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中微公司:刻蚀量价双升带动22年业绩高增,内升+外延打造高端装备龙头

2023-03-31王芳、杨旭、游凡中泰证券李***
中微公司:刻蚀量价双升带动22年业绩高增,内升+外延打造高端装备龙头

事件概述: 公司发布2022年报:实现收入47.40亿元,同比+52.50%,归母净利润11.70亿元,同比+15.66%,扣非后归母净利润9.19亿元,同比+183.44%;2022年非经损益:较21年减少4. 37亿元,其中政府补助减少1.65亿元,投资收益减少3.42亿元;2022年新签订单金额达63.2亿元,YoY+53.0%;2022年毛利率为45.74%,同比增加2.38pcts,主要系刻蚀和MOC VD毛利率双升。22Q4实现收入16.97亿元,同比+63.88%,归母净利润3.77亿元,同比-1 9.75%,扣非后归母净利润2.76亿元,同比+72.79%。 刻蚀量价齐升带动22年业绩高增 2022年刻蚀设备收入为31.47亿元,YoY+57.07%,毛利率达47.00%,YoY+2.68pcts。量价拆分来看,全年刻蚀设备共销售441腔(付运475腔,YoY+59.40%),YoY+51.03%,可测算单价713.6万元/腔,YoY+4.00%,公司刻蚀设备产品升级带来ASP提升。公司针对先进制程的双机台刻蚀机性能不断完善,在国际 5nm 及以下产线实现多次批量销售。鉴于刻蚀设备营收占比高达66.4%,且其毛利率为47.00%,高于公司综合毛利率45.74%,刻蚀设备量价齐升带动公司业绩高增。 CCP和ICP工艺齐升级,先进逻辑&3D NAND空间进一步打开 1)CCP:截至2022年末,CCP累计装机2320腔, 5nm 及以下设备实现多次批量销售,累计装机超200腔。已经入2D和3D存储产线。大马士革( 28nm 及以下逻辑)和高深宽比(存储)工艺攻关,取得良好进展。中微2021年进行60:1高深比设备研发,有望在未来长存扩产中发挥至关重要作用。2)ICP:截至2022年末,ICP客户超20家(含逻辑、DRAM、3 D NAND),累计装机460腔,工艺覆盖超100个,在先进封装、2.5D封装和MCU领域获得批量重复订单。Nanova单台机年增超100%,市占率迅速扩大,双台机亦进入产线,200+机台在产线生产。同时,公司通过研发晶圆边缘保护功能和低频偏压系统,推出了Twin-StarS E产品,拓展了公司双台机ICP刻蚀设备在功率器件、Micro-LED、Meta Lens等特色器件的刻蚀市场。 内升+外延打造高端装备平台企业 1)内升:公司开发的钨CVD具备优秀的阶梯覆盖率和填充能力,能够满足先进逻辑器件、64/128层3D NAND中多个关键应用,正在开发的ALD钨设备,已和关键客户开始对接验证,用于高端存储和逻辑器件的ALD氮化钛设备也在稳步推进,进入实验室测试阶段。此外,公司正筹划更先进制程的薄膜设备。2)外延:2022年公司对睿励增资1.08亿元,并0.43亿元受让睿励老股东股权,至2022年末累计投资睿励2.51亿元,持有34.75%的股份。此举加大了公司在集成电路工艺检测领域的布局,睿励是国内少数进入国际领先12寸产线的量测企业,是国内唯一进入三星产线的设备企业,睿励12寸量测已进入至 28nm 及以上制程产线, 14nm 验证中,并支持64层3DNAND生产、96层“工艺”验证中。 投资建议 公司在刻蚀领域的驱动力主要来自产品升级和在国产二线Fab的较快放量,基于公司22年业绩,我们调整公司2023/24/25年预测归母净利为14/18/22亿元(23/24年原预测为15/19亿元),对应PE为63/50/41倍,考虑到公司作为国内刻蚀、MOCVD设备领军企业之一,技术实力国内领先,维持“买入”评级。 风险提示 行业景气不及预期,研发进展不及预期,客户处产品验证不及预期。 盈利预测表