半导体设备行业2024中报总结：营收高增、利润表现分化，高端设备国产化高歌猛进

机械设备 2024年09月01日 投资评级：看好（维持）行业走势图 半导体设备行业2024中报总结：营收高增、利润表 现分化，高端设备国产化高歌猛进 ——行业周报 孟鹏飞（分析师）孙垲林（联系人） 10% 机械设备沪深300 mengpengfei@kysec.cn 证书编号：S0790522060001 sunkailin@kysec.cn 证书编号：S0790123040044 0% -10% -19% -29% 2023-092024-012024-05 数据来源：聚源 收入端高增：后道厂商受益景气复苏，前道设备受益产品验收节奏恢复 我们对中微公司、北方华创、盛美上海、拓荆科技、华海清科、中科飞测、芯源微、京仪装备、至纯科技、长川科技、华峰测控、金海通这12家半导体设备公司进行分析。2024H1，12家半导体设备营收同比增长37.33%，增幅继续维持在30%以上。因景气复苏以及测试机业务放量，长川科技2024H1营收同比以及 2024Q2营收环比均高增。因此前交付的机台验收节奏持续恢复，2024Q2拓荆科 相关研究报告 技、芯源微营收环比分别增长68.53%、84.02%。 利润端：后道设备利润增速在2024Q2明显改善，前道设备利润表现分化 2024H1，12家半导体设备公司归母净利润同比增长11.43%，扣非归母净利润同 《智元发布5款商用人形机器人，产 业加速—行业周报》-2024.8.18 《AI服务器需求高涨，HBM成为全球存储厂竞争焦点—行业周报》 -2024.8.11 《内需有韧性，国产加速渗透，通用设备迎布局时点—行业周报》 -2024.8.4 比增长13.95%。后道设备公司中，长川科技2024H1归母净利润同比增长949.29%。华峰测控、金海通2024H1归母净利润同比均下降，但2024Q2利润明显改善，分别环比增长279.94%、66.42%。前道设备公司利润表现分化，北方华创作为设备龙头的规模效应持续显现，2024H1归母净利润、扣非归母净利润同比分别增长54.54%/64.06%。拓荆科技因产品逐步实现验收，2024Q2扣非净利润转负为正。因处于产品线拓展关键时期、研发投入大幅增长，中科飞测、中微公司2024H1扣非归母净利润分别同比减少4992.21%、6.88%。 发出商品和新增订单持续提升，前道设备表现明显优于后道 2024H1，11家半导体设备公司发出商品余额总计114.8亿元，相比期初增加45.56亿元。其中，中微公司2024H1发出商品余额相比期初增加值最多，为18.98亿元，发出商品高增为2024年下半年确收打下良好基础。从订单来看，中微公司2024H1新增订单47亿元，同比增长40.3%，刻蚀设备新增订单同比增长50.7%。公司全年总订单预计达到110-130亿元。拓荆科技2024H1新增订单同比增加 63%，2024Q2新增订单同比增长93%。2023年开始，国内先进晶圆厂采招开始 边际加速，设备公司新增订单高增体现出高端设备国产化持续大力推进。 前道设备公司加大研发、持续推新，逐步补齐我国高端半导体设备短板环节 2024H1，12家半导体设备公司研发总收入53.3亿元，同比增长51.43%。其中，中微公司、中科飞测研发投入同比增幅最大，分别达到110.8%、114.2%。刻蚀领域，中微公司正在开发超低温、超低频RF的90-100:1极高深宽比刻蚀设备、用于5-3纳米逻辑芯片制造的ICP设备Beta机继续在客户端开展制程验证。薄膜沉积领域，拓荆科技最新推出应用于晶圆背面沉积的PECVDBianca设备、超高深宽比沟槽填充CVD以及新型反应腔pX和Supra-D；中微公司已实现六种设备研发交付及通过客户量产验证。量检测：中科飞测新增布局电子束关键尺寸量测设备。涂胶显影:芯源微新一代超高产能架构前道涂胶显影机持续推进研发。 风险提示：应用于先进逻辑、存储的高端设备国产化进度不及预期。 行业研究 行业周报 开源证券 证券研究报 告 目录 1、中报交卷：营收高增、利润表现分化，高端半导体设备国产化高歌猛进3 1.1、收入端：后道厂商受益景气复苏，前道设备受益产品验收顺利推进3 1.2、后道设备利润增速表现整体优于前道，前道设备利润表现分化4 1.3、合同负债和发出商品余额持续提升，前道设备表现明显优于后道6 1.4、研发力度显著加大，逐步补齐高端半导体设备短板环节7 图表目录 图1：2024H1，12家半导体设备公司总营收同比增长37.32%3 图2：2024Q2，拓荆科技、芯源微、华峰测控、长川科技环比营收增长明显3 图3：2021-2024H1，12家设备公司归母净利润增速下滑4 图4：2021-2024H1，12家设备公司扣非归母净利润增速下滑4 图5：2024H1，北方华创、华峰测控销售毛利率同比增速领先4 图6：拓荆科技2024Q2归母净利润环比大幅提升5 图7：盛美上海2024Q2扣非归母净利润环比增速领先5 图8：2024H1，仅长川科技、北方华创扣非销售净利率同比实现正增长6 图9：2022-2024H1主要半导体设备公司销售、管理费用率呈下降趋势6 图10：2024H1，11家半导体设备公司发出商品余额总和相比期初提升7 图11：中微公司2024H1发出商品相比期初增加值最多7 图12：2023年底以来12家半导体设备公司合同负债总和逐季提升7 图13：北方华创、中微公司研发投入领先其他半导体设备公司8 图14：中微公司、中科飞测2024H1研发投入同比增幅最大8 图15：拓荆科技推出两款薄膜沉积设备新品，同时有多款设备通过验证实现产业化9 1、中报交卷：营收高增、利润表现分化，高端半导体设备国产化高歌猛进 我们选取中微公司、北方华创、盛美上海、拓荆科技、华海清科、中科飞测、 芯源微、京仪装备、至纯科技、长川科技、华峰测控、金海通12家半导体设备，对其营收、利润、订单与存货、研发与新品推出情况进行分析。 1.1、收入端：后道厂商受益景气复苏，前道设备受益产品验收顺利推进 2024H1，12家半导体设备公司实现总营收262.31亿元，同比增长37.32%。 2023H1/2023年全年/2024H112家半导体设备营收总和同比增速均实现30%以上的增长，体现出半导体设备国产化进程不断提前。 2024Q2，芯源微、华峰测控、长川科技、拓荆科技、盛美上海营收环比增速均超过60%。因行业景气度复苏以及测试机业务放量，长川科技2024H1营收同比以及2024Q2营收环比均高增。因此前交付的新机台恢复确认收入节奏，2024Q2拓荆科技营收环比实现68.53%的增速。芯源微2024年一季度收入受存量订单结构、交付周期等因素影响下滑，2024Q2订单交付及验收节奏持续恢复，收入得到改善。 图1：2024H1，12家半导体设备公司总营收同比增长37.32% 500.00 400.00 300.00 200.00 100.00 0.00 38.13% 32.33% 37.32% 40.00% 38.00% 36.00% 34.00% 32.00% 30.00% 28.00% 20222023H120232024H1 营业总收入(亿元）Yoy 数据来源：Wind、开源证券研究所 图2：2024Q2，拓荆科技、芯源微、华峰测控、长川科技环比营收增长明显 140.00% 120.00% 100.00% 80.00% 60.00% 40.00% 20.00% 0.00% -20.00% 2024H1营业总收入同比增长率2024Q2营业收入同比增长率 2024Q2营业收入环比增长率 数据来源：Wind、开源证券研究所 1.2、后道设备利润增速表现整体优于前道，前道设备利润表现分化 2024H1，12家半导体设备公司归母净利润同比增长11.43%，扣非归母净利润同比增长13.95%。 图3：2021-2024H1，12家设备公司归母净利润增速下滑图4：2021-2024H1，12家设备公司扣非归母净利润增速 下滑 100.0 80.0 60.0 40.0 20.0 73.87% 36.28% 0.8 0.6 0.4 0.2 11.43% 100.00 80.00 60.00 40.00 20.00 0.00 137.04% 42.48% 150% 100% 50% 13.95% 0% 0.0 2021 2022 2023 2024H1 0.0 2021202220232024H1 扣非归母净利润(亿元）yoy 归母净利润（亿元）yoy 数据来源：Wind、开源证券研究所数据来源：Wind、开源证券研究所 基于产品结构持续高端升级，北方华创2024H1销售毛利率同比提升3.13pcts,2024Q2销售毛利率环比提升4pcts。华峰测控2024H1销售毛利率同比提升5.28pcts，主要因为：（1）行业景气度有所复苏，国内比海外复苏程度更可观，带来消费类相关设备销售的增长；（2）发货量提升摊销固定成本；（3）消费类市场景气度提升，8200型号产品毛利率有所改善。 受到会计准则变化影响，以及部分新机台对大客户有所让利影响，中微公司2024Q2销售毛利率环比下降6.77pcts。受会计准则变化以及部分低毛利产品营收占比提升影响，中科飞测2024Q2销售毛利率环比下降16.47pcts。 图5：2024H1，北方华创、华峰测控销售毛利率同比增速领先 10.00 5.00 0.00 -5.00 -10.00 -15.00 -20.00 2024H1销售毛利率同比增幅（pcts）2024Q2销售毛利率环比增幅（pcts） 数据来源：Wind、开源证券研究所 从利润增速情况看，后道设备公司表现优于前道。2024H1，长川科技、北方华创归母净利润实现949.29%、54.54%的同比增速。2024Q2，后道设备公司长川科技、华峰测控、金海通归母净利润分别实现环比5072.91%、279.94%、66.42%的增速。长川科技2024Q2扣非归母净利润实现环比12624%的增速。 前道设备公司中，拓荆科技因产品逐步实现验收，2024Q2扣非销售净利润转负 为正。在营收、毛利双增情况下，北方华创、盛美上海2024Q2扣非净利润也环比实现46.15%、315.31%的增长。中科飞测因研发投入大幅增长及股份支付费用增加等因素影响，2024H1和2024Q2扣非归母净利润分别同比下滑4992.21%、环比下滑1679.7%。 图6：拓荆科技2024Q2归母净利润环比大幅提升 1200.00% 1000.00% 800.00% 600.00% 400.00% 200.00% 0.00% -200.00% -400.00% -600.00% -800.00% -1000.00% 2024Q2归母净利润同比增长率2024Q2归母净利润环比增长率 2024H1归母净利润同比增速 数据来源：Wind、开源证券研究所 图7：盛美上海2024Q2扣非归母净利润环比增速领先 350.00% 300.00% 250.00% 200.00% 150.00% 100.00% 50.00% 0.00% -50.00% -100.00% -150.00% 2024Q2扣非归母净利润同比增长率2024Q2扣非归母净利润环比增长率 2024H1扣非归母净利润同比增速 数据来源：Wind、开源证券研究所 2024H1，仅长川科技、北方华创扣非销售净利率同比实现正增长。其中，长川科技2024H1扣非净利率同比+24.76pcts,北方华创扣非净利率同比+2.31pcts。2024Q2,主要设备公司扣非销售净利率变动和扣非销售净利润变动基本一致。 图8：2024H1，仅长川科技、北方华创扣非销售净利率同比实现正增长 长川科技金海通北方华创拓荆科技华海清科盛美上海华峰测控京仪装备中微公司芯源微至纯科技中科飞测 40.0