公司专注于等离子体射频电源系统研发与生产,已推出四代产品系列(CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar),其中Cedar系列处于验证状态,将射频电源和匹配器整合为一体化平台,支持更先进制程。公司产品需通过设备商及晶圆厂双重认证,验证周期长但近年来逐步缩短。
业务模式:
- 定制化程度高,根据客户需求自主研发;
- 客户可单独采购等离子体射频电源或匹配器,两者无固定配套关系;
- 自研产品与引进产品(真空泵、质量流量计、等离子体直流电源)互补,共同提供等离子体工艺核心零部件解决方案。
市场地位:
- 国内薄膜沉积、刻蚀环节头部设备商的战略级供应商;
- 自研产品已批量出货,引进产品拓展半导体、光伏、显示面板等新客户。
未来规划:
- 拓展引进产品客户范围,加快自研质量流量计落地;
- 自研与引进等离子体直流电源相互补充;
- 通过并购等战略举措增强供应能力,提供一站式服务。
声明:文中关于行业趋势、公司规划等内容不构成投资承诺,投资者需注意风险。