2023年靶材行业研究

www.leadleo.com 2023年靶材行业研究 2023SputteringTargetIndustryResearch2023スパッタターゲット業界の研究 概览标签：半导体材料，晶圆制造，溅射靶材 报告主要作者：李姝 2023/04 报告提供的任何内容（包括但不限于数据、文字、图表、图像等）均 系头豹研究院独有的高度机密性文件（在报告中另行标明�处者除外 ）。未经头豹研究院事先书面许可，任何人不得以任何方式擅自复制 1 www.leadleo.com400-072-5588©2023LeadLeo 、再造、传播、�版、引用、改编、汇编本报告内容，若有违反上述约定的行为发生，头豹研究院保留采取法律措施，追究相关人员责任的权利。头豹研究院开展的所有商业活动均使用“头豹研究院”或“头豹”的商号、商标，头豹研究院无任何前述名称之外的其他分支机构，也未授权或聘用其他任何第三方代表头豹研究院开展商业活动。 研究目的 本报告为半导体材料系列报告，将梳理靶材的应用及竞 争情况，对整个行业发展状况做�分析。研究区域范围：全球地区 研究周期：2022年6月-2023年6月 研究对象：中国靶材行业 此研究将会回答的关键问题： ①靶材的主要产品及分类依据？ ②靶材应用于哪些领域？ ③靶材行业的市场现状？ ④靶材行业的竞争格局如何？ ⑤靶材行业有何发展趋势？ ⑥靶材厂商各自有何竞争优势？ 摘要 01 目前全球靶材市场呈现日、美等发达国家寡头垄断格局 从全球范围靶材厂商来看，由于日本、美国等发达国家由于在靶材领域起步较早，产业链较为完整，具备规模化生产能力，其营业收入规模较大。日本日矿金属是全球最 大的靶材供应商，市场份额高达30%；美国霍尼韦尔通过投资并购上游原材料生产厂后，市场份额升至20%；东曹和普莱克斯市场份额分别为20%和10%。全球靶材行业集中度 较高，CR5约为80%。 02中国是全球重要的中低端靶材生产基地，高端产品产能逐步释放 目前中国大部分靶材厂商主要生产的是低附加值的中低档靶材产品，与国际知名企业 相比，中国厂商在高纯度靶材市场影响力相对有限。受益于国家战略的大力支持，中国本土专业从事靶材研发和生产的企业不断增多，涌现�江丰电子、隆华科技、有研新材等积极参与高端靶材国际化市场竞争的厂商。目前国产高纯钼靶材、ITO靶材已实现技术突破，依靠中国原材料高纯钼粉、高纯铟等既有资源优势，中国已经具备相对有竞争力的产业优势，未来高端靶材供应的本土化进程有望进一步加快。 03 靶材在半导体领域的应用对于其性能要求最高，国产替代有望加速 靶材在平面显示领域应用占比最高，约为30%，半导体次之，约为20%。作为集成电路的关键原材料，靶材在半导体芯片领域的应用对其技术、纯度、尺寸、集成度等性能 要求最高，通常半导体靶材纯度要求通常达99.9995%（5N5）甚至99.9999%（6N）以上。随着半导体国际厂商持续在大陆设厂，晶圆厂产能逐渐向中国转移，中国半导体用靶 材需求逐渐扩张。国产半导体用超高纯度靶材市场需求有望进一步增长。 名词解释 ---------------------------------------- 06 行业综述 ---------------------------------------- 07 •定义与分类 ---------------------------------------- 08 •相关政策 ---------------------------------------- 09 产业链 ---------------------------------------- 10 •产业链图谱 ---------------------------------------- 11 •产业链上游-原材料及设备供应商 ---------------------------------------- 12 •产业链中游-靶材制造厂商 ---------------------------------------- 13 •产业链下游-应用领域 ---------------------------------------- 15 企业推荐 ---------------------------------------- 17 •江丰电子 ---------------------------------------- 18 •隆华科技 ---------------------------------------- 20 方法论 ---------------------------------------- 22 法律声明 ---------------------------------------- 23 目录 CONTENTS Terms ---------------------------------------- 06 CONTENTS OverviewofIndustry ---------------------------------------- 07 •DefinitionandClassification ---------------------------------------- 08 •RelatedPolicyAnalysis ---------------------------------------- 09 ChainAnalysis ---------------------------------------- 10 •SupplyChainOverview ---------------------------------------- 11 •Upstream：RawMaterialandEquipmentSupplier ---------------------------------------- 12 •Mid-stream：ManufacturersofSputteringTarget ---------------------------------------- 13 •Downstream：Applications ---------------------------------------- 15 RecommendedCompanies ---------------------------------------- 17 •Company1：KonfoongMaterialsInternational ---------------------------------------- 18 •Company2：LonghuaTechnologyGroup ---------------------------------------- 20 Methodology ---------------------------------------- 22 LegalStatement ---------------------------------------- 23 目录 图表1：磁控溅射的工艺原理 ---------------------------------------- 08 图表2：靶材行业相关政策，2022年 ---------------------------------------- 09 图表3：靶材行业产业链图谱，2023年 ---------------------------------------- 11 图表4：中国十种常用有色金属产量，2018-2022年 ---------------------------------------- 12 图表5：上期所有色金属价格指数(IMCI)，2023年 ---------------------------------------- 12 图表6：靶材生产流程图 ---------------------------------------- 12 图表7：中游靶材生产厂商分析，2021年 ---------------------------------------- 13 图表8：全球靶材市场构成，2021年 ---------------------------------------- 14 图表9：中国靶材行业竞争格局，2021年 ---------------------------------------- 14 图表10靶材行业主要应用领域 ---------------------------------------- 15 图表11靶材在下游各应用领域的占比，2021年 ---------------------------------------- 16 图表12靶材在半导体制造中的应用占比，2021年 ---------------------------------------- 16 图表13江丰电子营业收入情况，2018-2022年 ---------------------------------------- 18 图表14江丰电子销售毛利率，2018-2022年 ---------------------------------------- 18 图表15隆华科技营业收入情况，2018-2021年 ---------------------------------------- 20 图表16隆华科技销售毛利率，2018-2021 ---------------------------------------- 20 图表17隆华科技电子新材料产业各子公司主要产品，2021年 ---------------------------------------- 21 图表目录ListofFiguresandTables 名词解释 溅射：利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体 并沉积在基底表面的过程。 溅射靶材：在溅射过程中，高速度能的离子束流轰击的目标材料，是沉积薄膜的原材料。 ITO靶材：IndiumTinOxide，氧化铟锡靶材，是溅射靶材中陶瓷靶材（化合物靶材）的一种 TFT-LCD：ThinFilmTransistor-LCD，薄膜晶体管型液晶显示器 晶粒：内部晶胞方向与位置基本一致而外形不规则的小晶体。 晶相：通过晶体中原子中心不同方向的原子列，是"晶相取向"的简称 ©2023LeadLeo6 第一部分：行业综述 主要观点： 靶材又称“溅射靶材”，是磁控溅射沉积薄膜的材料源，广泛应用于半导体芯片、平面显示、太阳能电池、信息存储等领域；靶材按化学 成分可分为金属、合金、陶瓷靶材 国家把靶材列为重点新材料与战略性新兴产业，对靶材实施进口关税减免，鼓励推进靶材产业供应链稳定，推进中国靶材行业技术融合创新化、应用高端化、多元化、规范化 7 靶材行业综述——定义与分类 靶材又称“溅射靶材”，是磁控溅射沉积薄膜的材料源，广泛应用于半导体芯片、平面显示、太阳能电池、信息存储等领域；靶材按化学成分可分为金属、合金、陶瓷靶材 靶材的定义与分类 靶材是溅射沉积薄膜的材料源，又称“溅射靶材”。溅射工艺利用离子源产生的离子在高真空中经过加速聚集，形成高速度的离子束流进而轰击靶材的表面，被轰击的固 体成为溅射靶材。溅射靶材的种类较多，如金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材，其应用领域广泛，是半导体芯片、平面显示、光伏电池等领域必需的支撑性材料。 氩气 基底 薄膜氢原子电子 氩正离子 靶原子 等离子体 阴极（-） 抽真空 磁铁 溅射靶材 ITO靶材 二氧化硅靶材 氮化硅靶材 氧化锌靶材 氧化钛靶材 镍铬合金靶材 镍钴合金