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主营产品与资质
公司专注于高端干式真空泵及相关真空零部件系统,已进入zw体系。
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经营概况
- 2026年Q1实现收入388万元,净利润36万元。
- 2025年全年收入435万元,净利润-752万元。
- 2026年1-3月收入接近2025年全年且扭亏为盈,当前在手订单充沛,预计2027年订单将转化为收入。
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并购意义
子公司英杰晨晖拟增资换股收购开物智能100%股权,旨在:
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干泵产品分析
- 应用场景:半导体领域分为干式真空泵、分子泵和低温泵,干泵常与分子泵串联使用以获得高真空环境。
- 市场空间:
- 干泵市场规模最大,用量与腔体相关,且存在30-50%备用泵需求,每万片晶圆需投入大几千万资本开支。
- 每年存在替换需求(海外寿命约10年,国产更短),2024年国内集成电路干式真空泵市场规模约52亿元,预计未来几年受益下游扩产,中期市场规模超百亿人民币。
- 竞争格局:国产化率低,过去由欧洲和日本公司垄断,中科仪2025年市占率15%仍处较低水平。
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观点
公司从射频电源(100亿元市场规模)到匹配器(100亿元市场规模)再到干泵(100亿元市场规模),半导体零部件版图持续扩大,其他下游同样景气,当前位置持续推荐。