国产化迫在眉睫，半导体产业刻蚀等工艺设备的核心零部件　 #转发资料，不代

国产化迫在眉睫，半导体产业刻蚀等工艺设备的核心零部件 #转发资料，不代表个人观点# 摘要：1、刻蚀等工艺设备核心零部件之一，技术壁垒较高2、在半导体设备中成本占比显著，美系厂商垄断3、Gμo产设备长期空间巨大，零部件ShΙ场有望随之快速成长 正文： 兴业证券指出，射频电源作为刻蚀等工艺设备核心零部件之一，技术壁垒高，成本占比较大，但当前主要被美系厂商垄断，Gμo产替代迫在眉睫。 1、射频电源为刻蚀等工艺设备核心零部件之一，技术壁垒较高 射频电源作为用来产生等离子体的高频交变电源，广泛应用于刻蚀、PECVD、等离子体清洗去胶、射频溅射、PEALD等半导体制造设备。射频电源极大程度上决定了产生离子的浓度、均匀度、稳定性，是刻蚀等工艺设备的核心零部件之一，需要满足高功率、高效率、精准的频率 控制精度、较短的匹配时间等要求，技术壁垒较高，且随着制程演进对射频电源的要求也仍在不断提高。 2、射频电源在半导体设备中成本占比显著，美系厂商垄断 射频电源是刻蚀设备、PECVD设备等工艺设备的核心零部件之一，在采购成本中占比显著2022年全球ShΙ场规模估测约在20-30亿美元。射频电源行业主要由积累深厚的海外龙头主导，尤其是美Gμo的MKS和AE两家厂商垄断ShΙ场Gμo产厂商此前技术能力和下游土壤都较为欠 缺，因此ShΙ占率极低。 3、Gμo产设备长期空间巨大，零部件ShΙ场有望随之快速成长 Gμo内晶圆厂持续扩产，中芯Gμo际成熟制程产能规划巨大，且扩产的意志和决心坚定，预计未来两三年扩产幅度和姿本开支都较为积极，存储厂虽然部分厂商由于美Gμo限制而影响短期扩产，但中长期产能提升的空间和意志不改。 在当前半导体产业各地区脱钩趋势下，Gμo内晶圆厂存储厂扩产空间巨大，且自主可控重要性愈发凸显，设备Gμo产化比例有望快速提升，因此本土设备厂商面临的长期Gμo产化空间显著而上游零部件ShΙ场也将随之快速成长。 4、射频电源Gμo产替代迫在眉睫，优质厂商有望迎来突破放量 半导体设备上游的零部件环节的供应稳定性也在逐渐面临越来越大的风险，因此设备厂商对于零部件自主可控的紧迫性也愈发凸显，尤其是射频电源这种Gμo内厂商此前突破较少、卡脖子情况严重的环节，随时面临美系厂商断供风险，因此设备厂商对于Gμo产供应商的导入尤为急切。 Gμo内以英杰电气为代表的部分优质供应商经过多年积累，以及在近两年下游客户快速增强的意愿和积极的配合之下，逐渐取得了良好的进展，部分产品在客户端验证已取得很好的结果，有望迎来订单和销售的突破和放量。 5)核心公司 核心公司：英杰电气、恒运昌(未上ShΙ) 脱水君点评：英杰电气的实际流通pαn比较小，还是比较容易控pαn的，这种情况最好按照成本法跟主力去博弈，性价比会高一些，Gμ价有机会回调到前天大阳线底部附近的时候，再去博弈短线机会，安全性会高一些。