公司首次覆盖报告：新股报告，半导体质量控制设备领军企业，国产替代空间广阔

公司深度报告 2023年05月19日 中科飞测（688361.SH）新股报告：半导体质量控制设备领军企业，国产替代空间广阔 公司首次覆盖报告 公司简介 公司专注于检测和量测类半导体专用质量控制设备领域，目前产品能够应用于28nm及以上制程的半导体制造产线，应用客户包括中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等。2022年公司收入5亿元,近三年CAGR达46.4%。2020年以来,公司检测设备产品收入快速增长,主要由于无图形晶圆缺陷检测设备检测精度提高、功能不断优化带来的量价齐升，图形晶圆缺陷检测设备的增长也得益于下游客户需求增长及升级型号的推出，同时公司的纳米图形检测设备在积极研发中；公司量测设备产品线也在不断完善，部分新产品处于研发和验证中阶段。 核心看点 质量控制环节贯穿于集成电路生产全过程,质控设备行业高速发展,未来国产替代空间广阔。根据VLSIResearch统计，2020年全球半导体检测和量测设备市场规模达76.5亿元，2016-2020年市场规模年复合增长率为12.6%。2020年我国大陆半导体检测与量测设备市场规模约21亿美元，占全球规模的27.4%，2016-2020年市场规模CAGR达24.3%目前行业整体呈现国外设备企业垄断的格局，2020年科磊半导体份额占全球50.8%，前五大公司均来自美国和日本，合计占比超80%。我国半导体检测与量测设备的国产化率较低，2020年科磊占据我国54.8%的市场规模。公司作为国内半导体质量控制设备领先企业，凭借优质的客户资源、长期的技术积累和本地化快速响应的服务能力，有望充分受益于质控设备行业的快速发展和国产替代趋势。 公司目前的业务规模、制程工艺先进性及产品线覆盖广度较海外企业仍有一定差距，但与国内企业相比，当前公司业务规模、客户接受度领先于国内同行可比公司。国际巨头普遍能够覆盖2Xnm以下制程，先进产品已经应用在7nm以下制程,公司产品主要应用于国内28nm及以上制程产线。公司已有多台设备在28nm产线通过验收，另有对应1Xnm产线的SPRUCE-900型号设备正在研发中，对应2Xnm以下产线的DRAGONBLOOD-600型号设备正在产线进行验证，并已取得两家客户的订单。从国内主流厂商招投标结果来看，2021年公开招标前道检测及量测设备185台，公司中标设备14台，国内主要竞争对手中标设备1台，体现公司在本土市场中较有一定的竞争优势。 投资建议 公司作为国内半导体质量控制设备领先企业，凭借优质的客户资源、长期的技术积累和本地化快速响应的服务能力，有望充分受益于半导体产业向大陆转移趋势，以及国家政策大力支持下半导体质控设备行业的快速发展。首次覆盖，给予“推荐”评级。 风险提示 技术研发不及预期，市场开拓不及预期。 评级推荐（首次覆盖）报告作者 作者姓名彭琦 资格证书S1710522060001 电子邮箱pengq887@easec.com.cn 股价走势 基础数据总股本(百万股) 320.00 流通A股/B股(百万股) 0.00/0.00 资产负债率(%) 66.29 每股净资产(元) 0.00 市净率(倍) 0.00 净资产收益率(加权) 0.00 12个月内最高/最低价 0.00/0.00 相关研究 公司研究 ·中科飞测 ·证券研究报告 盈利预测 项目(单位：百万元） 2022A 2023E 2024E 2025E 营业收入 509.24 757.79 1039.30 1307.67 增长率（%） 41.24 48.81 37.15 25.82 归母净利润 11.74 26.40 75.39 137.71 增长率（%） -78.02 124.81 185.58 82.66 EPS（元/股） 0.05 0.11 0.31 0.57 市盈率（P/E） 472.00 214.54 75.13 41.13 市净率（P/B） 9.96 9.51 8.44 7.01 资料来源：Wind，东亚前海证券研究所预测，基于发行定价23.6元 正文目录 1.公司：半导体检测及量测设备领域领先企业4 2.行业：海外龙头寡头垄断，国内企业力求突破7 3.募投项目：专注于提升在半导体质量控制设备领域实力9 4.风险提示9 图表目录 图表1.公司发展历程4 图表2.2022年公司客户贡献收入占比4 图表3.主要检测技术对比5 图表4.公司产品线占比5 图表5.公司收入情况6 图表6.公司归母净利润及净利率6 图表7.公司毛利率及净利率6 图表8.公司费用率水平6 图表9.公司营运能力6 图表10.公司ROA/ROE6 图表11.公司股权结构（截至2023年4月27日）7 图表12.核心技术团队7 图表13.全球半导体检测和量测设备市场规模7 图表14.全球半导体检测和量测设备格局7 图表15.22年各检测及量测设备占全球总销售额比例8 图表16.国内主流厂商招投标情况8 图表17.2021年收入对比8 图表18.公司募投项目9 1.公司：半导体检测及量测设备领域领先企业 公司基本情况 公司专注于检测和量测两大类半导体专用质量控制设备领域，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，目前能够应用于28nm及以上制程的半导体制造产线，应用客户包括中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等。 图表1.公司发展历程 资料来源：招股说明书，东亚前海证券研究所 图表2.2022年公司客户贡献收入占比 资料来源：招股说明书，东亚前海证券研究所 质量控制贯穿集成电路制造全过程，包括前道检测、中道检测和后道测试。前道检测和中道检测主要通过光学和电子束等非接触式手段进行质量控制的检测，其中前道检测主要针对光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗、CMP等环节，中道检测主要针对重布线结构、凸点与硅通孔等环节；后道测试主要利用接触式的电性手段对芯片进行功能和参数测试。 应用于前道和中道的质量控制工艺可分为检测和量测两大环节。检测指在晶圆表面上或电路结构中，检测其是否出现异质情况；量测指对晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述。检测和量测包括光学检测技术、电子束检测技术和X光量测技术等路径，公司主要采用市场主流的光学检测技术，光学检测技术相较于后两种技术具有检测速度快、经济性强、应用范围广等特点，是目前半导体质量控制主要依赖的技术，未来有望通过持续提高光学分辨率，并结合图像信号处理算法等实现技术突破，进一步提升并增强技术优势。 图表3.主要检测技术对比 资料来源：招股说明书，东亚前海证券研究所 公司主要收入来自检测和量测两类质量控制设备，同时也对少量氙灯、光源设备耗材等备品进行销售，并提供设备维护及改造等技术服务。2020年以来,公司检测设备产品收入快速增长,主要由于无图形晶圆缺陷检测设备检测精度提高、功能不断优化带来的量价齐升,同时图形晶圆缺陷检测设备的增长也得益于下游客户增长及升级型号的推出;公司量测设备产品线也在不断完善,部分新产品处于研发和验证中阶段。 图表4.公司产品线占比 资料来源：Wind，东亚前海证券研究所 财务分析 公司的收入持续增长主要得益于质量控制设备量价齐升的趋势，2020年以来公司多个新型号设备成功推向市场，同时市场对公司产品认可度不断提高。 图表5.公司收入情况图表6.公司归母净利润及净利率 资料来源：Wind，东亚前海证券研究所资料来源：Wind，东亚前海证券研究所 2020年起公司归母净利润开始扭亏为盈，毛利率整体呈改善趋势。2020年无图形晶圆缺陷检测设备放量及单价提升带动了公司收入高速增长及归母净利润扭亏为盈。2022年毛利率略有放缓主要由于量测设备毛利率下降导致，净利率承压主要受到三费攀高影响，尤其是研发费用投入较大所致。 图表7.公司毛利率及净利率图表8.公司费用率水平 资料来源：Wind，东亚前海证券研究所资料来源：Wind，东亚前海证券研究所 图表9.公司营运能力（天）图表10.公司ROA/ROE 资料来源：Wind，东亚前海证券研究所资料来源：Wind，东亚前海证券研究所 股权结构及核心技术团队 截至2023年4月27日，实际控制人CHENLU、哈承姝通过苏州翌流明持有公司15.75%的股份，苏州翌流明为小纳光（持股7.86%）执行事务合伙人，同时，哈承姝直接持有公司6.93%股份。两位实际控制人合计持有公司30.54%的股份。公司经历了五轮融资，投资人包括深创投、中芯国际、哈勃投资等机构。 图表11.公司股权结构（截至2023年4月27日） 资料来源：公司招股说明书，东亚前海证券研究所 公司的核心技术人员稳定，均有中科院微电子所任职背景，具有深厚的资质和专业积累。公司与中科院微电子研究所合作深入，截至2022年12月31日，公司共有研发人员324人，占公司员工人数43.03%。 图表12.核心技术团队 资料来源：招股说明书，东亚前海证券研究所 2.行业：海外龙头寡头垄断，国内企业力求突破 根据VLSIResearch的统计，2020年全球半导体检测和量测设备市场规模达76.5亿美元，2016-2020年市场规模年复合增长率为12.6%。2020年我国大陆半导体检测与量测设备市场规模约21亿美元，占全球规模的27.4%，2016-2020年市场规模CAGR达24.3%。目前行业整体呈现国外设备企业垄断的格局，2020年科磊半导体份额占全球50.8%，前五大公司均来自美国和日本，合计占比超80%。我国半导体检测与量测设备的国产化率较低，2020年科磊占据我国54.8%的市场规模。 图表13.全球半导体检测和量测设备市场规模图表14.全球半导体检测和量测设备格局（2020） 资料来源：VLSIResearch，东亚前海证券研究所资料来源：VLSIResearch，东亚前海证券研究所 在全球半导体检测和量测设备中，检测设备包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、掩膜检 测设备等；量测设备占比为33.5%，包括三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备（晶圆介质薄膜量测设备）、套 刻精度量测设备、关键尺寸量测设备、掩膜量测设备等。公司产品线目前已涵盖的设备对应的市场份额占全部检测和量测设备市场规模的27.2%，正在积极研发纳米图形晶圆缺陷检测设备、晶圆金属薄膜量测设备等其他型号的设备，其对应的市场份额约为25%。 图表15.22年各检测及量测设备占全球总销售额比例 资料来源：招股说明书，东亚前海证券研究所 从我国竞争格局来看，国外竞争对手在我国半导体检测和量测设备市场中处于寡头垄断地位，本土企业整体份额较低。公司主要的国内竞争对手为上海睿励和上海精测，根据公司招股说明书，2020年公司在内陆市场市占率约为1.74%，上海睿励和上海精测在中国大陆的市场占有率分别为0.15%和0.42%，整体份额较小。 公司目前的业务规模、制程工艺先进性及产品线覆盖广度较海外企业仍有一定差距，但与国内企业相比，当前公司业务规模、客户接受度领先于国内同行可比公司。国际巨头普遍能够覆盖2Xnm以下制程，先进产品已经应用在7nm以下制程。公司产品主要应用于国内28nm及以上制程产线。公司已有多台设备在28nm产线通过验收，另有对应1Xnm产线的SPRUCE-900型号设备正在研发中，对应2Xnm以下产线的DRAGONBLOOD-600型号设备正在产线进行验证，并已取得两家客户的订单。从国内主流厂商招投标结果来看，2021年公开招标前道检测及量测设备185台，公司中标设备14台，国内主要竞争对手中标设备1台，体现公司在本土市场中较有一定的竞争优势。 图表16.国内主流厂商招投标情况图表17.2021年收入对比 资料来源：招股说明书，东亚前海证券研究所资料来源：公司公告，东亚前海证券研究所 目前半导体不断向先进制程发展，未来随着产品制程步骤越来越多，生产成本