恒运昌机构调研纪要

营收结构与订单情况
2025年公司实现营业收入约5.29亿元，主要来自自研产品，核心客户包括拓荆科技、中微公司等头部设备商。截至2025年底，在手订单约1.57亿元。公司计划通过研发新技术和拓展光伏、显示面板等新领域，提升产品性能并成为平台型解决方案提供商。

产品应用与特点
等离子体射频电源系统广泛应用于半导体（薄膜沉积、刻蚀等）和工业领域（光伏、显示面板等）。产品需满足“精确复制”要求，公司已推出四代产品（CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar），第四代Cedar系列处于验证阶段，支持更先进制程，整合射频电源与匹配器，具备快速数据采集能力。

技术优势
公司拥有“基石技术+产品化支撑技术”体系，包括底层通用的3大基石技术和8大产品化支撑技术，掌握信号采样、相位同步锁定等关键技术。截至2025年底，累计授权专利296项（发明123项），申请专利490项（发明262项）。

市场格局
中国大陆等离子体射频电源系统市场由海外巨头垄断，2024年国产化率不足12%。2024年市场规模达120.4亿元，其中半导体领域占比最大。

产能与布局
2025年产能利用率达98.51%，通过推进子公司恒运昌（沈阳）量产、深圳产能建设及智能化生产基地项目，未来产能将持续提升。

海外拓展计划
截至2025年底，境外收入占比极低。2025年11月在德国设立全资子公司，作为全球化战略支点，承担研发、技术融合、市场拓展职能。公司已获得部分海外专利，计划推动半导体设备核心零部件“走出去”。