半导体行业跟踪报告之二十一：海晨股份携手盟立，重点布局AMHS市场

2024年10月27日 行业研究 海晨股份携手盟立，重点布局AMHS市场 ——半导体行业跟踪报告之二十一 要点 AMHS是晶圆厂和封测厂的“物流大动脉”。随着半导体生产技术的提升与生产规模的扩大，在洁净环境中使用的自动物料搬运系统（AutomaticMaterialHandlingSystem，简称AMHS），以其自动化、高效率、高稳定性、智能化等 优势，得到越来越广泛的应用。特别是在12英寸（直径约300mm）晶圆厂，跨区域不同机台之间的搬运更为复杂，AMHS系统作为贯穿整厂的“物流大动脉”，已逐渐成为“标配”。 AMHS系统结构复杂，由软硬件共同构成。AMHS系统由多种硬件设备（存储单元+搬运单元）和控制软件组成，可以大幅减少在制品的等待时间，缩短晶圆产品的生产周期，是提高半导体制造良率和设备利用率的重要支撑。1、硬件主要 分为：（1）搬运设备，包括空中走行式无人搬送车OHT“天车”、空中走行式穿梭车OHS、轨道式导引机器人RGV、移动机器人AGV、Lifter（升降机）、HT（高速塔）、Conveyor（传送机）等；（2）存储设备，包括洁净存储库Stoker（STK）等。2、控制软件是AMHS系统的核心，包括：物料控制系统MCS、设备控制系统LCS（包括OHTC、STKC、AGVC等）。 AMHS全球市场空间巨大，日本大福和村田寡头竞争。根据阿谱尔的报告，2021年全球半导体加工用AMHS市场销售额达到了26.43亿美元，预计2028年将达到47.66亿美元，年复合增长率（CAGR）为8.6%（2022-2028年）。从地区来看，中国（含台湾地区）市场2021年市场规模为17.19亿美元，约占全球的65%， 预计2028年将达到31.48亿美元。目前全球半导体行业使用的AMHS系统90%以上来自日本大福和村田。两家公司占据了高端市场的绝大部分份额，特别是12英寸晶圆厂市场几乎被其垄断。 海晨股份智能物流主业经营稳健。海晨股份的主营业务是为电子信息行业相关企业提供全方位、一体化的现代综合物流服务，客户包括联想集团、索尼、台达电子、光宝科技、大联大控股、康宁公司、伟创力等。海晨股份从电子信息行业延 伸至新能源汽车行业，客户包括S客户、V客户、L客户等。海晨股份2023年实现营收18.3亿元和实现归母净利润2.81亿元；2024年前三季度实现营收 12.46亿元，实现归母净利润2.18亿元。 海晨股份：携手盟立，积极布局半导体AMHS业务。中国台湾盟立集团成立于1989年，是中国地区AMHS的领导公司之一。2023年10月11日，海晨股份以1.8亿元人民币的价格收购盟立自动化（昆山）有限公司100%股权。2024 年6月24日，欣福半导体科技（合肥）有限公司在合肥举行了首台自动化设备入场仪式，海晨旗下海盟科技作为AMHS设备供应商，与合肥经开区领导以及欣福半导体、通富微电等公司领导共同出席。2024年上半年，海晨股份的半导体物流装备及自动化业务实现收入8,527万元。 投资建议：AMHS行业建议关注海晨股份。海晨股份主业智能物流经营稳健，截至2024年三季报公司在手货币现金约16.25亿元，携手盟立积极布局AMHS业务，有望受益于未来AMHS行业的成长趋势。根据Wind一致预期，海晨股份 2024-2026年归母净利润预测为2.85、3.41、4.21亿元，按2024年10月25日市值46亿元计算，对应2024-2026年PE为16x、14x、11x。 风险分析：半导体行业资本开支低预期的风险，中美贸易摩擦反复风险，行业竞争加剧风险。 电子行业 买入（维持） 作者分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 分析师：朱宇澍 执业证书编号：S0930522050001 02152523821 zhuyushu@ebscn.com 分析师：黄筱茜 执业证书编号：S0930524050001 021-52523813 huangxiaoqian@ebscn.com 行业与沪深300指数对比图 10% 1% -9% -18% -27% 09/2312/2303/2406/24 电子行业沪深300 资料来源：Wind 目录 1、AMHS行业空间广阔且国产化率极低4 1.1AMHS是晶圆厂“物流大动脉”4 1.2AMHS技术难点和发展趋势6 1.3AMHS全球市场空间巨大，日本大福和村田寡头竞争7 1.4盟立是中国地区的领导厂商之一9 2、海晨股份：物流服务提供商积极布局半导体AMHS业务11 2.1收购昆山盟立布局AMHS市场11 2.2海盟科技AMHS设备入场欣福半导体12 2.3海晨股份物流主业持续成长12 3、投资建议15 4、风险分析16 图目录 图1：AMHS系统4 图2：大福自动搬送设备（苏州）有限公司演示线5 图3：大福自动搬送设备（苏州）有限公司演示线5 图4：合肥欣奕华MCS软件界面6 图5：合肥欣奕华AMHS7 图6：2022年全球不同产品类型半导体加工用AMHS市场份额8 图7：2028年全球不同产品类型半导体加工用AMHS市场份额8 图8：盟立战略布局9 图9：盟立半导体智能工厂自动化解决方案10 图10：盟立半导体智能工厂自动化解决方案10 图11：昆山盟立2022年和2023年1-6月主要财务数据（单位：人民币万元）11 图12：欣福半导体科技（合肥）有限公司在合肥举行了首台自动化设备入场仪式12 图13：海晨股份物流业务13 图14：海晨股份2019年-2024年前三季度营收及同比增速13 图15：海晨股份2019年-2024年前三季度归母净利润及同比增速13 表目录 表1：全球不同产品类型半导体加工用AMHS销售额增长趋势2017VS2022VS2028（单位：百万美元）8 表2：半导体设备及零部件相关行业重点公司2022-2026年归母净利润及PE估值15 图1：AMHS系统 1、AMHS行业空间广阔且国产化率极低 1.1AMHS是晶圆厂“物流大动脉” AMHS应用趋于广泛。全球数字化进程的加速，带来芯片需求量持续攀升，这使得半导体行业的重要性日益凸显。作为制造业中的尖端领域，半导体行业在生产设备的精度和速度、工艺复杂性以及工厂智能化管理等方面展现出其先进性。随着半导体生产技术的提升与生产规模的扩大，在洁净环境中使用的自动物料搬运 系统（AutomaticMaterialHandlingSystem，简称AMHS），以其自动化、高效率、高稳定性、智能化等优势，得到越来越广泛的应用。 长期以来，洁净物流系统市场主要由日韩企业垄断。随着中美贸易摩擦加剧，产业链供应链安全性越来越受到重视，近年来中国加大半导体产业投资，并提倡关键设备的国产替代，AMHS系统作为半导体设备的一部分，国产化发展也在提速。 AMHS系统构成与关键设备。AMHS系统由多种硬件设备（存储单元+搬运单元）和控制软件组成，可以大幅减少在制品的等待时间，缩短晶圆产品的生产周期， 是提高半导体制造良率和设备利用率的重要支撑。特别是在12英寸（直径约300mm）晶圆厂，跨区域不同机台之间的搬运更为复杂，AMHS系统作为贯穿整厂的“物流大动脉”，已逐渐成为“标配”。 资料来源：搜狐，UDE显博会，光大证券研究所 1.硬件设备 硬件主要分为：（1）搬运设备，包括OHT、AGV/AMR、Lifter等；（2）存储设备，如Stocker。 （1）洁净存储库Stoker（STK）：作为半导体产线上的中转与缓存机构，用于对FOUP（前开式晶圆传送盒）、SMIFPod等多种规格的晶圆载具进行自动存储、提取与搬运，以实现晶圆在不同工艺之间的流转，具备多层存放空间，可以 提高储存密度，减少占用面积，缩短出库时间，提高传送效率。根据实际需要， Stocker可以通过不同的设置，与OHT系统、AGV等协调操作，或者便于操作人员手动存取所需物料。 （2）空中走行式无人搬送车OHT：OHT（OverheadHoistTransport）也称为“天车”，是AMHS最关键设备之一。OHT安装在天花板下方，在空中轨道上行走，将传输物在需要长距离和大量传输的区域进行搬运；通过皮带驱动的起重 机构，OHT可以“直接”进入存储设备或加工设备的装卸口搬送FOUP，能够有效利用空间，提高生产效率。OHT系统是12寸晶圆厂的主要产线输送系统，用于工艺区域的内部运输，以及工艺区域或工厂间的运输。 （3）空中走行式穿梭车OHS：OHS（OverHeadShuttle）是一种自动高架运输系统，穿梭车在高架轨道上行驶至运输载体。因为它主要用于在分配的存储设施之间运输载体，也被称为“跨湾运输系统”。 （4）轨道式导引机器人RGV：RGV又称轨道穿梭小车，沿轨道将Cassette在工艺设备、Stocker和Buffer之间进行传输。 （5）移动机器人AGV：AGV是带有SCARA机械臂的自动化运输系统，可以“直接”访问储料器和加工设备，灵活地将载体运送到加工设备。 （6）Lifter(升降机)：连接于天花板，用于长距离运送FOUP。 （7）HT(高速塔)：安装在半导体工厂有层间或段差区域，上下运送FOUP。 （8）Conveyor(传送机)：用于FOUP及卡匣搬送的设备，可当Buffer装载物品Diverter(转向器)，可以改变搬运设备的方向。 图2：大福自动搬送设备（苏州）有限公司演示线图3：大福自动搬送设备（苏州）有限公司演示线 资料来源：《物流技术与应用》微信公众号，光大证券研究所资料来源：《物流技术与应用》微信公众号，光大证券研究所 2.软件 控制软件是AMHS系统的核心，包括：物料控制系统MCS（MaterialControlSystem），以及设备控制系统LCS（包括OHTC、STKC、AGVC等）。 MCS系统从MES接收搬运命令，寻找搬运设备间的最佳路径，对不同的搬运设备控制系统进行统合控制和调度，再由各个设备的控制系统分别调度该设备作业。MCS通过实时监控搬运情况，实现AMHS系统的自动化运行。 图4：合肥欣奕华MCS软件界面 资料来源：《物流技术与应用》微信公众号，光大证券研究所 1.2AMHS技术难点和发展趋势 洁净物流系统的发展，源于半导体技术的不断进步，也助力半导体行业提质增效。早期的6英寸晶圆厂并未使用自动化技术，采用人工搬运方式即可。随着8英寸晶圆厂的兴起，AMHS系统开始得到蓬勃发展，先后经历了第一代机组空运系 统、第二代EQtoEQ部分跨区直运、第三代全厂EQtoEQAMHS系统，再到 第四代AMHS，即Stocker+OHT+ZFS的组合。第四代AMHS系统主要采用架设在空中的输送系统自动搬运物料，输送速度非常快（≥3m/s），也不占用地面空间，目前已广泛应用于晶圆制造、芯片封测等半导体生产环节，助力企业提高生产效率。 总体来看，相对于技术先进性，半导体企业更看重的是AMHS系统的安全性与稳定性。这是因为AMHS系统是与半导体工艺紧密相连的生产辅助系统，对生 产带来的影响不是一个点而是一个面，一旦出现故障将会影响整体产线的运营，会造成巨额损失，所以对整个系统的精准控制、可靠性与安全性的要求极高。这无形中抬高了进入该领域的技术门槛。 1.系统规划建设要点与难点 半导体工艺涉及一系列复杂的步骤，这个过程通常分为前道和后道。半导体生产高度自动化，要求AMHS系统能够每天24小时、全年365天不停线，持续稳定可靠运行。半导体生产在高洁净度环境中进行，对空气中的灰尘和颗粒物数量有极为严格的要求，物流设备要做到在运行中不产生或者少产生污染物；由于晶圆容易破损且价值极高，因此半导体企业最注重货物状态的稳定性，对物流设备的控制精度和稳定性要求非常高，如，天车要精准地运行与抓取物料，在上升和下降过程中振动小，以避免由于产尘影响了环境而降低生产良率；此外，晶圆厂规模持续扩大，要求AMHS