异质结铜电镀设备进展简报–20230522
异质结铜电镀设备进展简报 罗银兵-罗博特科光伏事业部技术总监 0会议要点1 Qÿ公ø简介 Aÿ罗博特科ÿ股票代码ÿSZ300757Ā创立于2011Ā 是一家研v高端自ú化装备和基于5G+工业互联网术的智能v 执行系统ð件的高新术企业Ā全球研发中心分 _在中ÿ和德ÿ2公ø拥p完整的研发1设计1装配1测试1销售和服á体系Ā~Z伏电池1电子及半导体领域提供柔性1智能1高效的高端自ú代化装备及v 执行系统 ð件2目前罗博特科工厂面积89000方米Ā现p员工700人Āw中术人员占比60%以P2 Qÿ公ø发展历程 Aÿ 1）2011年-2016年工厂自动化设备阶段：工厂自ú化设备阶段依托公ø创始人专业术出身Ā并深耕Z伏工艺设备贸易多Ā罗博特科自r立以来Ā专注从Ï自ú化设备研vĀ凭借Pÿ内外Z伏工艺设备商及Q游Z伏企业的良好沟通Ā快在电池片v 领域形r了覆盖全工序段的自ú化心产品的Y发优势Ā2014公ø就交付了业界第一 ę高密度低压扩散自ú化设备并独创性地推出了运用陶瓷材料v作|盘的术和产品2 2）2016年-2020年智能工厂整体解决方案的阶段：公ø敏锐地关注到了工业生产向智能化转型的契机Ā2016公ø投资参股南京维思凯ð件公øĀ开始_局智能工厂整体解决方案Ā2017rß交付世界首条250MW全智能电池片智能生产线ÿ通威r都项目ĀĀ2018Ā公ørß交付世界首个3.5GW电池片智能工厂ÿ爱旭义乌项目ĀĀ2019公ørß在创业板d牌P^Āk式登录资本^场Ā同时也开启了Robo2.0时代2 3）2020年至今工业互联与工业人工智能应用阶段ÿ2020 公ø牵头完r了ü德ÿFiconTEC的并购Ā从而进入半导体及Z电子领域Ā同时完r了全新的超高产能自ú化设备ÿRKęĀ和全新的第Ð代智能v 系统R2-Fab的开 发Ā在术迭代层面也是一个比较大的更新或者突破2总体来说Ā公ø过去及未来的发展始终秉<~客户提高生产效率Ā降低生产r本和提升良率=的宗旨ĀO断更新迭代s们的术和产品2 Qÿ公ø战略_局 Aÿ在Z伏电池片自ú化1智能化领域s们始终是在引领和推ú行业术的O断发展Ā因l公ø在Z伏电池自ú化设备领域一直保c着行业领Y的^场占p率2随着公ø的O断发展Ā公ø逐m明确了以<清洁能源+泛半导体=双ï驱ú的发展战略2一方面Ās们将Z伏自ú化1智能化业á作~s们的基本盘来打 2在横向层面Ās们将紧跟着Z伏电池术迭代趋势Ā适时推出xp竞争性的高效电池配套心设备及整体解决方案Ā在纵向层面Ās们将向Z伏电池全流程及wPQ游O断拓展Ā~客户提供高度集r的全产业链智能v 解决方案Ā两个方向Ās们都将c续保c创新Ā引领行业术和产品革命重新定义离线1多 工艺1多产品标准柔性自ú化ę2深耕Z伏行业同时Ā公ø将借û多的战略_局和资本运作Ā迅进入Z电子Ā半导体高端装备行业Ā泛半导体业á将~公ø打 第Ð增长曲线2 QÿZ伏电池解决方案铜电镀设备金属化r本降低路径 Aÿ金属化r本降低路径包括ÿ降银即多栅/无栅/激 Z转印/银包铜Ā去银即铜电镀Ā以及大产能1低能耗和设备整合2 QÿĀ形化ÿ电镀工艺路线 Aÿ多种组合工艺路线并行Ā性能1r本综合来选择合适工艺路线以及工艺路线及合理整合并线Ā降低r本2罗博插片式电镀工艺路线包括ÿ1Ā自úP料1除油1水洗1酸洗1镀铜1水洗1酸洗1镀锡1水洗1]~1自úQ料Ā2Ā退镀P料1退镀1水洗1]~1退镀Q料1自úP料2 Qÿ厂á及材料r本测算ü比 Aÿ罗博RTA-CPH/24000-1GWV铜电镀厂á及材料r本 测算2HJT印w规格18mg/W112mg/Wr本0.11 元/W10.08元/WĀ12mg30%银包铜1电镀铜ü应r本0.06元/W10.05元/WĀTOPCon印wr本0.05元/W2整 体而言Ā电镀方案较印w方案每瓦预计r本降低0.01-006元/WĀ1GW总计降低1000-6000万2效率提升Ā预计0.3-0.5%2 Qÿ罗博插片式电镀工艺路线机推荐Āÿ升级量产机型2 Aÿ工艺路线ÿ去油1水洗11水洗21酸洗(ÿ跳过)1镀铜1水洗11水洗21酸洗(ÿ跳过)1镀锡1水洗11水洗21烘~1Q料1退镀1水洗11水洗21烘~1P料2区别于传统的垂直升降式电镀1垂直连续电镀1水电镀术方案Ā公ø独创了全新的量产型铜电镀方案Ā从源头P解决了目前生产中产能低1运营r本高等痛点Ā这种插片 式太阳能电池片铜电极电镀装置及方法已在申请专利2目前公ø提供的电镀铜方案要是基于HJT路线Āw在TOPCon方向P的延展性应用也在考虑范围内2公ø已于202212o完r了业界首创新型异质结电池铜电镀装备交付Ā后续将P合作客户一起完r设备的安装调试及工艺测试P优化工作Ā并将c续à快推进该业á领域的量产化进程2 Qÿ铜电镀机型规格型÷ Aÿ罗博O种电镀机型规格及参数2规格型÷ 1）RTA-CPH-2000/14000：规格210*105半片Ā中试 线2000Ā量产线14400Ā产能600MWĀ量产线尺û 65*9=585m22 2）RTA-CPH-4000/24000ÿ规格210*105半片Ā中试 线4000Ā量产线24000Ā产能1GWĀ量产线尺û60*7.8=468m22 3）RTA-CPF-3000/15000：规格182/210整片Ā中试线 3000Ā量产线15000Ā产能1.25GWĀ量产线尺û 60*7.8=468m22
