北方华创：本土半导体设备龙头，深度受益国产化

本土半导体设备龙头，一季度业绩预告亮眼。北方华创由七星电子和北方微电子战略重组而成，逐步成长为以半导体设备为核心，布局真空装备和精密元器件领域的本土设备厂商龙头。4月12日，公司发布2024年一季度业绩预告，公司预计24Q1实现营业收入54.2-62.4亿元，YoY+40.0%-61.2%；归母净利润10.4-12.0亿元，YoY+75. 8%-102.8%；扣非后归母净利润9.9-11.4亿元，YoY+85.5%-113.6%。业绩亮眼主要系公司应用于集成电路领域的刻蚀、薄膜沉积、清洗和炉管等工艺装备市场份额稳步攀升，且随着公司营收规模的持续扩大，规模效应逐渐显现，成本费用率稳定下降，公司盈利能力稳步增强。 大陆晶圆厂掀起扩产潮，打开国产设备广阔空间。2023年全球半导体设备市场略降，但中国大陆实现逆势高增达366亿美元，展望未来，中国大陆有望引领全球半导体设备未来数年的支出，2024-27年维持在300亿美元以上的高位，开支规模居全球主要地区首位。本土大型晶圆厂积极扩产，将奠定国产设备订单增长坚实基础。 北方华创高端IC设备持续突破，有望充分受益晶圆厂扩产。1）北方华创为国内少有的平台型设备公司，产品品类齐全，国产化受益面广。公司在IC设备里覆盖刻蚀、薄膜、热处理、湿法清洗等多个环节，且在每一环节单项设备上均居国产第一梯队，公司整体覆盖设备占整体设备价值量比重有望过半。2）核心产品技术优势突出。北方华创在ICP刻蚀、PVD等拳头产品上，其技术优势稳居国内领先地位。3）高度重视研发，高端产品不断突破。2023-24年，公司陆续实现外延、去胶、PVD工艺全覆盖，在刻蚀领域推出双大马士革CCP刻蚀机、在CVD领域推出多款ALD设备，显现了公司长期高强度研发后的厚积薄发。 投资建议：我们预计2023-25年公司实现营业收入221/300/396亿元，同比增长50%/36%/32%；实现归母净利润39/54/72亿元，同比增长66%/40%/32%；对应PE分别为41/29/22倍。2024年可比公司平均PE估值为37倍，且考虑到公司在半导体设备领域的平台化优势，以及大陆晶圆制造升级的确定性，首次覆盖，结合公司估值情况，给予公司“买入”评级。 风险提示：下游大型晶圆厂扩产不及预期；行业竞争加剧；行业规模测算偏差风险；研报使用信息更新不及时。 一、本土半导体设备龙头，产品覆盖面广 1、本土半导体设备龙头，产品矩阵齐全 北方华创由七星电子和北方微电子战略重组而成，逐步成长为半导体设备龙头。北方华创前身七星电子由北京电控整合原国营700厂、706厂、707厂、718厂、797厂、798厂的优质资产和业务，以七星集团为主发起人设立，主营半导体装备及精密电子元器件业务；前身北方微电子成立于2001年，由北京电控联合七星集团、清华大学、北京大学、中科院微电子所和中科院光电技术研究所共同出资设立，主营高端半导体装备业务。2016年，七星电子与北方微电子战略重组，次年更名为“北方华创”，经过长期的发展，逐步成长为本土半导体设备领军者。 图表1：公司发展历程 公司拥有半导体设备、真空装备和精密元器件三大产品系列。1）半导体工艺装备领域：主要产品包括刻蚀、薄膜、清洗、热处理、晶体生长等核心工艺装备，广泛应用于逻辑器件、存储器件、先进封装、第三代半导体、半导体照明、微机电系统、新型显示、新能源光伏、衬底材料等工艺制造过程；2）真空及锂电装备领域：晶体生长设备、真空热处理设备、气氛保护热处理设备、连续式热处理设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备在材料热处理、真空电子、新能源光伏、半导体材料、磁性材料、新能源汽车等领域取得广泛应用；3）精密电子元器件领域：石英晶体器件、石英微机电传感器、高精密电阻器、钽电容器、微波组件、模拟芯片、模块电源等产品应用于高铁、智能电网、通信、医疗电子、精密仪器、自动控制等领域。 图表2：公司产品矩阵 2、股权结构集中，管理团队经验丰富 优质国企，股权结构较为集中。截至公司2023年三季报，公司实控人北京电控通过七星华电持有公司33.61%股份，并直接持有9.42%股份，合计43.03%，大基金一二期持股6.90%，北京国瑞持股1.52%，其他持股57.97%。公司通过北方华创微电子、北方华创真空技术和北方华创精密电子分别开展半导体设备、真空设备和电子元器件业务。 图表3：公司股权结构及主要子公司/参股公司（截止2023年9月30日） 管理团队经验丰富，研发团队实力强劲。北方华创高管团队长期深耕专业领域，拥有丰富的产业经验。公司积极自主培养本土科研团队，截至2022年末，公司研发人员共有2929名，占公司员工总数的29.27%。截至2023年上半年，公司累计申请专利7,200余件，累计获得授权专利4,100余件；累计主导及参与制定国家标准、行业标准、团体标准共34项，其中19项已正式发布。 图表4：公司高管介绍 3、营收持续高增，盈利能力稳步增强 公司营业收入高速增长。2023年，公司实现营业收入220.8亿元，同比增长50.3%；归母净利润39.0亿元，同比增长65.7%；扣非后归母净利润35.8亿元，同比增长70.1%。在23年行业景气度下行周期中，公司刻蚀、薄膜沉积、清洗和炉管等数十种核心工艺装备进一步得到市场认可，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，实现了逆势高增长，凸显公司优秀质地。同时，根据公司24年一季度业绩预告，公司预计24Q1实现营业收入54.2-62.4亿元，同比增长40.0%-61.2%；归母净利润10.4-12.0亿元，同比增长75.8%-102.8%；扣非后归母净利润9.9-11.4亿元，同比增长85.5%-113.6%，继续实现高增。 图表5：2019-23年公司营收（单位：亿元） 图表6：2019-23年公司归母净利（单位：亿元） 盈利能力稳步提升。23年前三季度公司实现毛利率39.83%，同比下降4.15pcts，主要与23年景气度下行有关。2019-23年前三季度公司实现扣非后归母净利率1.72%/3.25%/8.33%/14.34%/18.10%，根据公司业绩预告中值计算，24Q1扣非后归母净利率为18.27%，同比提升4.47pcts。公司盈利能力稳步提升，主要系随着公司营收规模的持续扩大，规模效应逐渐显现，成本费用率稳定下降。 图表7：2019-24Q1公司利润率情况 图表8：2019-23年前三季度公司期间费用率 从合同负债看，公司成长动能强劲。公司作为设备公司，其当期订单预示未来收入规模。客户在下单后，通常会支付部分金额，形成公司的合同负债（预收账款）。23Q3，公司在各报告期末的合同负债（预收账款）为93.80亿元，同比增长44.04%，环比增长9.25%，合同负债和新签订单高增，预示着公司充沛的成长动能。 图表9：2020-23Q3年公司合同负债情况 二、大陆晶圆厂掀起扩产潮，北方华创优势显著 1、大陆晶圆厂掀起扩产潮 2023年全球半导体设备市场略降，但中国大陆实现逆势高增达366亿美元。据SEMI，2023年全球半导体设备市场规模达1062.5亿美元，yoy-1%，相比于2022年的1076.4亿元略有减少，主要系2023年全球半导体行业景气仍处于低迷状态、晶圆厂扩产动力不足。然而，在全球需求疲弱的大背景下，中国大陆2023年半导体设备市场空间由2022年的282.7亿美元大增29%，至366.0亿美元，为全球增速最快的地区，其背后主要系大陆晶圆厂看好本土晶圆制造前景、积极扩产，带动对设备的需求高增。 图表10：大陆2023年半导体设备市场增速全球最快（单位：亿美元） 展望未来，中国大陆有望引领全球半导体设备未来数年的支出，2024-27年维持在300亿美元以上的高位。据SEMIC，2024-27年，中国大陆每年半导体设备投资规模均有望保持在300亿美元以上，规模居全球主要地区第一位，仍将继续引领全球半导体设备支出。而中国台湾、韩国地区则受益于HPC带动的先进制程扩张，以及存储市场复苏，2024至2027年有望增加对半导体设备的投资。美国则在“芯片法案”等本土芯片法规扶持下，半导体晶圆制造有望实现较快增长，2024年半导体设备开支预期在120亿美元，至2027年有望翻倍至247亿美元。 图表11：大陆未来数年将持续引领全球设备支出（单位：亿美元） 本土大型晶圆厂积极扩产，奠定国产设备订单增长坚实基础。我们根据公开资料梳理，中芯国际当前重点在建项目主要为上海临港12寸晶圆代工厂、天津西青12寸晶圆厂项目，分别规划投资额在573、500亿元，合计超千亿元；华虹半导体无锡二期项目，规划投资接近480亿元，规划产能在8.3万片特色工艺，体量较大；上海华力康桥二期，仅厂房和配套设施建设投资就接近100亿元，整体扩产规模亦有望较大；2023-24年，存储大厂长江存储、武汉新芯、合肥长鑫均有不同规模的融资动作。 本土大型逻辑、存储晶圆厂积极扩产，规模庞大且对国产设备验证、导入均较为积极，有望在未来数年奠定国产设备厂商订单增长的坚实基础。 图表12：大陆大型晶圆厂扩产规划及相关融资动态 2、北方华创优势显著 北方华创为国内少有的平台型设备公司，覆盖的IC设备占整体设备比重有望过半。在IC设备领域，北方华创产品横跨硅片生长、薄膜沉积、沟槽蚀刻、工艺处理等多个关键环节，其中又数薄膜沉积、沟槽蚀刻工艺价值量占比最大，二者合计占整体IC设备价值量的比重接近40-50%，再加上其他环节的工艺设备，北方华创当前覆盖的IC设备占整体IC设备支出的比重有望超过50%。 北方华创在ICP刻蚀、PVD等拳头产品上，其技术优势稳居国内领先地位。ICP刻蚀：公司是ICP刻蚀领域的国产龙头，至2022年末已完成数百道工艺的量产验证，ICP刻蚀产品出货累计超过2000腔，金属刻蚀凭借稳定的量产性能成为国内主流客户优选机台。PVD：公司先后掌握了溅射源设计技术、等离子产生与控制技术、颗粒控制技术、腔室设计与仿真模拟技术等，为国内少数PVD厂商，可支持铝、铜、氮化钛等多种金属硬掩膜的沉积。此外，北方华创在热处理方面，深耕高压、高温、高真空技术，其氧化炉等热处理设备居国内领先地位。 图表13：北方华创IC设备产品矩阵图 北方华创高度重视研发，高端领域不断突破、新产品不断推出： 1）保持高强度研发投入，研发支出占收入比重维持高位。2018-22年，公司研发支出从8.73亿元增至35.66亿元，CAGR高达42%，主要系：一方面公司营收高增带动公司有更大的资金投入下一阶段研发，另一方面系公司产品矩阵日益丰富、需要更高的投入来维持多品类的研发。研发支出占总收入的比重，2018-22年均维持在25%左右的水位，体现了公司对研发的重视。 图表14：2018-22年公司研发支出合计占营收情况 2）新产品密集推出，高端领域不断突破。长期持续高强度研发，带来2023-24年公司新产品、新领域的不断突破。在公司长期深耕的外延、去胶和PVD工艺领域，公司于2024年初均实现了所有工艺的全覆盖，竞争优势进一步加强。在刻蚀设备领域，公司于23年7月发布国内首台12寸晶边刻蚀机，于24年3月发布双大马士革CCP刻蚀机——公司将产品领域向CCP刻蚀持续拓展；在CVD薄膜设备领域，24年1月公司送样首台HDPCVD，意味着绝缘介质填充工艺的突破，24年3月公司发布多款ALD设备，在ALD领域的产品矩阵大大扩容。公司在新品、高端领域的突破，有利于公司把握下游晶圆厂扩产及工艺升级的趋势。 图表15：2023-24年北方华创新产品、新工艺不断突破 3、其他泛半导体领域有望较快发展 公司整体泛半导体设备2018-22年营收CAGR高达48%。据财报，2018年公司泛半导体设备（电子装备）收入规模为25.21亿元，至2022年增至120.84亿元，2018-22年CAGR高达48%，23H1公司该项业务收入为73.49亿元，YoY达79%——延续高增态势。 图