刻蚀设备营收和订单高增长，薄膜沉积设备开始贡献

买入（维持） 股价（2024年09月12日）130.02元 刻蚀设备营收和订单高增长，薄膜沉积设备开始贡献 公司研究|中报点评中微公司688012.SH 目标价格175.25元 52周最高价/最低价175.6/104.68元 总股本/流通A股（万股）62,131/62,131 A股市值（百万元）80,782 营收和订单快速增长：24H1营收同增36%至34.5亿元，归母净利润同减48%至 5.17亿元，主要因为23H1投资收益税后净收益约4.06亿元及24H1研发费用同增 2.76亿元。24H1毛利率下滑至41.3%，因公司根据会计准则变化，将预计产品质量保证损失9,478万元计入营业成本。24H1公司新增订单同增40%至47.0亿元，预计前三季超75亿元，同增超50%；全年将达110-130亿元，全年付运台数将增长超200%。公司生产专用设备833腔，同增约420%，对应产值同增约402%至 68.7亿元，为全年出货及确认收入打下基础。发出商品余额6月末约27.7亿元，较期初增长19.0亿元；合同负债余额约25.4亿元，较期初增长约17.6亿元。 刻蚀设备持续高增长：营收同增57%至27亿元，新增订单同增51%至39.4亿元。针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升， CCP和ICP刻蚀设备在国内主要客户芯片生产线上市占率大幅提升。公司大力投入先进芯片制造中关键刻蚀设备研发和验证，针对最关键刻蚀工艺的多款设备已在客户产线验证。公司自主开发的PrimoUD-RIE已在生产线验证出具有刻蚀≥60:1深宽比结构的量产能力，公司积极布局超低温刻蚀技术，积极储备更高深宽比结构（≥90:1）刻蚀的前卫技术。多款ICP设备在先进逻辑芯片、先进DRAM和3DNAND产线验证推进顺利并陆续取得批量订单。晶圆边缘Bevel刻蚀设备完成开发，将进入客户验证，TSV硅通孔刻蚀设备更多应用在先进封装和MEMS器件生产。 薄膜沉积设备开始贡献：公司新产品LPCVD设备实现首台销售，上半年收入0.28 亿元，新增订单1.68亿元；已有多款新型薄膜沉积设备产品进入市场，其中部分设备已获重复性订单，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正顺利推进。公司钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储器件所有钨应用，并已完成多家逻辑和存储客户验证，取得了客户订单。公司近期已规划多款CVD和ALD设备，增加薄膜设备的覆盖率。公司已形成EPI设备自主知识产权及创新的预处理和外延反应腔的设计方案，EPI设备已顺利进入客户验证阶段，以满足先进制程中锗硅外延生长工艺的需求。 我们预测公司24-26年归母净利润分别为14.4、23.1、31.3亿元（原24-25年预测为21.1、26.5亿元，主要调整了毛利率和研发费用率），采用DCF估值法，给予 175.25元目标价，维持买入评级。 风险提示 研发费用增长影响盈利；晶圆厂扩产进度影响后续新增订单增长；业绩不及预期。 国家/地区中国 行业电子 核心观点 报告发布日期2024年09月13日 1周 1月 3月 12月 绝对表现% 1.12 -14.8 -10.41 -11.5 相对表现% 3.74 -10.19 0.08 4.14 沪深300% -2.62 -4.61 -10.49 -15.64 蒯剑021-63325888*8514 kuaijian@orientsec.com.cn 执业证书编号：S0860514050005香港证监会牌照：BPT856 韩潇锐hanxiaorui@orientsec.com.cn 执业证书编号：S0860523080004 薛宏伟xuehongwei@orientsec.com.cn 盈利预测与投资建议 朱茜zhuqian@orientsec.com.cn 23年业绩与新增订单超预期 2024-01-15 营收和毛利润高增长 2023-10-30 业绩高速增长，平台型布局不断完善 2023-05-03 公司主要财务信息 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 营业收入(百万元) 4,740 6,264 8,384 11,219 14,910 同比增长(%) 52% 32% 34% 34% 33% 营业利润(百万元) 1,263 1,980 1,577 2,538 3,460 同比增长(%) 11% 57% -20% 61% 36% 归属母公司净利润(百万元) 1,170 1,786 1,444 2,310 3,133 同比增长(%) 16% 53% -19% 60% 36% 每股收益（元） 1.88 2.87 2.32 3.72 5.04 毛利率(%) 45.7% 45.8% 41.5% 42.5% 43.4% 净利率(%) 24.7% 28.5% 17.2% 20.6% 21.0% 净资产收益率(%) 8.0% 10.7% 7.8% 11.4% 13.6% 市盈率 69 45 56 35 26 市净率 5.2 4.5 4.2 3.8 3.3 资料来源：公司数据.东方证券研究所预测.每股收益使用最新股本全面摊薄计算. 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。 盈利预测与投资建议 我们预测公司24-26年归母净利润分别为14.4、23.1、31.3亿元（原24-25年预测为21.1、26.5亿元），主要根据23年年报和24H1半年报，结合公司经营发展情况，下调了毛利率并上调了研发费用率等。采用DCF估值法，给予175.25元目标价，维持买入评级。 图1：绝对估值主要参数 估值假设主要参数所得税税率T 25.00% 永续增长率Gn(%) 3.00% 无风险利率Rf 2.15% 无杠杆影响的β系数 1.03 考虑杠杆因素的β系数 1.07 市场收益率Rm 9.18% 公司特有风险 0.00% 股权投资成本（Ke） 9.69% 债务比率D/(D+E) 5.00% 债务利率rd 3.85% WACC 9.35% 数据来源：wind、东方证券研究所 图2：敏感性分析 FCFF目标价敏感性分析 永续增长率Gn(%) 175.25 1.00% 2.00% 3.00% 4.00% 5.00% 7.35% 198.90 226.62 267.07 331.64 451.05 7.85% 182.19 204.86 236.86 285.47 368.14 8.35% 167.83 186.61 212.40 250.03 310.09 8.85% 155.38 171.10 192.20 221.98 267.22 WACC(%) 9.35% 144.48 157.78 175.25 199.26 234.29 9.85% 134.88 146.21 160.85 180.49 208.23 10.35% 126.36 136.09 148.47 164.75 187.11 10.85% 118.75 127.17 137.73 151.37 169.67 11.35% 111.92 119.25 128.32 139.86 155.03 数据来源：wind、东方证券研究所 风险提示 研发费用增长影响盈利；晶圆厂扩产进度影响后续新增订单增长；业绩不及预期。 附表：财务报表预测与比率分析 资产负债表利润表 单位:百万元 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 单位:百万元 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 货币资金 7,326 7,090 5,714 5,665 6,559 营业收入 4,740 6,264 8,384 11,219 14,910 应收票据、账款及款项融资 713 1,213 1,624 2,173 2,888 营业成本 2,572 3,393 4,903 6,453 8,446 预付账款 35 112 151 201 268 销售费用 409 492 467 540 718 存货 3,402 4,260 5,665 6,811 8,071 管理费用 236 344 433 528 687 其他 3,180 2,411 2,427 2,448 2,476 研发费用 605 817 1,143 1,451 1,891 流动资产合计 14,655 15,087 15,581 17,299 20,262 财务费用 (151) (87) (70) (33) (37) 长期股权投资 979 1,020 1,020 1,020 1,020 资产、信用减值损失 26 21 35 35 35 固定资产 336 1,988 2,736 3,718 4,783 公允价值变动收益 63 (203) (25) 150 150 在建工程 1,000 849 1,852 2,504 2,927 投资净收益 74 787 25 50 50 无形资产 590 687 589 491 393 其他 82 113 103 93 90 其他 2,474 1,895 1,842 1,840 1,839 营业利润 1,263 1,980 1,577 2,538 3,460 非流动资产合计 5,380 6,438 8,038 9,573 10,961 营业外收入 0 33 10 1 1 资产总计 20,035 21,526 23,619 26,872 31,223 营业外支出 5 3 2 2 2 短期借款 0 0 0 0 0 利润总额 1,259 2,010 1,585 2,536 3,458 应付票据及应付账款 960 1,305 1,886 2,482 3,249 所得税 91 226 143 228 329 其他 2,959 2,319 2,580 2,929 3,384 净利润 1,168 1,784 1,442 2,308 3,130 流动负债合计 3,919 3,624 4,465 5,411 6,632 少数股东损益 (2) (2) (2) (2) (3) 长期借款 500 0 0 0 0 归属于母公司净利润 1,170 1,786 1,444 2,310 3,133 应付债券 0 0 0 0 0 每股收益（元） 1.88 2.87 2.32 3.72 5.04 其他 133 79 79 79 79 非流动负债合计 633 79 79 79 79 主要财务比率 负债合计 4,552 3,702 4,544 5,490 6,711 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 少数股东权益 (1) (3) (5) (7) (10) 成长能力 实收资本（或股本） 616 619 621 621 621 营业收入 52% 32% 34% 34% 33% 资本公积 12,647 13,317 13,319 13,319 13,319 营业利润 11% 57% -20% 61% 36% 留存收益 2,218 3,880 5,138 7,449 10,582 归属于母公司净利润 16% 53% -19% 60% 36% 其他 3 9 0 0 0 获利能力 股东权益合计 15,483 17,823 19,074 21,382 24,512 毛利率 45.7% 45.8% 41.5% 42.5% 43.4% 负债和股东权益总计 20,035 21,526 23,619 26,872 31,223 净利率 24.7% 28.5% 17.2% 20.6% 21.0% ROE 8.0% 10.7% 7.8% 11.4% 13.6% 现金流量表 ROIC 6.9% 9.8% 7.2% 11.0% 13.2% 单位:百万元 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 偿债能力 净利润 1,168 1,784 1,442 2,308