中微公司2021年一季度实现营业总收入6.03亿元,同比增长46.24%,实现归母净利润1.38亿元,同比增长425.36%。公司MOCVD业务回暖,刻蚀设备新产品放量在即,下游需求有望逐步回暖,带动公司业绩提升。公司2021年一季度毛利率为40.92%,较上年同期增长约7.06个pct,期间费用率为32.7%,较去年同期上升4.05pct,扣非净利润实现扭亏为盈。公司研发投入占比维持高位,刻蚀设备新产品有望放量。预计2021~2023年公司净利润分别为5.83亿元、6.96亿元和8.45亿元,对应EPS分别为1.06元、1.26元、1.54元。给予增持-A评级。