半导体设备零部件2023年、2024一季报总结：订单确认节奏致业绩分化，出货+订单持续高增

证券研究报告/行业深度研究报告 半导体设备/零部件2023年&2024一季报总结： 订单确认节奏致业绩分化，出货+订单持续高增 【华西机械团队】 黄瑞连：S1120524030001 2024年5月8日 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 订单确认节奏致业绩分化，出货+订单持续高增。半导体前道设备选取12家公司【北方华创】【中微公司】【拓荆科技】【华海清科】【盛美上海】【中科飞测】【精测电子】【芯源微】【万业企业】【微导纳米】【京仪装备】【至纯科技】；后道测试设备选取4家公司【长川科技】【华峰测控】【金海通】【精智达】；零部件选取7家公司【正帆科技】【新莱应材】【富创精密】【英杰电气】【华亚智能】【汉钟精机】【江丰电子】。1）收入端，23&24Q1前道设备板块营收490.19、117.36亿元，分别同比+36.79%、31.19%；后道测试设备板块营收34.62、8.68亿元，分别同比-24.38%、 +28.99%；零部件板块营收172.97、39.90亿元，分别同比+20.44%、+33.18%，受订单确认节奏影响，前道设备板块营收出现一定降速，零部件和后道封测设备板块营收端出现环比改善。2）利润端，23&24Q1前道设备板块归母净利润94.41、18.03亿元，分别同比+47.60%、18.53%；后道测试设备板块归母净利润4.97、0.28亿元，分别同比-58.82%、-39.12%；零部件板块归母净利润24.46、4.63亿元，分别同比+8.81%、30.58%。24Q1前道设备板块归母净利润降速明显，盈利水平有所下降，后道测试设备板块持续承压，归母净利润持续大幅下滑，零部件整体利润端改善明显，盈利水平有所修复。3）存货&订单方面，23&24Q1前道设备板块存货为443.15、501.63亿元，分别同比+40.69%、+42.31%；后道测试设备板块存货为28.73、29.13亿元，分别同比+22.35%、+16.01%；零部件板块存货为100.81、106.56亿元，分别同比+34.17%、+25.26%。2024Q1前道设备、后道测试设备、零部件存货均创历史新高，尤其前道设备板块同比有所加速，主要系订单交付同比实现高速增长所致。23&24Q1前道设备板块合同负债167.83、187.56亿元，分别同比+7.66%、+11.69%；零部件板块合同负债为39.61、42.24亿元，分别同比+73.89%、+50.56%。前道设备板块合同负债同比增速相较2021-2022年有所下降，我们推测主要系户付款方式变化，部分客户设备发货才收到预付款，24Q1新接订单仍延续高速增长势头，零部件经过行业去库存+下游订单需求旺盛，合同负债延续高速增长势头。 大陆晶圆厂扩产景气度向上，国产替代利好本土设备供应商。1）逻辑端，2023年中芯国际资本开支达到75亿美元，同比+18%，并预计2024年资本开支同比基本持平；2024年4月，上海华力康桥二期产线厂房及配套设施建设项目，招标金额为98.81亿元，扩产规模庞大。存储端，2023年一线存储大厂扩产力度受到明显影响，长存、长鑫陆续增资背景下，叠加设备与工艺技术端进步，我们预计2024年存储端扩产需求有望快速起量。2）2023年中国大陆累计进口荷兰光刻机金额72.30亿美元，同比+184%，2024年1-3月进口金额分别为7.06、4.35、11.50亿美元，分别同比+559%、+129%、+345%，延续高速增长势头，且光刻机单价同比大幅提升，对后续扩产有较强指引。3）SEMI预计2025年全球12英寸晶圆厂设备投资增长至1165亿美元，同比+20%，2026年达1305亿美元，同比+12%，到2027年将达到1370亿美元的历史新高。自主可控推动下，中国大陆未来四年将保持每年300亿美元以上的投资规模，继续引领全球晶圆厂设备支出。4）整体来看，半导体设备国产化率不足20%，仍处于相对低位，对于光刻、量/检测、涂胶显影、离子注入设备等领域，我们预估国产化率仍低于10%，国产替代背景下，看好本土设备国产化率快速提升。 投资建议：前道设备受益标的北方华创、拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、精测电子、芯源微、万业企业、京仪装备、盛美上海、微导纳米、至纯科技；后道测试设备受益标的长川科技、华峰测控、金海通、精智达；零部件受益标的正帆科技、富创精密、英杰电气、新莱应材、江丰电子、汉钟精机、华亚智能。 风险提示：海外制裁、半导体行业景气度下滑、晶圆厂资本开支不及预期等。 1 图表：半导体设备、零部件行业重点公司2023&2024Q1主要业绩情况 2023年营收 （亿元） 同比增长 2024Q1营收（亿元） 同比增长 2023年归母净利润（亿元） 同比增长 2024年Q1归 母净利润（亿元） 同比增长 2023归母净利率 2024Q1归母净利率 2023毛利率利率 2024Q1毛利率 前道设备 北方华创 220.79 50.32% 58.59 51.36% 38.99 65.73% 11.27 90.40% 17.66% 19.23% 41.10% 43.40% 中微公司 62.64 32.15% 16.05 31.23% 17.86 52.67% 2.49 -9.53% 28.51% 15.52% 45.83% 44.94% 拓荆科技 27.05 58.60% 4.72 17.25% 6.63 79.80% 0.10 -80.51% 24.50% 2.22% 51.01% 47.31% 华海清科 25.08 52.11% 6.80 10.40% 7.24 44.29% 2.02 4.27% 28.86% 29.72% 46.02% 47.92% 盛美上海 38.88 35.34% 9.21 49.63% 9.11 36.21% 0.80 -38.76% 23.42% 8.70% 51.99% 46.32% 中科飞测 8.91 74.95% 2.36 45.60% 1.40 1095.09% 0.34 9.16% 15.75% 14.54% 52.62% 54.34% 精测电子 24.29 -11.03% 4.18 -30.50% 1.50 -44.78% -0.16 -234.11% 6.18% -3.81% 48.95% 47.01% 微导纳米 16.80 145.39% 1.71 125.27% 2.70 399.33% 0.04 428.12% 16.10% 2.09% 43.64% 42.90% 芯源微 17.17 23.98% 2.44 -15.27% 2.51 25.21% 0.16 -75.73% 14.60% 6.56% 42.53% 40.30% 京仪装备 7.42 11.84% 2.19 20.98% 1.19 30.75% 0.28 16.02% 16.05% 12.80% 38.35% 35.03% 至纯科技 31.51 3.33% 8.11 3.48% 3.77 33.58% 0.64 1.45% 11.97% 7.84% 33.81% 33.82% 万业企业 9.65 -16.67% 0.99 -20.24% 1.51 -64.32% 0.05 -94.10% 15.67% 4.78% 46.96% 77.27% 后道测试设备 长川科技 17.75 -31.11% 5.59 74.81% 0.45 -90.21% 0.04 107.12% 2.54% 0.73% 57.06% 54.60% 华峰测控 6.91 -35.47% 1.37 -31.61% 2.52 -52.18% 0.23 -68.62% 36.43% 17.13% 72.47% 75.09% 金海通 3.47 -18.49% 0.89 -12.79% 0.85 -44.91% 0.15 -53.31% 24.42% 16.82% 49.21% 48.89% 精智达 6.49 28.53% 0.83 62.25% 1.16 74.79% -0.14 -322.11% 17.84% -17.39% 40.37% 33.44% 半导体设备零部件 正帆科技 38.35 41.78% 5.89 43.31% 4.01 55.15% 0.25 123.36% 10.47% 4.23% 27.11% 27.41% 新莱应材 27.11 3.49% 6.89 7.84% 2.36 -31.58% 0.68 27.36% 8.70% 9.94% 25.58% 25.32% 富创精密 20.66 33.75% 7.01 105.47% 1.69 -31.33% 0.60 53.42% 8.17% 8.61% 25.20% 25.39% 英杰电气 17.70 37.99% 3.75 61.02% 4.31 27.23% 0.80 44.73% 24.38% 21.35% 37.22% 41.96% 华亚智能 4.61 -25.57% 1.14 -2.55% 0.88 -41.35% 0.24 3.28% 19.11% 20.65% 32.88% 34.12% 汉钟精机 38.52 17.96% 7.49 8.61% 8.65 34.24% 1.46 25.64% 22.45% 19.53% 40.32% 37.08% 江丰电子 26.02 11.95% 7.72 36.73% 2.55 -3.67% 0.60 6.56% 9.82% 7.72% 29.20% 31.97% 资料来源：wind，华西证券研究所2 2023&2024Q1十二家半导体前道设备公司合计营收490.19、117.36亿元，分别同比+36.79%、31.19%；四家半导体后道测试设备公司合计营收34.62、8.68亿元，分别同比-24.38%、+28.99%；七家半导体设备零部件公司合计营收172.97、39.90亿元，分别同比 +20.44%、+33.18%。不难发现，2024Q1前道设备板块营收出现一定降速，零部件和后道封测设备板块营收端出现明显改善。 进一步分析：①前道设备，2024Q1北方华创、盛美上海、京仪装备营收同比有一定提速，同比增速超过45%，其他均出现不同程度降速，拓荆科技、华海清科、芯源微等尤为明显，主要系订单确认节奏所致；②后道测试设备，2024Q1长川科技、精智达营收改善明显，分别同比74.81%、+62.25%，华峰测控、金海通依然承压，随着行业回暖，新接订单已经有所改善。③零部件，2024Q1富创精密、英杰电气、正帆科技同比增幅超过40%，表现出色，主要系国内半导体相关订单需求旺盛。 图表：2023&2024Q1半导体前道设备营收同比+36.79%、31.19% 图表：2023&2024Q1半导体前道设备公司营收出现分化 600 500 营业收入（亿元）同比增长 52.71% 490.19 48.61% 70% 40% 200% 150% 2023营收同比2024Q1营收同比 400 300 200 23.89% 157.91 234.67 358.35 36.79%31.19% 10% 100% 50% 100 0 2020 2021 2022 2023 117.36 2024Q1 -20% -50% 0% -50% 图表：2023&2024Q1后道测试设备营收同比-24.38%、+28.99%图表：2024Q1长川科技、精智达营收同比大幅增长 2023营收同比2024Q1营收同比 100% 80% 60% 40% 20% 0% -20% -40% -60% 营业收入（亿元）同比增长 50 45 4089.43%95.55% 3532.68 30 25 2016.71 15 10 5 0 45.78 40.08% 34.62 -24.38% 8.68 130% 100% 70% 40% 28.99% 10% -20% -50% 20