华海清科拟使用自有资金不超过10.05亿元收购参股子公司芯嵛半导体剩余82%股权,以切入离子注入机领域。交易基于2024-2026年业绩分三期完成,设置对赌补偿机制以降低收购风险:芯嵛需达成营收及交付目标,超额完成则核心团队获现金奖励,未达标则按公式补偿,总额不超过对价总额。芯嵛核心团队专注离子注入行业30余年,低能大束流设备已获客户端验证,技术优势在于晶圆污染控制及装载效率,零部件国产化率更高。2024年1-5月营收78.06万元,净利-1516.68万元(设备在验证中)。受益于AI、高性能计算发展,公司CMP、减薄装备需求高增。盈利预测:2024-2026年归母净利润10.9/13.8/15.8亿元,对应PE40/31/27X,维持“买入”评级。风险提示:收购进展不及预期,下游扩产不及预期。