机械行业周报2023年第26周：荷兰半导体设备出口管制靴子落地，半导体设备国产化进程提速

2023年7月3日 行业研究 荷兰半导体设备出口管制靴子落地，半导体设备国产化进程提速 ——机械行业周报2023年第26周（6.25-7.1） 要点 重点子行业观点 半导体设备：荷兰半导体设备出口管制靴子落地，国家大基金参与认购华虹半导体提速国产化进程。6月30日，荷兰政府正式颁布了有关先进半导体设备的额外出口管制的新条例（下文简称“条例”），管制措施将在今年9月1日生效。 条例明确将先进沉积设备和浸润式光刻系统列入出口管制名单，包括3类沉积系统设备和2类光刻设备，具体包括1项EUV光照保护膜生产设备、1项光刻机、1项原子层沉积设备、1项外延设备、1项LowK电介质设备及相关软件和技术。ALD、epi、PECVD等薄膜沉积设备的国产化也势在必行，涉及的公司包括拓荆科技、微导纳米、中微公司、北方华创、盛美上海等。 国家大基金参与认购华虹半导体，提速半导体行业国产替代。6月28日，华虹 半导体披露与国家集成电路产业基金II（大基金二期）签署认购协议，大基金二期作为战略投资者认购30亿元，为年内第二次向华虹半导体出资。 推荐晶盛机电，建议关注中微公司、拓荆科技、芯源微、盛美上海、微导纳米、华海清科、北方华创、精测电子、万业企业、长川科技、华峰测控、光力科技、联动科技、广立微、路维光电、江丰电子、正帆科技、富创精密、新莱应材、汉钟精机、神工股份、英杰电气、国力股份、晶升股份、金海通。 工程机械：开工仍有回升空间，产品需求有望逐步企稳反弹。5月销售各类挖掘 机16809台，同比下降18.5%，其中国内6592台，同比下降45.9%。工程机械产业链短期仍处于调整期，销量下滑与原材料成本相对高位的双重压力对工程机械企业的盈利能力提出挑战；但在新一年国内稳增长的大环境下，基建与地产投资有望边际改善，工程机械国内销量降幅有望逐步收窄，全面好转还有待于观 察基建及地产投资恢复程度，以及存量机器的消化程度。维持推荐三一重工、中联重科（A/H）、徐工机械、恒立液压等龙头。 通用设备：机床行业主要经济指标恢复至去年同期水平，人形机器人产业化提速 6月28日，北京市人民政府办公厅印发《北京市机器人产业创新发展行动方案（2023—2025年）》，提出加紧布局人形机器人，对标国际领先人形机器人产品。随着人形机器人产业化提速，核心零部件需求提升，国内成熟零部件厂商将深度受益。 机床行业建议关注科德数控、海天精工、拓斯达、纽威数控、国盛智科、浙海德曼；刀具建议关注欧科亿、华锐精密、中钨高新。机器人核心零部件建议关注绿的谐波、中大力德、步科股份、昊志机电、禾川科技、鸣志电器、江苏雷利。光伏设备：硅料硅片价格触底，电池片与组件缓跌。太阳井HJT铜互连大试线成功验收，意味着太阳井首创的HJT低成本铜制程方案从实验室到产业化的转 化落地，将助力HJT技术的大规模产业化进程。光伏镀铜行情发展演绎至关注HJT行业大β与自身突破的阶段，24H1是HJT电池片大规模中试量产线跑通投产关键时点，产业化早期“锦上添花”式Cu-HJT迎来应用机遇。极电光能在0.72m²钙钛矿量产组件上创造了17.18%的全面积效率，充分体现钙钛矿量产技 术的可行性。推荐迈为股份，建议关注捷佳伟创、微导纳米、京山轻机、金晶科技、德沪涂膜、芯碁微装、苏大维格、东威科技、罗博特科、德龙激光。 锂电设备：复合铜箔首张订单陆续落地，产业化趋势明确。截至2023/6/30，近 一年锂电设备指数跌幅达41.74%。双星新材、万顺新材复合铜箔首单纷纷落地，复合铜箔产业化预计加速。推荐东威科技，建议关注骄成超声、宝明科技、元琛科技。 风电设备：海风深远海进程加速，浮式风机迎来发展契机。建议关注亚星锚链、东方电缆、中天科技、长盛轴承、双飞股份、大金重工、明阳智能。 风险分析：宏观经济波动风险；基建投资不及预期的风险；国际贸易摩擦的风险； 市场竞争加剧的风险。 机械行业 买入（维持） 作者分析师：杨绍辉 执业证书编号：S0930522060001021-52523860 yangshaohui1@ebscn.com 分析师：陈佳宁 执业证书编号：S0930512120001 021-52523851 chenjianing@ebscn.com 联系人：林映吟 linyingyin@ebscn.com 联系人：李佳琦 lijiaqi@ebscn.com 行业与沪深300指数对比图 30% 10% -10% -30% 22/0622/0922/1223/03 机械行业沪深300 资料来源：Wind 相关研报 北方华创12英寸立式炉第500台出厂，且中标 华虹无锡项目1台刻蚀设备 ——机械行业周报2023年第24周（6.11-6.17硅料硅片价格跌幅大，光伏装机需求有望提升 ——机械行业周报2023年第23周（6.4-6.10）广东省持续推进“广东强芯”工程，本土晶圆厂扩产持续 ——机械行业周报2023年第22周（5.28-6.3）日本半导体设备出口限制靴子落地，N型组件替代P型全面开启 ——机械行业周报2023年第21周（5.21-5.27国内光伏新增装机超预期，英国宣布半导体投资计划可见科技主权之争持续 ——机械行业周报2023年第20周（5.14-5.21国资委要求央企加大新兴产业布局，半导体设备国产替代加速推进 ——机械行业周报2023年第19周（5.7-5.13）国内半导体设备公司23Q1业绩逆势上行，科技仍是投资主旋律 ——机械行业周报2023年第18周（4.30-5.6） 目录 1、行业观点更新5 2、新股动态11 3、重点数据跟踪12 4、风险提示18 图目录 图1：PMI指数回落至荣枯线以下（%）7 图2：企（事）业单位中长期贷款金额及增速7 图3：基建投资有所反弹，地产投资景气仍处低位12 图4：2023年5月份房屋新开工面积累计同比下滑22.6%12 图5：挖掘机月度销量变化12 图6：挖掘机销量同比变化12 图7：挖掘机国内销量变化12 图8：挖掘机国内销量同比变化12 图9：挖掘机出口销量变化13 图10：挖掘机出口销量同比变化13 图11：挖掘机出口占比逐年提升13 图12：挖掘机开工小时仍处于相对低位13 图13：2023年5月份美国CPI同比+4.0%，2023年5月中国CPI同比+0.2%13 图14：2023年6月份PMI指数降至荣枯线以下（49.0%）14 图15：2023年5月份全部工业品PPI指数同比-4.6%14 图16：2023年1-5月制造业固定资产投资额累计同比+6.0%14 图17：2023年1-5月份金属切削机床产量累计同比-2.0%14 图18：2023年5月份工业机器人当月产量同比+3.8%14 图19：中国新能源车销售渗透率2023年5月为30.1%15 图20：2023年5月份新能源汽车销量当月值71.7万辆15 图21：2023年5月份新能源汽车销量当月同比+60%15 图22：2023年5月份新能源乘用车产量66.8万辆，同比+54.6%15 图23：2023年5月份新能源乘用车零售销量58.0万辆15 图24：2023年5月新能源乘用车批发销量67.3万辆，同比+59.9%16 图25：2023年5月份新能源乘用车零售销量同比+60.9%16 图26：2023年5月份动力电池装车量当月值28.2GW16 图27：2023年5月份动力电池装车量当月同比+52.1%16 图28：截至2023/6/28，多晶硅致密料均价64元/kg16 图29：截至2023/6/28，本周单晶182硅片价格与上周持平（元/片）16 图30：截至2023/6/28，光伏电池片价格持续下降（元/W）17 图31：截至2023/6/28，光伏组件价格持续下降（元/W）17 图32：截至2023/6/30，Myspic综合钢价指数较22年6月初下跌20%17 图33：2023年5月份风电新增并网容量2.16GW17 图34：2023年1-5月份风电新增并网容量16.36GW17 图35：2017-2023Q1国内各季度风电公开招标量18 表目录 表1：ALD的特征、对薄膜沉积的内在影响及其实际应用中的优势5 表2：挖掘机销售数据（单位：台）6 表3：一周IPO统计表11 表4：行业重点上市公司盈利预测、估值与评级18 1、行业观点更新 半导体：荷兰半导体设备出口管制靴子落地，国家大基金参与认购华虹半导体提速国产化进程。 荷兰半导体设备出口管制靴子落地，中国驻荷兰大使馆发言人表示坚决反对。6月30日，荷兰政府正式颁布了有关先进半导体设备的额外出口管制的新条例（下 文简称“条例”），管制措施将在今年9月1日生效。条例明确将先进沉积设 备和浸润式光刻系统列入出口管制名单，包括3类沉积系统设备和2类光刻设备，具体包括1项EUV光照保护膜生产设备、1项直接步进式芯片或扫描仪设备、1项原子层沉积设备、1项外延设备、1项LowK电介质设备及相关软件和技术。对中国而言，条例受影响企业ASML和ASMInternational对华特定先进半导体制造设备的出口须得到荷兰对外贸易与发展合作部授权许可，国内半导体行业供应链布局和稳定性受到影响。中国商务部新闻发言人表示坚决反对，中方强调，荷兰政府正式出台半导体制造设备的出口管制措施，这是对出口管制措施的滥用，是对自由贸易和国际经贸规则的严重背离，外交部发言人毛宁表示对此中方将保持密切关注，坚决维护自身合法权益。 国家大基金参与认购华虹半导体，提速半导体行业国产替代。6月28日，华虹半导体披露与国家集成电路产业基金II（大基金二期）签署认购协议，大基金二期作为战略投资者认购30亿元，为年内第二次向华虹半导体出资。2023年以来，大基金二期已多次注资蕊源科技、广钢气体和兴福电子等企业，并于今年将投资于士兰微和晶瑞电材旗下子公司，以助力高精尖技术研发和半导体产业链生态形成，推动半导体设备产业化和国产化。 半导体制造工艺进步，原子层沉积（ALD）技术是关键。ALD技术具备沉积薄膜厚度的高度可控性、优异的均匀性和三维保形性三大优势，在半导体先进制程应用领域彰显优势，特别适合复杂形貌、高深宽比沟槽表面的薄膜沉积，被广泛应用于High-K栅介质层、金属栅、铜扩散阻挡层等半导体先进制程领域。SEMI预测，受益于半导体先进制程产线数量增加，2020年至2025年全球ALD设备市场规模（以销售额计）CAGR将达到26.3%，远高于PVD和PECVD设备的增速，市场空间可观。目前，我国在ALD领域进展较大的有拓荆科技、北方华创和微导纳米。 表1：ALD的特征、对薄膜沉积的内在影响及其实际应用中的优势 ALD特征 对薄膜沉积的内在影响 实际应用中的优势 自限制的表面反应 薄膜厚度只取决于循环次数 精确控制薄膜厚度，形成达到原子层厚度精度的薄膜 前驱物是交替通入反应室 精确控制薄膜成分，避免有害物质的污染 前驱体是饱和化学吸附 很好的台阶覆盖率及大面积厚度均匀性 连续反应 薄膜无针孔、密度高 窗口温度较宽 不同材料的沉积条件稳定匹配 可以沉积多组分纳米薄层和混合氧化物；薄膜生长可以在低温（室温到400℃）下进行；可以广泛适用于各种形状的衬底。 资料来源：中国真空学会《真空科学与技术学报》，光大证券研究所 我们建议关注的主线有二：1、海外对华禁止性条款加剧，ASML光刻机禁运的市场预期落地，利空出尽，叠加利好集成电路产业发展的政策密集出台，我国半导体设备国产替代加速，推荐晶盛机电，建议关注盛美上海、拓荆科技、中微公司、北方华创、华海清科、万业企业、芯源微、微导纳米、广立微、精测电子。2、关注国内成熟的半导体零部件和材料企业，建议关注个股：专注射频电源的英杰电气、国力股份，IGS领域的新莱应材、正帆科技，制造金属零部件（金属喷淋头、气体管路等）的富创精密、江丰电子。另外建议关注长川科技、华峰测 控、光力科技、联动科技、路维光电、汉钟精机、神工股份、晶升股份、金海通。工程机械：开工仍有回升空间，产品需求有