扣非净利润同比增长183.44%，国产替代推进业绩释放

公司2022年营收同比增长52.5%，扣非归母净利润同比增长183.44%。2022年新签订单63.20亿元，同比增长53.03%。公司整体毛利率小幅提升2.38pct至45.74%，期间费用率同比下滑3.4pct，研发费用率保持12.8%。公司在60：1的极高深宽比工艺研发已取得一定进展，ICP在国内存储客户工艺验证顺利，渗透率有望迅速上升，大马士革工艺突破在即，逻辑端占比有望快速提高，截至2022年底，公司已有超过3311个反应台在客户106条芯片生产线全面量产。公司年报目标未来在国内先进logic生产线上CCP渗透率将提升至60%，ICP将提升至75%，在国内先进存储线上CCP提升至85%，ICP提升至75%，南昌、临港产线均已完工提供产能保证，预计中微2023年厂房面积将达到34.8万平方米，2024年将达到45.3万平方米，厂房面积将扩大超过15倍。设备新品研发验证顺利，23年有望提供业绩新增长点。公司ICP、CCP新型刻蚀设备在客户研发线上验证顺利，逐步导入客户端生产线；薄膜沉积设备中用于先进逻辑器件和3DNAND产线中金属钨沉积的LPCVD已在国内知名先进存储厂验证进度良好，用于金属沉积的ALD设备、用于满足客户先进制程中锗硅外延生长工艺的EPI设备以及制造Micro-LED器件的MOCVD设备研发顺利，已进入样机的制造和调试阶段，预计将于2023年中陆续推出。日本限制设备出口，TEL占比预期下降，刻蚀设备国产替代进一步加速。近期日本表示将限制23种半导体制造设备出口，包括清洗、沉积、光刻和刻蚀等环节，限制从7月生效。刻蚀环节巨头TEL在产线占比较高，2021年全球市占率为28%，日本设备出口受限将会进一步提升国产替代的需求。作为国内刻蚀龙头的中微产品性能一直对标LAM、TEL，继续受益于国产替代加速。投资建议：晶圆厂扩产提升设备需求，贸易摩擦加快国产替代进程，结合公司年报，我们将公司23-25年归母净利润预期调整为13.91/17.52/21.06亿元（前值23-24年15.59/19.22亿元），同比增速为18.9%/26.0%/20.2%，对应PE为72.6/57.6/48.0倍，维持“买入”评级。风险提示：新业务开拓不及预期；需求不及预期；贸易摩擦加剧等。