本报告主要分析了前道检测与量测设备市场空间大，已进入放量前夜。检测与量测设备是集成电路制造核心设备之一，是保证芯片良率的关键。2022年国内检测与量测市场空间约200亿元，受制于科磊、应用材料等美系厂商，美系厂商在国内占到接近2/3的市场份额，仅科磊一家公司便占到55%市场份额。美国10月份的芯片管制新规直接导致国内长江存储、合肥长鑫等产线扩产规划受阻，相关厂商如果未来想在此次新规限制的技术范畴内扩产，检测量测设备的突破将成为关键的一环。根据我们的测算，国内头部厂商精测电子、中科飞测、上海睿励2021年在国内检测量测设备合计市场份额仅不足3%，行业国产化率未来3-5年至少10倍级提升空间。目前，头部厂商已有放量势头，精测电子2021年12月1日至2022年11月11日仅某单一大客户半导体检测量测设备新签订单就已达到约3.4亿，相当于今年前三季度该部分营收的3倍以上；中科飞测2021年底在手订单金额达到10亿元，是2020年底的约4倍。检测与量测赛道先发优势明显，精测电子等头部厂商确定性强。检测量测设备硬件技术壁垒高，下游验证流程长、成本高，且功能的实现依赖数据积累和算法设计，头部厂商数据积累丰富，更具备优势，并且设备需要持续升级迭代，头部厂商依赖与下游头部晶圆厂的紧密合作能够第一时间了解下游客户最新工艺需求，保持技术的持续领先。因此，我们认为当前精测电子、中科飞测等头部检测与量测设备厂商有望持续保持领先优势，是未来检测量测国产化替代最大的受益者，具有高度确定性。未来国内检测量测设备龙头厂商将受益多维度成长：1）已有产品放量：精测电子等头部厂商已有产品国内市场空间均在百亿级别，当前精测电子等三家厂商合计仅5亿左右收入体量，未来放量空间广阔。2）新产品带来增量空间：目前前道检测与量测设备主要的产品类别有14种，精测电子等国内头部厂商每家仅能覆盖3-5种，但目前各家厂商均在持续推进新产品研发、认证，未来产品品类拓展能带来的增量空间广阔，将不断贡献新成长曲线。3）盈利能力提升：对标KLA最近财年60%毛利率、30%净利率的盈利水平，国内精测电子等厂商随业务起量盈利能力仍有广阔提升空间。4）长期服务收入起量：检测量测设备平均使用寿命12年（以KLA为例），随设备装机量提升服务收入将成为重要业绩增量来源，KLA服务收入占总收入比重超过20%。复盘海外龙头：KLA 2010年以来股价实现约24倍增长。半导体设备厂商商业模式优异，
