【德邦电子】大空间+低国产化率，国产量测设备腾飞在即量检测设备是

【德邦电子】大空间+低国产化率，国产量测设备腾飞在即 量检测设备是晶圆制造中的重要质量控制设备 应用于前道制程和先进封装的质量控制根据工艺可细分为检测和量测两大环节。 检测指在晶圆表面上或电路结构中，检测其是否出现异质情况；量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述。量检测设备全球市场空间较大 2022年全球半导体前道制造设备市场销售额预计为1010亿美元。 量检测等工艺控制设备在半导体设备中占比为11%，我们预计2022年全球量检测设备的市场规模为111亿美元，预计2022年中国大陆的量检测设备市场规模在31亿美元。 量检测设备国产化率很低，未来有较大国产化空间 根据我们的测算，2021年，中科飞测、上海精测、上海睿励三家国产量检测公司的半导体设备营收为5.13亿元，占中国大陆的市场份额为 2.7%，显示量检测设备目前的国产化率很低，而未来的潜在国产化空间较大。 国产量检测公司逐步取得突破 中科飞测的无图形晶圆缺陷检测设备和三维形貌量测设备已适用于2Xnm或以上制程工艺，套刻精度量测设备也有28nm以下产品在客户产线验证中。 精测半导体布局了晶圆缺陷检测、关键尺寸测量、膜厚测量、形貌量测等多个产品，其中明场检测、OCD、电子束缺陷复查均在国内处于领先地位。 睿励科学仪器目前已有多台光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备出货给国内客户。 风险提示：下游晶圆厂需求不及预期、量测设备行业竞争加剧、新品研发进度不及预期风险。 投资建议：建议关注国产量测公司，标的包括：中科飞测（未上市）、精测电子、中微公司（睿励科学仪器第一大股东）。