刻蚀+MOCVD龙头，内生外延协同打造设备平台

中微公司是一家刻蚀+MOCVD龙头，其产品线包括刻蚀设备和MOCVD设备。刻蚀设备已批量应用于国内外一线客户，ICP刻蚀设备逐步成熟，MOCVD设备持续在行业领先客户生产线上大规模投入量产。中微的刻蚀设备种类较为丰富，且有望看到公司按技术路径推出下一代用于更先进制程关键步骤的ICP及CCP刻蚀设备，刻蚀设备产品线不断完善，盈利水平及核心竞争力进一步提升。此外，中微的MOCVD设备需求回暖，积极拓展Mini LED、功率器件等领域应用。公司拟定增不超过100亿元，用于扩充公司现有设备产能，与主流半导体设备厂商合作，开发新产品线。我们预计公司将在2021年至2023年实现收入32.45/45.33/59.88亿元，归母净利润5.14/6.90/9.31亿元，对应当前估值165.4/123.3/91.3x，首次覆盖，予以“买入”评级。