强推中船特气9理性看待SK海力士以钼代钨对六氟化钨需求几无影响

2026-06-12 未知机构 Andy Yang 杨敏

总结：本次海力士仅尝试部分替代NAND字线中的钨，涉及六氟化钨的应用场景极小，对六氟化钨需求几无影响。

以钼代钨当前仅在字线场景尝试部分替换，对六氟化钨影响范围极其有限： 1）NAND字线用量小：按媒体原文，“尝试以钼部分替代字线中的钨”，一是部分替代，二是NAND中接触孔和通孔填充等六氟化钨用量远大于字线，且无法被钼替代。NAND字线紧贴栅介质，对氟敏感，业界已多年将其往低氟/无氟钨迁移，本身用六氟化钨量很小。 2）主流NAND产品字线仍用钨基，迈向400层的NAND实质处于研发早期阶段。
中船特气进行了多种钼系前驱体的技术储备，预计在钨向钼切换进程中仍将保持领先。