至纯科技(603690)发布2021年年报及2022年一季报,半导体湿法设备快速放量,收入端实现高速增长。2021年公司实现营收20.84亿元,同比增长49.18%,主要系半导体行业景气度较高,公司半导体板块业务尤其清洗设备订单充足,出货量大幅提升。2022Q1公司实现营业收入5.48亿元,同比增长136.98%,在上海疫情不利影响下,仍高速增长。