半导体设备零部件需求展望专家会议要点

半导体零部件供应现状与趋势

• 卡脖子品类与价格趋势：先进制程相关的涂层类、静电卡盘（E-chuck）、射频电源、真空类阀体等国产化率低，存在卡脖子问题。2026年上半年相关零部件价格上涨，若MATCH法案落地，价格将进一步上涨、交期拉长。
• 海外厂商产能特点：海外厂商不会因短期需求波动扩大产能，供需紧张时交期拉长、价格递增。
• 分制程零部件国产化率：
  • 先进制程设备中，海外采购零部件占比约80%，国内占比不足20%。
  • 成熟制程设备中，国内自研/采购占比约40%-50%，海外采购占比约50%-60%，其中静电卡盘、真空泵、真空阀、部分射频电源仍依赖海外。

射频电源

• 涨价幅度：先进制程用射频电源涨价13%-15%，主要供应商为霍廷格、AE。
• 国内厂商竞争格局：
  • 恒运昌：主攻PECVD用低功率射频电源，成熟制程领域份额较高，未布局高功率刻蚀用射频电源。
  • 英杰电气：主攻刻蚀用射频电源，先进制程用高功率射频电源技术落后，未进入长存、长鑫等产线供应链。
• 国产化率：成熟制程射频电源国产化率较高，先进制程基本为0。

真空类零部件（真空泵、真空阀）

• 涨价幅度：真空泵整体涨价约9%，先进制程用真空泵国内暂无供应；真空阀整体涨价约7%，国内厂商新莱应材产品可对标海外VAT。
• 国产化率：先进制程真空泵国产化率极低，成熟制程真空阀国产化率相对较高。

机械结构件与硅/石英部件

• 品类价值占比：金属结构件占单台设备价值的约10%。
• 国内厂商竞争格局：富创精密可供应中微先进制程腔体，托伦斯订单规模持续上升。
• 涨价幅度：
  • 大型进口金属结构件涨价约5%-6%。
  • 普通石英件涨价约3%-5%；高纯石英件依赖进口，涨价约12%-15%。
  • 刻蚀机用气体分配盘（Showerhead）涨价约18%。
  • 静电卡盘（陶瓷金属结合件）涨价约9%-11%，国内供应商包括江丰电子、珂玛科技。

仪器仪表类（MFC、真空计）

• 价格与用量：
  • MFC分为热式（约3000元/颗，成熟制程）和压差式（约9000-12000元/颗，28nm及以下先进制程）。
  • 单台刻蚀机标配6个MFC（对应6种工艺气体），增加气体管路则数量为8-12个。
• 国内厂商竞争格局：
  • 华创微电子（前七星流量计）产品份额国内最高，主打国产替代，主要供给北方华创。
  • 蓝动精密、先导科技（收购沃威仪器）主要生产热式MFC，已进入长存等晶圆厂小批量供应。
  • 压差式MFC仅华创微电子有布局，但技术成熟度一般，市场仍由海外厂商主导。
• 涨价幅度：真空计依赖进口，涨价约12%；MFC涨价约6%。

静电卡盘（E-chuck）

• 国内厂商竞争格局：
  • 苏州珂玛科技技术领先，先进制程用氮化铝基静电卡盘已小批量供应；华卓精科技术水平接近，中瓷的12寸氧化铝基静电卡盘已在北方华创上机验证。
• 价值量：海外厂商12寸先进制程静电卡盘单价约8万美元（约40万人民币），国内同类产品约20多万，价格约为海外的7折；8寸静电卡盘单价约10多万。
• 配套规则：单台设备的每个腔体对应1个静电卡盘。

陶瓷加热盘（Heater）

• 国内厂商竞争格局：苏州珂玛技术领先，卡贝尼产品主要覆盖6寸、8寸产线。
• 海外厂商情况：主要采用日本东洋碳素的产品，材料致密性和烧结技术优势明显。
• 配套规则：单台设备的每个腔体对应1个陶瓷加热盘。

机电类零部件

• 机械手臂：国产化率约10%。
• EFEM晶圆传输系统：国产化率约30%。
• 温控/冷却系统：国产化率相对较高，占单台设备价值的10%-15%。

零部件需求结构与替换周期

• 高价值零部件品类：静电卡盘、射频电源、硅环/石英环，其中硅环、石英环为消耗品，年度消耗价值较高。
• 各品类占比与国产化率：
  • 耗材类（硅环、硅电极、密封圈等）：占单台设备价值的10%-12%，国产化率较高。
  • 电器类（射频电源等）：占单台设备价值的约15%，成熟制程国产化率约40%，先进制程基本为0。
  • 真空与气体系统类（干泵、分子泵、真空阀、MFC等）：占单台设备价值的15%-20%，先进制程国产化率约5%，成熟制程国产化率约10%-20%。

海外政策影响与国产替代趋势

• MATCH法案核心影响：限制中芯国际、长江存储、长鑫、华虹等28nm以下浸没式DUV、低温刻蚀等设备及相关零部件供应，同时限制海外厂商对已售设备的维保服务。
• 对国内产业的影响：政策压力倒逼国内晶圆厂加快国产设备和零部件验证，2025-2026年国内设备出货量量级突变，利好国产厂商，但晶圆厂面临国产设备性能差距的挑战。
• 零部件订单趋势：已实现技术突破的品类（如金属结构件、非金属结构件）需求大幅增长，交期拉长；未实现技术突破的核心品类仍为卖方市场，突破后市场空间巨大。
• 国产替代紧迫性排序：①真空类（真空泵、真空计、真空蝶阀）→②电器类（射频电源）→③机电一体类（静电卡盘、机械手臂）→④其他品类，金属、非金属类紧迫性较低。

设备商自研零部件趋势

• 海外经验：海外设备厂商（如Lam）自研核心零部件（如静电卡盘），保障供应链安全与产品适配性。
• 国内趋势：中微、北方华创等国内设备厂自研静电卡盘等核心零部件，先进制程、高难度零部件以自研为主，成熟制程、大批量生产零部件外包给专业供应商。