半导体专用温控/废气处理设备龙头，最受益先进制程扩产

核心观点

本土半导体工艺辅助设备龙头，业绩持续快速增长。公司是本土半导体工艺辅助设备龙头，Chiller&L/S唯一国内均可量产供应商，产品充分适配国内最先进的14nm逻辑芯片和192层3DNAND存储芯片产线，供货长江存储、中芯国际、长鑫科技、华虹等头部客户。受益于国内晶圆厂扩产&国产替代，公司业绩持续快速增长。

收入端

• 2023年公司营业收入达到7.42亿元，2019-2023年CAGR为33.9%，2024Q1-3收入为7.72亿元，同比+28%。
• 2024Q3末公司存货17亿元，同比+116.5%；合同负债6.2亿元，同比+86.3%，在手订单充足，将保障短期收入端快速增长。

利润端

• 2020年公司扭亏为盈，2023年归母净利润1.19亿元，同比+30.8%，2020-2023年CAGR高达111%。
• 2020-2024Q1-3年公司销售净利率分别为1.82%、11.73%、13.73%、16.05%和16.8%，盈利水平持续提升。

关键数据

• 2023年公司营业收入达到7.42亿元，2024Q1-3收入为7.72亿元，同比+28%。
• 2023年公司归母净利润1.19亿元，2024Q1-3达到1.30亿元，同比+11.14%。
• 2020-2023年公司销售净利率分别为1.82%、11.73%、13.73%、16.05%和16.8%。
• 2024Q3末公司存货17亿元，同比+116.5%；合同负债6.2亿元，同比+86.3%。

研究结论

• 先进制程扩产趋势下，Chiller&L/S是价值量提升最明显环节。
• 公司最先受益先进制程扩产，维保后市场打开成长空间。
• 公司Chiller&L/S的市占率为29%、11%，中长期看整体市占率仍有较大提升空间。
• 后市场潜在市场空间超20亿元，公司耗材+服务成重要增长点。

投资建议

• 预计公司2024-2026年营业收入为10.23、15.22和19.97亿元，同比+38%、49%和31%。
• 预计公司2024-2026年归母净利润为1.61、2.80和4.16亿元，同比+35%、74%和49%。
• 2024/12/4股价53.5元对应PE为56、32、22倍，首次覆盖，给予“增持”评级。

风险提示

• 晶圆厂资本开支不及预期。
• 海外制裁超预期加剧。
• 行业竞争加剧。