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启动碳化硅衬底片扩产项目,设备+材料平台化布局

2023-11-09周尔双、刘晓旭、李文意东吴证券
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启动碳化硅衬底片扩产项目,设备+材料平台化布局

事件:2023年11月4日公司举行“年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目”签约暨启动仪式,旨在加快半导体材料端的关键核心技术攻关,实现国产化替代。 正式启动碳化硅衬底扩产项目,产能快速爬坡:2023年11月4日,晶盛机电举行“年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目”签约暨启动仪式,项目建设期2年,项目总投资21.2亿元,其中固定资产投资19.88亿元。公司自2017年开始碳化硅晶体生长设备和工艺的研发,相继成功开发6英寸、8英寸碳化硅晶体和衬底片,是国内为数不多能供应8英寸衬底片的企业。目前已建设了6-8英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光中试线,6英寸衬底片已通过多家下游企业验证,正处于快速上量阶段,目前月产能约5000片,2023年底月产能有望达1万片,2024年底月产能有望达2万片;8英寸衬底片处于小批量试制阶段。 晶盛实现设备自制&掌握核心工艺,sic衬底片性能优越:(1)设备自制:晶盛机电为光伏单晶炉、半导体长晶炉龙头,依托长晶技术,碳化硅衬底片的长晶、切磨抛等核心加工设备也实现了自制;(2)掌握长晶工艺:碳化硅衬底长晶最难的是温度、气体、压力的控制,工艺的把握决定了良率水平,晶盛机电光伏单晶炉的优势为软件算法是自制的,延续应用至碳化硅长晶。 新能源汽车+光伏发电驱动SiC放量,晶盛把握衬底国产化机遇:新能源汽车和光伏发电领域是SiC器件主要应用场景,尤其是新能源汽车是未来第一大应用市场,根据YOLE,2027年新能源汽车导电型SiC功率器件市场规模有望达50亿美元,占SiC下游应用场景的比重高达79%,全球已有多款SiC车型量产交付,SiC迎来上车导入期。 晶盛机电设备+材料平台化布局:(1)光伏设备:①单晶炉:推出第五代低氧单晶炉助力电池效率提升。②电池和组件设备:2023年目标新签订单30亿元,PECVD设备已推向市场。(2)碳化硅外延设备:单片&双片6英寸外延设备批量销售,推出8英寸单片式设备。(3)材料:①石英坩埚:宁夏鑫晶2023上半年营收13.6亿元,净利润6.8亿元,净利率约50%。②金刚线:一期量产项目投产并实现批量销售,推动二期扩产项目,加快钨丝金刚线研发。③碳化硅衬底:启动25万片6寸、5万片8寸衬底片扩产项目。 盈利预测与投资评级:光伏设备是晶盛机电成长的第一曲线,第二曲线是光伏耗材和半导体耗材的放量,第三曲线是半导体设备和碳化硅设备的完全放量。我们维持公司2023-2025年归母净利润为47/58/70亿元,对应PE为13/11/9倍,维持“买入”评级。 风险提示:下游扩产不及预期,新品拓展不及预期。 1.正式启动碳化硅衬底扩产项目,产能快速爬坡 2023年11月4日,晶盛机电举行“年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目”签约暨启动仪式,项目建设期2年,项目总投资21.2亿元,其中固定资产投资19.88亿元。 公司自2017年开始碳化硅晶体生长设备和工艺的研发,相继成功开发6英寸、8英寸碳化硅晶体和衬底片,是国内为数不多能供应8英寸衬底片的企业。目前已建设了6-8英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光中试线,6英寸衬底片已通过多家下游企业验证,正处于快速上量阶段,目前月产能约5000片,2023年底月产能有望达1万片,2024年底月产能有望达2万片;8英寸衬底片处于小批量试制阶段。 图1:晶盛机电项目建设期约2年 2.晶盛实现设备自制&掌握核心工艺,sic衬底片性能优越 (1)设备自制:晶盛机电为光伏单晶炉、半导体长晶炉龙头,依托长晶技术,碳化硅衬底片的长晶、切磨抛等核心加工设备也实现了自制,目前外采的设备包括量测设备(部分来自昂坤视觉,晶盛机电持股2.2%)、激光切片设备(来自德龙激光),其余设备均为自制,设备国产化率达到90%以上,参考国外龙头Wolfspeed设备也为自制,利于形成差异化竞争; (2)掌握长晶工艺:碳化硅衬底长晶最难的是温度、气体、压力的控制,工艺的把握决定了良率水平,晶盛机电光伏单晶炉的优势为软件算法是自制的,延续应用至碳化硅长晶。 图2:晶盛机电长晶中试线设备多数实现自制 目前公司中试线产出的6英寸碳化硅衬底片在直径、微管密度、位错、电阻率、弯曲度和翘曲度等关键参数均达到或者优于业内技术水平。产品已获得下游领先企业的验证和认可,已签订并交付批量订单。 图3:晶盛机电6寸衬底片性能优越 3.新能源汽车+光伏发电驱动SiC放量,晶盛把握衬底国产化机 遇 新能源汽车和光伏发电领域是SiC器件主要应用场景,尤其是新能源汽车是未来第一大应用市场,根据YOLE,2027年新能源汽车导电型SiC功率器件市场规模有望达50亿美元,占SiC下游应用场景的比重高达79%,全球已有多款SiC车型量产交付,SiC迎来上车导入期,2018年特斯拉率先在Model3上搭载SiC,从此拉开了碳化硅大规模上车序幕,蔚来、比亚迪、吉利、现代汽车等车企纷纷跟进,SiC装车量得到进一步扩大。据Clean Technica,2023年1-5月SiC车型超100万辆。 衬底市场前景广阔、存在较大国产化机遇,晶盛机电全面布局衬底片&外延设备,精准卡位。我们预计到2025年全球6寸碳化硅衬底新增市场空间约380亿元,2023-2025年CAGR为78%,海外龙头起步较早,长期垄断SiC衬底市场,CR3达80%,根据Yole,2020年海外厂商的SiC衬底CR3达78%,其中Wolfspeed市占率45%,罗姆(收购SiCrystal)市占率20%,位居第二;国内龙头天科合达、天岳先进仅为3%、3%。 晶盛机电积极推动6寸、8寸碳化硅衬底片的研发和量产,同时推出外延设备,下游外延片厂商既为衬底片客户,也为外延设备客户,形成协同效应。 图4:我们预计到2025年全球6寸碳化硅衬底新增市场空间约380亿元,2023-2025年CAGR为78% 图5:2020年全球导电型+半绝缘型SiC衬底(左)、导电型衬底(中)、半绝缘型衬底(右)市场格局 我们测算了此次25万片6寸衬底片和5万片8寸衬底片带来的利润空间:(1)25万片6寸衬底片:假设每片6寸碳化硅衬底价格分别为5000/4500/4000/3500元,净利率水平为20%/15%/10%/5%;(2)5万片8寸衬底片:假设每片8寸碳化硅衬底价格分别为60000/55000/50000/40000元,净利率水平为20%/15%/10%/5%。 图6:晶盛机电25万片6寸衬底片盈利测算 图7:晶盛机电5万片8寸衬底片盈利测算 4.晶盛机电设备+材料平台化布局 晶盛机电依托长晶技术从光伏到半导体、设备到材料均有布局。参考国外龙头设备商,多依托自身拳头设备产品,向下游延伸材料端以打开更大成长空间,如日本东丽化学——涂布机+隔膜/碳纤维、信越化学——半导体硅片+设备、日本DISCO——半导体晶圆切片机+刀具耗材,晶盛机电光伏领域布局了单晶炉+石英坩埚&金刚线耗材,半导体硅基领域布局了大硅片设备+石英坩埚&抛光液耗材,碳化硅领域布局了外延炉+衬底片材料。 (1)光伏设备:①单晶炉:推出第五代低氧单晶炉助力电池效率提升。②电池和组件设备:2023年目标新签订单30亿元,PECVD设备已推向市场。(2)碳化硅外延设备:单片&双片6英寸外延设备批量销售,推出8英寸单片式设备。(3)材料:①石英坩埚:宁夏鑫晶2023上半年营收13.6亿元,净利润6.8亿元,净利率约50%。②金刚线:一期量产项目投产并实现批量销售,推动二期扩产项目,加快钨丝金刚线研发。③碳化硅衬底:启动25万片6寸、5万片8寸衬底片扩产项目。 图8:晶盛机电设备+材料平台化布局 5.盈利预测与投资评级 光伏设备是晶盛机电成长的第一曲线,第二曲线是光伏耗材和半导体耗材的放量,第三曲线是半导体设备和碳化硅设备的完全放量。我们维持公司2023-2025年归母净利润为47/58/70亿元,对应PE为13/11/9倍,维持“买入”评级。 6.风险提示 下游扩产不及预期,新品拓展不及预期。