半年报点评：扣非业绩大增，刻蚀龙头内生外延打造旗舰平台

中微公司发布2022年中报。公司上半年实现营收19.72亿元，yoy+47.3%。归母净利润4.68亿元，yoy+17.9%，扣非归母净利润4.41亿元，yoy+615.3%。上半年综合毛利率45.4%，同比+3.0%，净利率23.7%，同比-5.9%。2022H1非经常性损益同比减少3.1亿元，其中主要是政府补助同比减少2.0亿元，股权投资产生的公允价值变动收益同比减少1.8亿元。 刻蚀业务高速增长，MOCVD今年潜力巨大。2022H1刻蚀设备收入12.99亿元，yoy+51.5%，毛利率达到46.05%，其中CCP刻蚀设备8.86亿元，yoy+14.0%，ICP刻蚀设备4.13亿元，yoy+414.1%。mini LED终端市场新品迭出，渗透率快速增长，行业投资火热。上半年MOCVD设备收入2.41亿元，yoy+9.9%，毛利率达到35.4%，同比提升4.7%，UniMax订到超过180腔，今年MOCVD业务有望实现高增长。 ICP放量增长强劲，产品更新迭代，多领域布局。2021年公司付运298腔CCP、134腔ICP。2022年初至今交付292个反应台，截至2022年6月底，公司设备累计付运台数达2654个反应台。此外公司不断进行产品迭代并开发新品： 【刻蚀】新品开发进展良好，将陆续进入市场。1）逻辑：新一代刻蚀设备、大马士革等刻蚀工艺；2）3D NAND：200层以上极高深宽比的关键刻蚀应用；3）截止2022年6月底，Primo Nanova顺利交付超过220台反应腔，正在开发ICP下一代新品。 【MOCVD】：1）硅基氮化镓功率器件用MOCVD已在客户产线上验证；2）Micro LED用MOCVD以及用于SiC功率器件的外延设备等正在开发中。【CVD】：1）LPCVD已通过关键客户工艺验证，积极推进量产验证；2）ALD研发中，可满足先进存储和逻辑器件金属阻挡层，以及先进逻辑器件中金属栅极的应用。【EPI】：用于 28nm 及以下的逻辑、存储和功率器件锗硅外延生长工艺，已进入样机制造和调试阶段。 大力研发，人均创收达到国际先进水平。公司上半年研发投入3.5亿元，同比增长20.9%，占营收比重17.6%。截至6月底研发人员数量496人，占员工总数41.4%，上半年人均年化营收已达到350万元。公司2022H1新签订单金额同比增长61.8%达30.6亿元，6月底公司合同负债15.9亿元，公司在手订单饱满，南昌、临港等产业化及研发基地今明年陆续投产后，新增产能及研发空间将有力支撑长期增长。 半导体刻蚀设备龙头，内生外延打造旗舰平台型企业。公司成功打造一支具有创造力和核心竞争力的技术团队。MOCVD持续升级迎来Mini LED拐点，CCP产品涵盖国内外一线客户，ICP产品快速迭代并放量，并布局沉积等新产品线，打造半导体设备旗舰企业，通过外延投资拓荆科技、睿励仪器、天岳先进等推进平台型建设。我们预计公司2022~2024年归母净利润10.4/14.0/17.2亿元，维持“买入”评级。 风险提示：下游需求不及预期，新产品开发进展不及预期 财务指标 财务报表和主要财务比率 资产负债表（百万元） 现金流量表（百万元）