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芯源微(688037.SH)是涂胶显影设备的国产替代龙头厂商,受益于半导体设备国产替代需求加速,增长潜力巨大。公司订单饱满,新工厂预计2021Q4将部分投产。前道设备持续通过客户端的验证与改进,公司具备优质的客户资源。公司产品持续迭代,并受益于半导体设备国产替代需求加速。预计公司2021~2023年归母净利润分别为0.84、1.43、1.83亿元,维持“买入”评级。