根据《公司点评-增资参股公司中环领先,深化半导体战略布局》-2021.6.21、《公司点评-一季度订单超50亿,业绩增长持续可期》-2021.4.29和《公司点评-业绩高速增长,研发重大突破》-2021.4.25等研报,晶盛机电设备与材料业务双轮驱动,预计2021-2023年归母净利润为15.50/18.84/22.51亿元,EPS分别为1.21/1.47/1.75元/股,当前股价对应市盈率41.8/34.4/28.8倍,维持“买入”评级。