看好存储厂商潜在扩产带来的上游业绩弹性

行业研究|动态跟踪 看好（维持） 看好存储厂商潜在扩产带来的上游业绩弹性 电子行业 国家/地区中国 行业电子行业 报告发布日期2023年10月14日 核心观点 国内存储产能占比低，投入确定性强。全球芯片制造产能中，存储芯片占比超 30%，存储芯片产线建设是半导体设备需求的主要来源之一。存储芯片产品标准化程度高、规模效应显著，国内在DRAM、3DNAND领域份额占比仅低个位数。且国内存储领域技术差距与海外持续缩小：DRAM领域，长鑫存储已达到1Xnm （16nm-19nm）阶段，与国际先进水平相比，虽然仍存在一定差距，但差距近年来逐步缩小；NAND领域，长江存储2022年推出232层产品已比肩国际一线大厂。目前国内存储厂商亟需在提升技术实力的同时扩大产能提升竞争力，未来资本开支投入的确定性强。 3DNAND堆叠层数增加拉动刻蚀及薄膜沉积设备需求。集成电路2D存储器件的线宽已接近物理极限，NAND闪存已进入3D时代。3DNAND制造工艺中，增加集成度的主要方法不再是缩小单层上线宽而是增加堆叠的层数，当前叠堆层数正从 96/128层向200层以上发展，层数增加导致晶圆厂对刻蚀设备需求量上升。根据东京电子统计，刻蚀设备占FLASH芯片产线资本开支比例从2D时代的15%增长至3D时代的50%。此外，3D工艺下，刻蚀要在氧化硅和氮化硅一对的叠层结构上，加工40：1到60：1的极深孔或极深的沟槽，3DNAND层数的增加要求刻蚀技术实现更高的深宽比。 中微公司高深宽比刻蚀技术持续取得突破。在存储器件中，极高深宽比刻蚀是最为困难和关键的工艺，是在多种膜结构上，刻蚀出极高深宽比（>40：1）的深孔/深 槽。公司自主开发了极高深比刻蚀机，该设备用400KHz取代2MHz作为偏压射频源，以获得更高的离子入射能量和准直性，使得深孔及深槽刻蚀关键尺寸的大小符合规格。 蒯剑021-63325888*8514 kuaijian@orientsec.com.cn 执业证书编号：S0860514050005香港证监会牌照：BPT856 李庭旭litingxu@orientsec.com.cn 执业证书编号：S0860522090002 韩潇锐hanxiaorui@orientsec.com.cn 执业证书编号：S0860523080004 薛宏伟xuehongwei@orientsec.com.cn 杨宇轩yangyuxuan@orientsec.com.cn 国内半导体前道设备厂商对比研究2022-08-03 薄膜沉积设备在存储中应用众多，拓荆科技国内领先。拓荆科技自2010年成立就 开始研制薄膜沉积设备中的最大的设备类别PECVD设备，在PECVD设备技术领域具有十余年的研发和产业化经验，并形成了覆盖全系列PECVD薄膜材料的设备，有望持续受益国内下游客户扩产。 投资建议与投资标的 我们看好国内存储产业链潜在扩产带来的上游业绩弹性： 设备环节建议关注：中微公司、拓荆科技、北方华创、精测电子、华海清科、芯源微、盛美上海、中科飞测-U、万业企业 材料环节建议关注：鼎龙股份、安集科技 封测环节建议关注：万润科技、佰维存储 风险提示 下游资本开支不及预期、国产化率不及预期、竞争格局恶化、地缘政治风险 半导体刻蚀设备：多频共振驱动刻蚀市场，国产替代未来可期 2022-02-16 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。 看好存储厂商潜在扩产带来的上游业绩弹性 国内存储产能全球占比低，投入确定性强。全球芯片制造产能中，存储芯片占比超30%，存储芯片产线建设是半导体设备需求的主要来源之一。存储芯片产品标准化程度高、规模效应显著，国内在DRAM、3DNAND领域份额占比仅低个位数，亟需在提升技术实力的同时扩大产能提升竞争力，未来资本开支投入的确定性强。 图1：22Q4全球NANDFlash市场格局-按营业收入图2：22Q4年全球DRAM市场格局-按营业收入 三星铠侠SK集团西部数据美光其他三星SK海力士美光其他 3%4% 11% 34% 16% 17% 19% 23% 45% 28% 数据来源：Trendforce、东方证券研究所数据来源：Trendforce、东方证券研究所 国内存储领域技术差距与海外持续缩小。DRAM领域，长鑫存储已达到1Xnm（16nm-19nm）阶段，与国际先进水平相比，虽然仍存在一定差距，但差距近年来逐步缩小。NAND领域，长江存储2022年推出232层产品已比肩国际一线大厂。 图3：DRAM领域长鑫存储与海外差距不断缩小图4：NAND领域长江存储与海外差距不断缩小 数据来源：Techinsights、东方证券研究所数据来源：Techinsights、东方证券研究所 3DNAND堆叠层数增加拉动刻蚀及薄膜沉积设备需求。集成电路2D存储器件的线宽已接近物理极限，NAND闪存已进入3D时代。3DNAND制造工艺中，增加集成度的主要方法不再是缩小单层上线宽而是增加堆叠的层数，当前叠堆层数正从96/128层向200层以上发展，层数增加导致晶圆厂对刻蚀设备需求量上升。根据东京电子统计，刻蚀设备占FLASH芯片产线资本开支比例从 2D时代的15%增长至3D时代的50%。此外，3D工艺下，刻蚀要在氧化硅和氮化硅一对的叠层结构上，加工40：1到60：1的极深孔或极深的沟槽，3DNAND层数的增加要求刻蚀技术实现更高的深宽比。 图5：3DNAND制造工艺下FLASH芯片内部层数增加图6：3DNAND中刻蚀设备资本开支占比增加 刻蚀设备薄膜沉积设备清洗设备涂胶显影设备光刻设备其他 26% 18% 50% 15% 100% 80% 60% 40% 20% 0% 2DNAND 3DNAND 数据来源：SEMI、东方证券研究所数据来源：东京电子、东方证券研究所 中微公司高深宽比刻蚀技术持续取得突破。在存储器件中，极高深宽比刻蚀是最为困难和关键的工艺，是在多种膜结构上，刻蚀出极高深宽比（>40：1）的深孔/深槽。公司自主开发了极高深比刻蚀机，该设备用400KHz取代2MHz作为偏压射频源，以获得更高的离子入射能量和准直性，使得深孔及深槽刻蚀关键尺寸的大小符合规格。 图7：中微公司目前高深宽比刻蚀技术向60:1及更高演进 数据来源：中微公司公告、东方证券研究所 薄膜沉积设备在存储中应用众多，拓荆科技国内领先。随着主流制造工艺已由2DNAND发展为3DNAND结构，结构的复杂化导致对于薄膜沉积设备的需求量逐步增加。而随着3DNANDFLASH芯片的堆叠层数不断增高，从128层逐步向更多层及更先进工艺发展，对于薄膜沉积设备 的需求提升的趋势亦将延续。拓荆科技自2010年成立就开始研制薄膜沉积设备中的最大的设备类别PECVD设备，在PECVD设备技术领域具有十余年的研发和产业化经验，并形成了覆盖全系列PECVD薄膜材料的设备，有望持续受益国内下游客户扩产。 图8：3DNAND中PECVD设备应用众多图9：DRAM中PECVD、ALD等设备应用众多 数据来源：拓荆科技公告、东方证券研究所数据来源：拓荆科技公告、东方证券研究所 投资建议 我们看好国内存储产业链潜在扩产带来的业绩弹性： 设备环节建议关注：中微公司(688012，买入)、拓荆科技(688072，买入)、北方华创(002371，未评级)、精测电子(300567，买入)、华海清科(688120，未评级)、芯源微(688037，买入)、盛美上海(688082，未评级)、中科飞测-U(688361，未评级)、万业企业(600641，增持) 材料环节建议关注：鼎龙股份(300054，未评级)、安集科技(688019，未评级)封测环节建议关注：万润科技(002654，未评级)、佰维存储(688525，未评级) 风险提示 下游资本开支不及预期、国产化率不及预期、竞争格局恶化、地缘政治风险 分析师申明 每位负责撰写本研究报告全部或部分内容的研究分析师在此作以下声明： 分析师在本报告中对所提及的证券或发行人发表的任何建议和观点均准确地反映了其个人对该证券或发行人的看法和判断；分析师薪酬的任何组成部分无论是在过去、现在及将来，均与其在本研究报告中所表述的具体建议或观点无任何直接或间接的关系。 投资评级和相关定义 报告发布日后的12个月内行业或公司的涨跌幅相对同期相关证券市场代表性指数的涨跌幅为基准 （A股市场基准为沪深300指数，香港市场基准为恒生指数，美国市场基准为标普500指数）； 公司投资评级的量化标准 买入：相对强于市场基准指数收益率15%以上；增持：相对强于市场基准指数收益率5%～15%； 中性：相对于市场基准指数收益率在-5%～+5%之间波动；减持：相对弱于市场基准指数收益率在-5%以下。 未评级——由于在报告发出之时该股票不在本公司研究覆盖范围内，分析师基于当时对该股票的研究状况，未给予投资评级相关信息。 暂停评级——根据监管制度及本公司相关规定，研究报告发布之时该投资对象可能与本公司存在潜在的利益冲突情形；亦或是研究报告发布当时该股票的价值和价格分析存在重大不确定性，缺乏足够的研究依据支持分析师给出明确投资评级；分析师在上述情况下暂停对该股票给予投资评级等信息，投资者需要注意在此报告发布之前曾给予该股票的投资评级、盈利预测及目标价格等信息不再有效。 行业投资评级的量化标准： 看好：相对强于市场基准指数收益率5%以上； 中性：相对于市场基准指数收益率在-5%～+5%之间波动；看淡：相对于市场基准指数收益率在-5%以下。 未评级：由于在报告发出之时该行业不在本公司研究覆盖范围内，分析师基于当时对该行业的研究状况，未给予投资评级等相关信息。 暂停评级：由于研究报告发布当时该行业的投资价值分析存在重大不确定性，缺乏足够的研究依据支持分析师给出明确行业投资评级；分析师在上述情况下暂停对该行业给予投资评级信息，投资者需要注意在此报告发布之前曾给予该行业的投资评级信息不再有效。 免责声明 本证券研究报告（以下简称“本报告”）由东方证券股份有限公司（以下简称“本公司”）制作及发布。 本报告仅供本公司的客户使用。本公司不会因接收人收到本报告而视其为本公司的当然客户。本报告的全体接收人应当采取必要措施防止本报告被转发给他人。 本报告是基于本公司认为可靠的且目前已公开的信息撰写，本公司力求但不保证该信息的准确性和完整性，客户也不应该认为该信息是准确和完整的。同时，本公司不保证文中观点或陈述不会发生任何变更，在不同时期，本公司可发出与本报告所载资料、意见及推测不一致的证券研究报告。本公司会适时更新我们的研究，但可能会因某些规定而无法做到。除了一些定期出版的证券研究报告之外，绝大多数证券研究报告是在分析师认为适当的时候不定期地发布。 在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见并不构成对任何人的投资建议，也没有考虑到个别客户特殊的投资目标、财务状况或需求。客户应考虑本报告中的任何意见或建议是否符合其特定状况，若有必要应寻求专家意见。本报告所载的资料、工具、意见及推测只提供给客户作参考之用，并非作为或被视为出售或购买证券或其他投资标的的邀请或向人作出邀请。 本报告中提及的投资价格和价值以及这些投资带来的收入可能会波动。过去的表现并不代表未来的表现，未来的回报也无法保证，投资者可能会损失本金。外汇汇率波动有可能对某些投资的价值或价格或来自这一投资的收入产生不良影响。那些涉及期货、期权及其它衍生工具的交易，因其包括重大的市场风险，因此并不适合所有投资者。 在任何情况下，本公司不对任何人因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负任何责任，投资者自主作出投资决策并自行承担投资风险，任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或口头承诺均为无效。 本报告主要以电子版形式分发，间或也会辅以印刷品形