石化化工行业深度研究报告：小荷才露尖尖角~关键电子化学品系列报告之电子特气

www.chinastock.com.cn证券研究报告请务必阅读正文最后的中国银河证券股份公司免责声明行业深度研究报告石化化工行业2016年09月26日电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体，因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体成本占IC材料总成本的5%-6%，虽然看似占比不大，但是很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。电子气体纯度每提高一个数量级，都会极大地推动半导体器件质的飞跃。电子特气行业的技术壁垒一是深度提纯技术难度较大。以硅烷为例，将其纯度由4N提纯到6N中间有漫长的道路，除了要解决普通气态杂质的纯化问题，还要将金属元素净化到10-9级和10-12级。二是包装和储运跟不上。超高纯气体的生产和应用都要求使用高质量的气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口，以避免二次污染的发生。三是分析检验观念落后。国内对电子气体生产应用领域分析检测技术的研究开发工作不够重视。目前部分产品已经获突破，国产化率在30%目前国内在高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气、氖气等已经突破，高纯CL2、高纯砷烷和高纯锗烷等也突破在即。半导体8英寸上的特种气体国产化率已经达到30%以上。但本土电子气体的生产和供应商规模较小，不能够为用户提供全方位的服务，目前大多通过低价竞争的方式占领一点市场份额，利润很薄，甚至亏损。且知识产权的保护形同虚设。电子特气重点上市公司有南大光电和巨化股份电子特气行业从业者较多，主要的参与者有中船重工第七一八研究所、南大光电、巨化股份、中昊光明化工、洛阳黎明化工、佛山华特气体、绿菱电子和大连科利德等。其中南大光电和巨化股份是上市公司，南大光电已形成了35吨高纯磷烷、15吨高纯砷烷的生产能力。巨化股份计划投资10.75亿元，建设高纯电子气体项目（一期）高纯电子气体项目（二期）含氟特种气体项目。分析师裘孝锋：（8621）20252676：qiuxiaofeng@chinastock.com.cn执业证书编号：S0130511050001赵乃迪：（8610）66568641：zhaonaidi@chinastock.com.cn执业证书编号：S0130516070001*感谢实习生曹莉莉为本文所做的贡献相关研究《而今迈步从头越——关键电子化学品系列报告之湿电子化学品》2016.08《雄关漫道真如铁——关键电子化学品系列报告之光刻胶》2016.08小荷才露尖尖角——关键电子化学品系列报告之电子特气电子化学品推荐维持评级核心观点: 行业深度研究报告/石化化工行业请务必阅读正文最后的中国银河证券股份公司免责声明。投资概要驱动因素、关键假设及主要预测：在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体，因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体成本占IC材料总成本的5%-6%，虽然看似占比不大，但是很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。电子气体纯度每提高一个数量级，都会极大地推动半导体器件质的飞跃。电子特气行业的技术壁垒：一是深度提纯技术难度较大。以硅烷为例，将其纯度由4N提纯到6N中间有漫长的道路，除了要解决普通气态杂质的纯化问题，还要将金属元素净化到10-9级和10-12级。二是包装和储运跟不上。超高纯气体的生产和应用都要求使用高质量的气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口，以避免二次污染的发生。三是分析检验观念落后。国内对电子气体生产应用领域分析检测技术的研究开发工作不够重视。我们与市场不同的观点：2015年国内市场规模达85亿元，其中应用于半导体电子特气55.3亿元。目前全球主要的跨国气体公司均在中国设有生产基地，国内高纯气体市场很大一部分市场被外资企业垄断。目前国内在高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气、氖气等已经突破，高纯CL2、高纯砷烷和高纯锗烷等也突破在即。半导体8英寸上的特种气体国产化率已经达到30%以上。但本土电子气体的生产和供应商规模较小，不能够为用户提供全方位的服务，目前大多通过低价竞争的方式占领一点市场份额，利润很薄，甚至亏损。且知识产权的保护形同虚设。估值与投资建议：电子特气行业从业者较多，主要的参与者有中船重工第七一八研究所、南大光电、巨化股份、中昊光明化工、洛阳黎明化工、佛山华特气体、绿菱电子和大连科利德等。其中南大光电和巨化股份是上市公司，南大光电已形成了35吨高纯磷烷、15吨高纯砷烷的生产能力。巨化股份计划投资10.75亿元，建设高纯电子气体项目（一期）高纯电子气体项目（二期）含氟特种气体项目股票价格表现的催化剂：电子产品升级换代加速，人工智能、可穿戴设备、虚拟现实等产业加速发展主要风险因素：电子产品需求增长低于预期，技术进步、进口替代进程低于预期 行业深度研究报告/石化化工行业请务必阅读正文最后的中国银河证券股份公司免责声明。目录一、电子气体的概述..........................................................................................................................................1（一）电子气体的定义...................................................................................................................................................1（二）电子气体分类.......................................................................................................................................................1（三）气体纯度标准.......................................................................................................................................................2（四）气体制造主要技术...............................................................................................................................................3气体分离技术................................................................................................................................................................3气体提纯技术................................................................................................................................................................3气体检测技术................................................................................................................................................................4气体混配技术................................................................................................................................................................4容器处理技术................................................................................................................................................................4气体充装技术................................................................................................................................................................4二、重要电子气体介绍......................................................................................................................................5（一）硅烷（SiH4）：最好的硅源材料，用于外延晶体生长................................................................................5（二）砷烷（AsH3）：独一无二的砷源化合物，因剧毒国内目前难以生产.......................................................6（三）一氧化二氮（N2O）：介质膜工艺气体，目前国内产能即将爆发.............................................................6（四）氨气（NH3）：电子工业中氮化膜的成膜气体，是化学气相沉积重要的“氮”源.....................................7（五）三氟化氮（NF3）：气体清洗剂，目前国内已打破技术垄断......................................................................8三、中国电子气体现状......................................................................................................................................9四、在半导体芯片行业中的应用...................................................................................................................11（一）制程介绍..............................................................................................................................................................11（二）电子气体的应用...................................................................................