。除半导体设备外，公司产品也应用于制造显示面板、光伏产品等泛半导体设备其他领域。 图2：公司产品应用 工艺流程 应用设备 设备图例 对应富创精密产品 最高制程水平 高温扩散 立式扩散炉 工艺零部件（腔体）、结构零部件（基板等多种产品） 7纳米 光刻及涂胶显影 光刻机、涂胶显影设备 结构零部件（基板、冷却板等多种产品） 96纳米（光刻机）/28纳米（涂胶显影设备） 刻蚀 硅刻蚀设备、介质刻蚀设备、金属刻蚀设备 工艺零部件（腔体、内衬、匀气盘）、结构零部件（流量计底座、铰链底座、盖板、基座等多种产品）、模组产品（腔体模组、刻蚀阀体模组和气柜模组）、气体管路 7纳米 离子注入 大束流、中束流和高能离子注入设备 工艺零部件（腔体）、模组产品（离子注入机模组、气柜模组）、气体管路 28纳米 薄膜沉积 PVD、CVD、ALD 工艺零部件（腔体、匀气盘）、结构零部件（流量计底座、铰链底座、支架等多种产品）、模组产品（腔体模组、气柜模组）、气体管路 7纳米 化学机械抛光 CMP 结构零部件（托盘轴、铸钢平台、定子冷却套等多种产品） 14纳米 数据来源：富创精密招股说明书，东方证券研究所 图3：公司代表性产品 产品种类丰富，四大产品线共同推进。公司产品分为工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类。产品特点为多品种、小批量、定制化。公司年均向客户交付首件种类超过3000种， 首件实现量产种类超过2000种，已形成达到全球半导体设备龙头企业标准的多种制造工艺和产能，并同时具备百级和千级洁净间和半导体级别的洁净检测能力。 数据来源：富创精密招股说明书，东方证券研究所 四大产品线增长势能强劲，结构零部件产量比重最大，气体管路增速亮眼。工艺零部件方面，产量从2019年0.7万件增至2021年1.9万件，年复合增长率为65%；结构零部件方面，产量占 总产量比重最大，持续稳步增长，2021年产量增至50.1万件。模组产品方面，2019年、2020年、2021年产量分别为3085件、3483件、6093件，两年实现翻倍增长。气体管路方面，产量从2019年0.7万件增至2021年11.4万件，年复合增长率为304%。 图4：公司产量情况（单位：万件） 工艺零部件结构零部件模组产品气体管路 70 60 50 40 30 20 10 0 2019 2020 2021 数据来源：富创精密招股说明书，东方证券研究所 1.2研发实力雄厚，坐拥多项核心技术 核心技术全部自研，充分应用于工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四类产品。公司半导体设备精密零部件产品生产过程涵盖精密机械制造、工程材料、表面处理科学、电化学等多个领域和学科，