公司业绩与行业趋势
2025年公司实现营业收入约5.29亿元,净利润约1.14亿元,主要受半导体行业周期波动及持续研发投入影响。2026年一季度营业收入1.24亿元,净利润1,758.28万元,主要原因是行业周期波动、运营管理提升、研发投入及人才引进,但政府补助减少及资产减值计提影响利润。行业方面,全球等离子体射频电源系统市场规模2024年达53.4亿美元,预计2025-2029年复合增长率10.6%;中国大陆市场规模2024年达65.6亿元,预计2025-2029年复合增长率15.6%。全球半导体设备销售额2025年达1,350.6亿美元,中国在成熟制程及部分先进节点持续投入。
订单与客户拓展
截至2025年年度报告披露日,公司持有未交付订单约1.57亿元。公司将继续发挥研发优势,响应拓荆科技、中微公司等行业头部客户需求,推动更先进工艺制程产品产业化。同时,积极拓展光伏、显示面板、精密光学等领域,通过内生研发提升产品性能与品类。
应用领域
等离子体射频电源系统主要应用于半导体(薄膜沉积、刻蚀等)、光伏、显示面板、精密光学、科研、航天、医疗等领域。公司产品主要服务于半导体工艺及光伏、显示面板等工业生产环节。
产品研发进展
第四代产品Cedar系列处于验证状态,整合射频电源和匹配器,支持快速数据采集,可支撑更先进制程。MFC MEMES传感器完成初样流片及测试。公司采取双轮驱动策略,内生研发优化现有产品,并通过并购增强核心零部件供应能力,成为平台型公司。
自研产品与技术
远程等离子体源(RPS)通过独立腔室产生等离子体并传输至反应腔,射频离子源用于显示面板、精密光学等领域薄膜沉积。核心技术包括“基石技术+产品化支撑技术”,关键指标包括调谐时间、功率精度等。
研发团队与产能
研发团队158人,占员工总数39.01%,拥有二十年以上行业经验。公司产能连续三年超负荷运行,2025年利用率98.51%。将通过子公司恒运昌真空技术(沈阳)、深圳产能建设及智能化生产基地项目提升产能。
股权激励
公司已通过员工持股平台和战略配售实施激励,未来若有相关计划将及时披露。