2021年中国大陆已上市设备制造商中,设备商的半导体相关业务营收最大的前十大公司合计达182亿元,较2020年增长73%,创历史新高。其中,北方华创稳居榜首,营收71.2亿元,同比增长71%;中微公司和盛美上海分别以31.1亿元和15.5亿元的营收紧随其后。此外,华峰测控、芯源微、华海清科、拓荆科技等企业也表现优秀,营收均超过8亿元。