业务规模持续扩张，专精刻蚀成长可期

事件：中微公司发布2022年三季报，前三季度，公司实现营收30.43亿元，同比增长46.81%；归母净利润7.93亿元，同比增长46.34%；扣非后归母净利润6.44亿元，同比增长290.43%。 ICP刻蚀设备发力，驱动营收快速增长：2022年前三季度中微公司营收30.43亿已接近去年全年水平。按产品分类，MOCVD设备收入3.88亿元，同比增长27.70%；CCP刻蚀设备收入14.51亿元，同比增长29.27%；ICP刻蚀刻蚀设备收入5.51亿元，同比增长139.33%，贡献增长最强动力。公司集成电路业务占比持续提升，ICP刻蚀领域扩张成效显著。 设备自主化需求波切，公司订单量维持高位：为规避海外风险，国内晶圆厂加大国产设备采购力度，公司接单量高速增长。公司2022年前三季度新签合同额达56.40亿元，同比增长60.24%。公司Q3季末合同负债额19.69亿元，存货金额32.40亿元，在手订单饱满，为长期业绩提供有力支撑。 密集研发投入瞄准高难度刻蚀领域：公司Q1至Q3累计研发投入5.90亿元，同比增长29.75%，占营收比例19.40%，继续保持较高水平。同期海外限制措施收紧，国内对高深宽比介质刻蚀设备的需求迫切。中微公司的高深宽比刻蚀设备已有较大进展，持续研发投入有助于尽快完成工艺验证，实现自主可控，并获得高毛利率设备的市场份额。 投资建议：综合考虑限制措施对国内半导体产业影响，公司在手订单情况，公司核心技术目前的研发进度 ，我们预计公司2022-24年营收为44.21/60.88/81.06亿元,归母净利润分别为10.99/14.43/19.34亿元，对应PE为61.73/47.01/35.08倍，给予“增持”评级。 风险提示：半导体市场下行周期叠加海外供应风险，国内晶圆厂设备采购放缓；高端产品研发进度不及预期；行业竞争加剧。