国内薄膜沉积设备龙头，营收持续高速成长

专注薄膜沉积设备，技术实力出众：公司为国内薄膜沉积设备龙头，产品包括PECVD、SACVD和ALD设备等，2021年收入分别为6.75亿元、0.41亿元、0.29亿元，其中PECVD占收入比例89%。 根据公司招股书，公司是国内唯一一家产业化应用的集成电路 PECVD、SACVD设备厂商，下游客户涵盖中芯国际、华虹集团、长江存储、厦门联芯、燕东微电子等行业领先晶圆厂，并已适配国内最先进的 28/14nm 逻辑芯片、19/17nm DRAM芯片和64/128层3D NAND FLASH晶圆制造产线，产品技术参数达到国际同类设备水平。根据公开招标信息披露，2019-2020年公司PECVD设备中标机台数量占长江存储、上海华力、无锡华虹和上海积塔四家招标总量的16.65%。 营收高速成长，盈利能力持续提高：公司营收从2018年的0.71亿元成长到2021年的7.58亿元，3年内增幅接近10倍。从盈利能力来看，公司毛利率以及净利率连续多年呈现持续提高趋势，从2018年的 31.67%提高至2021年的44.01%，净利率从2018年的-146.12%提高至2021年8.83%。2022Q1，公司实现营收1.08亿元，同比+86.21%，毛利率进一步提高至47.44%。 薄膜沉积设备为晶圆制造核心设备，持续受益资本开支上行：薄膜沉积设备是晶圆制造的三大主设备之一，根据SEMI数据，2020年其投资规模占晶圆制造设备总投资的25%，市场需求与晶圆厂资本开支密切相关。在全球半导体资本开支持续高增长的带动下，薄膜沉积设备市场规模有望持续扩大，根据Maximize Market Research数据统计，全球半导体薄膜沉积市场2017年市场空间约为125亿美元，预计到2025年将达到340亿美元，期间以年复合13.3%的速度增长。从薄膜沉积设备市场结构来看，根据公司招股书数据，2019年CVD设备占据着77%的薄膜沉积设备市场，其中PECVD占整体市场的33%，领先于其他类型设备，ALD设备占比为11%。另外，PVD设备在薄膜沉积设备中占比为25%。 半导体设备国产率提升空间大，国内企业有望持续受益：从国内市场来看，根据SEMI数据，2020年薄膜沉积设备全球市场规模172亿美元，国内半导体设备市场占全球市场比例为26.29%，如果这个比例测算，2020年国内薄膜沉积设备市场规模约为45.22亿美元。总体来看，国内大陆半导体设备国产化率处于较低阶段，根据中国电子专用设备工业协会数据统计，2020年国产半导体设备销售额约为213亿元，自给率约为17.5%。随着中国大陆晶圆厂资本开支持续高速成长，叠加国产化率提高，有望带动国内半导体设备企业快速成长。 海外巨头垄断薄膜沉积设备，国内企业快速追赶：从竞争格局来看，薄膜沉积设备行业基本被海外厂商如应用材料（AMAT）、ASMI、泛林半导体（Lam）、东京电子（TEL）、ASMI等国际巨头垄断。据Gartner统计，2019年，应用材料占了全球PVD市场的85%的份额，处于绝对龙头地位；在CVD市场中，应用材料、泛林半导体、TEL在全球市场中占比分别为30%，21%、19%，三大厂商占据了全球70%的市场份额。在ALD设备上，TEL和ASMI分别占据了31%和29%的市场份额，剩下40%的份额由其他厂商占据。目前国内从事薄膜沉积设备的公司主要包括北方华创、拓荆科技、中微公司、盛美上海等，其中北方华创已经布局LPCVD、ALD、PECVD，PVD设备领域实力突出，拓荆科技布局PECVD、ALD以及SACVD，实力国内领先。与海外龙头相比，国内企业份额较小，目前处于快速追赶状态，在国内晶圆厂的份额快速提高，未来有望持续受益半导体设备国产化趋势。 投资建议：我们预计公司2022年~2024年收入分别为11.46亿元、15.68亿元、19.20亿元，归母净利润分别为1.04亿元、1.97亿元、2.68亿元，给予“买入-A”投资评级。 风险提示：下游需求衰减风险，市场竞争加剧风险，国产替代不及预期。 财务报表预测和估值数据汇总 利润表 资产负债表 现金流量表