- 公司2025年实现营业收入约5.29亿元,主要来自自研产品,客户包括拓荆科技、中微公司等。截至2025年底,在手订单约1.57亿元。公司计划拓展光伏、显示面板等新领域,成为等离子体工艺核心零部件整体解决方案平台。
- 公司产品等离子体射频电源系统广泛应用于半导体(薄膜沉积、刻蚀等)和工业领域(光伏、显示面板等)。产品需通过设备商及晶圆厂双重认证,定制化程度高。公司已推出四代产品,最新Cedar系列处于验证阶段,支持更先进制程。
- 公司技术优势在于“基石技术+产品化支撑技术”,掌握信号采样、相位同步锁定等关键技术,拥有296项授权专利,累计申请490项专利。
- 等离子体射频电源系统市场高度垄断,2024年中国大陆市场规模120.4亿元,国产化率不足12%。公司已成为国内头部设备商的战略级供应商。
- 公司2025年产能利用率达98.51%,通过推进子公司建设和深圳产能建设提升产能。未来将建设智能化生产运营基地,持续提升产能。
- 公司境外收入占比极小,2025年在德国设立全资子公司作为全球化战略支点,承担海外研发、市场拓展等职能。已获得部分海外专利。