半导体专用温控/废气处理设备龙头，最受益先进制程扩产

半导体专用温控/废气处理设备龙头，最受益先进制程扩产 京仪装备（688652.SH）： 【华西机械团队】 分析师：黄瑞连SACNO：S1120524030001 邮箱：huangrl@hx168.com.cn 证券研究报告/公司深度研究报告 2024年12月5日 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 本土半导体工艺辅助设备龙头，业绩持续快速增长。公司是本土半导体工艺辅助设备龙头，Chiller&L/S唯一国内均可量产供应商，产品充分适配国内最先进的14nm逻辑芯片和192层3DNAND存储芯片产线，供货长江存储、中芯国际、长鑫科技、华虹等头部客户。受益于国内晶圆厂扩产&国产替代，公司业绩持续快速增长。1）收入端：2023年公司营业收入达到7.42亿元，2019-2023年CAGR为33.9%，2024Q1-3收入为7.72亿元，同比+28%。2024Q3末公司存货17亿元，同比+116.5%；合同负债6.2亿元，同比+86.3%，在手订单充足，将保障短期收入端快速增长。2）利润端：2020年公司扭亏为盈，2023年归母净利润1.19亿元，同比+30.8%，2020-2023年CAGR高达111%，利润端表现较收入端更加出色。2020-2024Q1-3年公司销售净利率分别为1.82%、11.73% 、13.73%、16.05%和16.8%，盈利水平持续提升。 先进制程扩产趋势下，Chiller&L/S是价值量提升最明显环节。大基金三期落地彰显国家解决半导体“卡脖子”决心，先进逻辑+存储将是主要投资方向，叠加AI驱动下先进制程扩产的产业趋势已经确立。节点升级将大幅提升资本开支，不仅是核心设备总用量提升，先进制程设备单台价值量同样提升明显，Chiller&L/S价值量提升尤为明显。以Chiller为例，先进逻辑7nm节点每万片需求量将提升3-4倍；先进NAND提升更为明显，高深宽比蚀刻需引入低温蚀刻技术来满足工艺需求，每万片新增超低温Chiller需求约100台，且单价大幅提升，可见Chiller价值量提升显著高于其他工艺制程设备，此外，先进制程扩产同样带来L/S价值量提升。根据我们测算，2024-2025年中国大陆Chiller&L/S合计市场规模达到59.8/64.1亿元，高于Chiller&L/S各1%的价值量占比测算。 公司最先受益先进制程扩产，维保后市场打开成长空间。1）不同于其他前道工艺设备，Chiller&L/S可完全实现进口替代，公司先进制程收入敞口接近100%，考虑到公司Chiller在大陆头部先进制程客户接近实现独供，短期最先受益先进制程晶圆厂扩产，以2023分别为15亿元、33元亿计算，公司Chiller&L/S的市占率为29%、11%，中长期看公司Chiller&L/S整体市占率仍有较大提升空间。2）后服务市场收入已成为海外半导体设备龙头重要收入来源 ，23财年AMAT/LAM后市场收入占比高达22%/38%可以得到印证。公司后市场服务主要包括零配件和维保服务，IPO募投着力布局L/S核心零部件火炬头的自制产能。2023年公司后市场收入仅为6547万元，收入占比仅9%，远低于海外成熟公司后市场收入占比，2019-2023年公司累计实现设备收入21.64亿元，按照后市场收入占设备价值量10%，公司自有设备配套的后市场空间约2.2亿元，我们判断随着公司Chiller&L/S持续大规模出货，后服务业务有望加速增长，成为公司重要的增长点。 投资建议：我们预计公司2024-2026年营业收入为10.23、15.22和19.97亿元，同比+38%、49%和31%；2024-2026年归母净利润为1.61、2.80和4.16亿元，同比+35%、74%和49%；2024-2026年EPS为0.96、1.67和2.48元，2024/12/4股价53.5元对应PE为56、32、22倍，考虑到公司为本土半导体工艺辅助设备龙头，后市场业务成长逻辑清晰，首次覆盖，给予“增持”评级。 风险提示：晶圆厂资本开支不及预期、海外制裁超预期加剧、行业竞争加剧等 本土半导体工艺辅助设备龙头，业绩持续快速增长 一 Chiller&L/S：先进制程扩产趋势下，价值量提升最明显环节 二 公司最先受益先进制程扩产，维保后市场打开成长空间 三 投资建议与风险提示 四 京仪装备成立于2016年，是国内领先的半导体工艺辅助设备公司，专注于温控设备（Chiller）、工艺废气处理设备（LocalScrubber）和晶圆传片设备（Sorter）三大类产品，同时还提供设备零部件及维修服务。北京自动化院为京仪集团下属研究院，在温度控制、机械手运功轨迹控制方面已有较强技术积累，公司在此基础上成立并快速发展。成立仅一年后，公司半导体温控设备 、工艺废气处理设备分别通过中芯国际、长江存储、大陆英特尔产线验证；2021年公司Chiller实现超低温-70°C温控，L/S处理量上限提升至1600slm，产品不断迭代升级，全面适配LAM、TEL、中微公司、北方华创等设备的工艺需求，引领Chiller&L/S设备进口替代。 半导体专用温控设备 已初步掌握温控技术，两大设备通过中芯国际、武汉新芯验证，实现供货超百台 双通道产品通过大连英特尔验证 公司产品全面适配LAM、TEL、中微公司等需求 通过京东方 产线验证 三通道产品适配LAM和TEL；成功研发超低温-70℃复叠样机，完成国家重大专项课题 晶圆传片设备 2015年已迭代至第二代晶圆传片样机 实现嵌入Stocker的倒片工艺 WPH达250 微晶背接触式样机 开发晶圆载物台 工艺废气处理设备 北京自动化院时期 京仪装备成立 2013-2016 2016 成为武汉新芯、大连英特尔合格供应商，销售代理品牌 2017 进入长江存储攻克双腔燃烧式水洗技术 2018 攻克核心零部件 等离子火炬 2019 推出自主研发的Kylin系列产品，长江存储验证 2020 处理量上限最高至1600slm 长江存储二期扩产订单 2021 2022 图：公司发展脉络清晰，三大类产品持续取得突破，进入多个半导体头部客户供应链 作为工艺辅助设备，公司三大类产品广泛应用于晶圆制造各环节， 而且设备性能已充分满足国内先进制程客户量产需求。 1）半导体温控设备（Chiller）：即对反应腔温度、压力和流量进行精密控制，用于刻蚀、沉积、扩散等环节。公司竞争力较强，可满足14nm逻辑芯片和192层3DNAND存储芯片等先进制程量产需求， 2022年公司Chiller国内市占率为35.7%，连续三年位居第一。此外，公司创造性通过两级复叠技术实现-70°C超低温温控，国际领先，并朝着更低温控区间进行研发。2）半导体工艺废气处理设备（LocalScrubber）：即对各环节产生的工业废气进行无害化处理，主要用于刻蚀、沉积等环节。目前公司产品可应用于28nm以上逻辑芯片量产，以及192层3DNAND存储芯片的先进制程产线。公司竞争力持续提升，2022年公司L/S设备国内市占率为15.6%，排名第四，与第一名份额仅差3pct。3）晶圆传片设备（Sorter）：贯穿整个制造流程 ，公司已覆盖微晶背接触式、真空式和夹持式三种主流技术路线，根据公司招股书披露，目前WPH和重复精度指标对标国外产品，可满足先进制程产线需求。目前市场主要由国外厂商主导，随着公司第三代设备实现量产，收入规模及市场占有率有望迎来0-1突破。 图：公司产品广泛应用于晶圆制造过程，主要应用在刻蚀、沉积环节 温控设备为公司主要收入来源，先进制程收入占比超过95%。1）从收入结构看，①温控设备为公司主要收入来源，2019-2024H1收入占比分别为65%、55%、50%、48%、62%和65%。②受益于产品技术不断突破，工艺废气设备已成为公司收入第二大增长点，2024H1年收入占比达30%。③备件及维保服务，收入占比长期在10%左右；晶圆传片设备收入体量较小，处于0-1突破阶段。综合来看，温控设备和工艺废气设备合计收入占比约90%，构成公司收入主体。2）若按照应用产线制程划分，2020-2023H1公司半导体专用设备中先进制程产品收入占比分别为97%、98%、99%和97%，可见不同于传统工艺制程设备，公司Chiller、L/S完全可以实现进口替代，是板块先进制程敞口最大的公司之一。 图：2024H1公司温控设备收入占比为65%，长期稳定在50%以上 备件及维保服务晶圆传片设备 工艺废气处理设备温控设备 图：2020-2023H1公司先进制程产品收入占比超过95% 成熟制程先进制程 30% 16% 29% 30% 37% 34% 65% 55% 62% 65% 50% 48% 100% 90% 80% 70% 60% 50% 40% 30% 20% 10% 0% 2019 2020 2021 2022 2023 2024H1 100% 95% 90% 85% 80% 75% 70% 65% 60% 55% 50% 97% 98% 99% 97% 2020202120222023H1 公司客户集中度较高，涵盖长江存储、中芯国际、华虹集团等国内头部晶圆厂。2020-2023H1公司前五大客户营收占比超过70%，客户集中度较高，基本涵盖了本土头部晶圆厂，其中长江存储常年位列公司第一大客户，2021年营收占比最高超过50%，后续虽有所下降，但仍保持在30%；2023H1长鑫科技进入前五大客户，进一步彰显公司产品在存储领域的市场竞争力。此外，我们注意到2020-2023H1公司前五大客户营收占比逐渐降低，主要系客户群体持续扩张。 表：公司Chiller&L/S设备供货国内头部晶圆厂，长江存储、中芯国际、华虹集团常年位列前五大客户 序号 客户名称 销售金额（万元） 营收占比 序号 客户名称 销售金额（万元） 营收占比 2023年 1-6月 1 长江存储 12,473.61 29.00% 2022 1 长江存储 18,833.87 28.38% 2 长鑫科技 5,261.09 12.23% 2 华虹集团 9,499.14 14.31% 3 华虹集团 5,248.57 12.20% 3 中芯国际 9,124.58 13.75% 4 中芯国际 4,327.21 10.06% 4 成都高真 5,884.58 8.87% 5 卓胜微 2,968.41 6.90% 5 大连英特尔 5,400.24 8.14% 合计 30,278.89 70.40% 合计 48,742.42 73.44% 序号 客户名称 销售金额（万元） 营收占比 序号 客户名称 销售金额（万元） 营收占比 2021 1 长江存储 26,369.80 52.59% 2020 1 长江存储 15,622.85 44.79% 2 中芯国际 8,477.50 16.91% 2 中芯国际 9,465.58 27.14% 3 大连英特尔 5,202.50 10.38% 3 华虹集团 2,700.72 7.74% 4 广州粤芯 2,430.16 4.85% 4 积塔半导体 1,045.20 3.00% 5 北方华创 1,523.80 3.04% 5 中微公司 802.31 2.30% 合计 44,003.76 87.77% 合计 29,636.66 84.97% 实控人为北京市国资委，公司具备深厚的区域性资源优势。截至2024Q3，北京市国资委通过北控集团、京仪集团持有公司28.13%股份，为公司实际控制人。集成电路产业链作为北京市高精尖产业发展重点，高校科研资源丰富&半导体产业基金密集，公司背靠北京国资委，具备深厚的区域性资源优势和资本实力。 图：公司股权结构（截至2024Q3） 实控人员工持股平台 鹰潭市信银明杰 共青城秋月 芯存 长志 橙叶 峻茂 泰达 新源 海丝 民合 安徽 北自 京仪 集团 北控集团 北京市国资委 100%100% 28.13%17.