26Q1业绩超预期，高端产品矩阵丰富

中微公司26Q1业绩超预期，实现营收29.15亿元（同比增长34.13%），归母净利润9.30亿元（同比增长197.20%），扣非归母净利润约4.78亿元（同比增长60.09%），毛利率39.89%（同比-1.65pct），扣非销售净利润率16.38%（同比+2.65pct）。利润高增主要得益于：1）营收增长带动毛利增长约2.60亿元；2）研发支出增长32.15%（约2.21亿元），占营收比例约31.14%；3）出售拓荆科技股票产生税后净收益约3.97亿元。

公司产品矩阵逐步完备，高端设备布局演进，累计超过8300个反应台在国内外180余条产线量产。研发投入远超科创板平均水平，推进六大类、超20款新设备研发：

1）刻蚀设备：高端产品新增付运量显著提升，300多台超高深宽比刻蚀机实现量产，下一代90:1低温刻蚀设备已运付验证，第二代ICP刻蚀设备Primo Angnova TM在3D DRAM应用中取得140:1高深宽比结果，全新化学气相刻蚀设备Primo Domingo TM实现大于700:1的SiGe/Si高选择比。 2）薄膜设备：LPCVD、ALD、EPI等产品在先进存储和逻辑市场新增付运量快速增长，ALD系列产品性能达国际领先水平，减压EPI设备已进入量产验证，常压外延设备完成开发进入晶圆验证。 3）MOCVD设备：保持国际氮化镓基MOCVD市场领先地位，积极布局SiC和GaN功率器件，四款新产品已进入客户端验证并部分获批量订货。

盈利预测及投资建议：预计2026-2028年营收分别为169/224/291亿元，归母净利润分别为33/42/55亿元，维持“买入”评级。风险提示包括下游需求不及预期、地缘政治风险、产品进展不及预期。